专利名称：一种针对弯曲薄膜太阳能电池的激光刻划装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及薄膜太阳能电池生产设备领域，尤其涉及一种针对弯曲薄膜太阳能电池的激光刻划装置。
背景技术：
太阳能电池作为可再生的环保能源已经越来越受到人们的关注，世界太阳能电池近几年的年销售增长率超过40%，与其相关的生产设备也得到迅猛的发展。在国家倡导节能的宏观政策推动下，中国的太阳能光伏产业也得到迅猛发展，在行业内已跃居世界第三位，仅次于日本和德国。然而，相对于精密的太阳能技术，目前薄膜太阳能电池生产设备与工艺水平还不够高，尤其针对弯曲的薄膜太阳能电池激光刻划设备成为制约太阳能技术普及应用的重大壁垒。现有的薄膜太阳能电池生产设备对弯曲的薄膜太阳能电池自动展平并完成激光刻划仍没有良好对策，导致在激光刻划时刻线的的宽度、深度及均匀性都无法保证，无法满足薄膜太阳能电池刻划的工艺要求，从而降低了薄膜太阳能电池的性能，增大了生产废片率。
实用新型内容本实用新型实施例提供了一种针对弯曲薄膜太阳能电池的激光刻划装置，负压吸附系统及气浮平台产生的吸力及悬浮力，使弯曲薄膜太阳能电池既能自动平整，也能非接触悬浮；薄膜太阳能电池处于吸附及悬浮状态，并且可自由移动，移动过程中也处于吸附及非接触悬浮状态，满足了激光刻划的要求。本实用新型的具体方案如下一种针对弯曲薄膜太阳能电池的激光刻划装置，包括负压吸附系统及气浮平台；所述负压吸附系统包括真空发生器及负压吸盘，所述真空发生器与所述负压吸盘连接；所述气浮平台设有正压气浮出气口，所述吸盘设于所述气浮平台上。可选的，所述负压吸附系统的吸盘设于所述气浮平台的侧方。可选的，所述负压吸附系统包括真空泵和负压吸盘。本实用新型实施例提供的一种针对弯曲薄膜太阳能电池的激光刻划装置，负压吸附系统及气浮平台产生的吸力及悬浮力，使弯曲薄膜太阳能电池既能自动平整，也能非接触悬浮；薄膜太阳能电池与负压吸盘、气浮平台之间形成一层气膜，薄膜太阳能电池处于吸附及悬浮状态，并且可自由移动，移动过程中也处于吸附及非接触悬浮状态，满足了激光刻划的要求，结构简单，设置灵活，反应敏捷，运动精度高，能够同时保证薄膜太阳能电池快速平稳的展平和非接触悬浮且兼容多种尺寸的薄膜太阳能电池激光刻划装置。
此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型的不当限定，在附图中图I为本实用新型实施例I结构示意图；[0011]图2为本实用新型实施例2结构示意图；图3为本实用新型实施例薄膜太阳能电池与气浮平台装配示意图。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，在此本实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实 用新型，但并不作为对本实用新型的限定。实施例I如图I、图3所示，针对弯曲薄膜太阳能电池的激光刻划装置，包括负压吸附系统，负压吸附系统包括真空发生器(未标示)及负压吸盘11，真空发生器与负压吸盘连接；气浮平台2，气浮平台2设有正压气浮出气口 21，且负压吸附系统的负压吸盘11设于所述气浮平台2上。如图3所示，上述实施例方案中，负压吸盘11及气浮平台2成组使用，将负压吸盘11及气浮平台2置于薄膜太阳能电池3下方，负压系统中的真空发生器产生真空，通过负压吸盘11将弯曲的薄膜太阳能电池3吸附于气浮平台2上；正压气浮出气口 21使平整的薄膜太阳能电池3可以非接触悬浮于气浮平台2上方，通过负压系统与正压气浮出气口21的调整，使弯曲薄膜太阳能电池3既能自动平整，也能非接触悬浮；薄膜太阳能电池3处于吸附及悬浮状态，并且可自由移动，移动过程中也处于吸附及非接触悬浮状态，满足了激光刻划的要求。实施例2实施例2总体技术方案与实施例I相同，所不同之处在于负压吸附系统的吸盘设于所述气浮平台2的侧方。作为上述实施例方案的替换方案，负压吸附系统包括真空泵(未标示)和负压吸盘11，通过真空泵与负压吸盘11连接，使负压吸盘11将弯曲的薄膜太阳能电池3吸附于气浮平台2上。以上对本实用新型实施例所提供的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型实施例的原理以及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只适用于帮助理解本实用新型实施例的原理；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例，在具体实施方式
以及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
权利要求1.一种针对弯曲薄膜太阳能电池的激光刻划装置，其特征是在于 包括负压吸附系统及气浮平台； 所述负压吸附系统包括真空发生器及负压吸盘，所述真空发生器与所述负压吸盘连接; 所述气浮平台设有正压气浮出气ロ，所述吸盘设于所述气浮平台上。
2.如权利要求I所述针对弯曲薄膜太阳能电池的激光刻划装置，其特征在于 所述负压吸附系统的吸盘设于所述气浮平台的侧方。
3.如权利要求I所述针对弯曲薄膜太阳能电池的激光刻划装置，其特征在于 所述负压吸附系统包括真空泵和负压吸盘。
专利摘要本实用新型涉及一种针对弯曲薄膜太阳能电池的激光刻划装置，包括负压吸附系统及气浮平台；负压吸附系统包括真空发生器及负压吸盘，真空发生器与负压吸盘连接；气浮平台设有正压气浮出气口，吸盘设于气浮平台上。本实用新型负压吸附系统及气浮平台产生的吸力及悬浮力，使弯曲薄膜太阳能电池既能自动平整，也能非接触悬浮；薄膜太阳能电池与负压吸盘、气浮平台之间形成一层气膜，薄膜太阳能电池处于吸附及悬浮状态，并且可自由移动，移动过程中也处于吸附及非接触悬浮状态，满足了激光刻划的要求，结构简单，设置灵活，反应敏捷，运动精度高，能够同时保证薄膜太阳能电池快速平稳的展平和非接触悬浮且兼容多种尺寸的薄膜太阳能电池激光刻划装置。
文档编号H01L31/18GK202423353SQ20112044837
公开日2012年9月5日 申请日期2011年11月14日 优先权日2011年11月14日
发明者李志刚 申请人:武汉帝尔激光科技有限公司