专利名称：一种石英舟的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种石英舟。
背景技术：
石英舟主要用于装载硅片，并放入扩散炉中处理。传统石英舟具有四根用于定位及装载硅片的载片杆，四根载片杆包括两根高位杆和两根低位杆，高位杆和低位杆上都设有相同的卡槽，高位杆的卡槽的纵向方向垂直于水平面，低位杆的卡槽的纵向方向与高位杆的卡槽的纵向方向垂直。石英舟所装载的硅片的3个棱边分别与水平面平行或垂直。在实际应用中，操作人员装片时必须先对准高位杆的两个卡槽，再插入，然后再对准低位杆的卡槽，放下硅片，方能完成一次插片动作，此装片过程硅片切入角度小，操作不便。另一方面，一种规格的传统石英舟只能装载一种尺寸的娃片。
发明内容本实用新型实施例提供一种石英舟，较现有的石英舟减少了载片杆的数量，且斜置的卡槽设计使得装片时硅片切入卡槽的角度增大，方便装片操作。一种石英舟，包括支撑架，平行安装于支撑架上的左高位载片杆、右高位载片杆和低位载片杆；左闻位载片杆和右闻位载片杆位于同一闻度；低位载片杆设于左高位载片杆和右高位载片杆之间的下方；左高位载片杆设有向左侧倾斜的第一卡槽，右高位载片杆设有向右侧倾斜的第二卡槽，第--^槽和第二卡槽相互对称；低位载片杆设有倾斜的第三卡槽，第三卡槽倾斜的方向与第二卡槽倾斜的方向一致。本实用新型实施例的优点在于较现有的石英舟减少了载片杆的数量；由于只需将硅片插入三个卡槽，装片过程较现有石英舟简单；相邻卡槽的相邻槽边距离较现有石英舟大，有利于硅片与扩散炉内的气体接触；卡槽宽度较现有石英舟的卡槽宽度小，有利于娃片定位；能够装载两种尺寸的硅片。
图I是本实用新型实施例一种石英舟主视图；图2是图I中 的A-A向剖视图；图3是低位杆部件示意图；图4是高位杆部件示意图。
具体实施方式
本实用新型实施例提供一种石英舟，以下进行详细说明。[0022]如图I所示，一种石英舟，包括支撑架101，平行安装于支撑架101上的左高位载片杆102、右闻位载片杆和低位载片杆103 ;左闻位载片杆102和右闻位载片杆106位于同一闻度；低位载片杆103设于左闻位载片杆102和右闻位载片杆106之间的下方；左闻位载片杆102设有向左侧倾斜的第一卡槽105，右高位载片杆106设有向右侧倾斜的第二卡槽107，第一卡槽105和第二卡槽107相互对称设置；低位载片杆103设有倾斜的第三卡槽
104,第三卡槽104倾斜的方向与第二卡槽107倾斜的方向一致。第--^槽105、第二卡槽107和第三卡槽104形成用以放置娃片的三个卡位。本实施例中的石英舟只有三个载片杆，较现有的石英舟减少了载片杆的数量；另夕卜，采用本实施例石英舟，只需将硅片插入三个卡槽便可完成装片，装片过程较现有石英舟简单。第一卡槽105、第二卡槽107和第三卡槽104斜置，并用于定位硅片，这种结构使得装片时硅片切入的角度较现有的石英舟大，有利于人工装片。优选的，第一^^槽的槽面与水平面的夹角呈45度；第二卡槽的槽面与水平面的夹角呈45度。优选的，第一卡槽105、第二卡槽107和第三卡槽104的宽度相等。优选的，第一卡槽105、第二卡槽107和第三卡槽104的槽宽为2. I厘米。现有的石英舟的槽宽一般为2. 65厘米，槽宽减小后，可以更有利于对硅片定位。优选的，第一卡槽105、第二卡槽107的槽长为15厘米，第三卡槽104的槽长为7. 5厘米。优选的，第一^^槽105右下侧面与交点O之间的距离为95厘米 110厘米，交点O为第一^^槽105的纵向中心线与第二卡槽107的纵向中心线相交的交点。优选的，第三卡槽104左下侧面与交点O之间的距离为15厘米 22. 5厘米。优选的，左高位载片杆102、右高位载片杆106和低位载片杆103分别设有若干个第—^槽105,若干个第二卡槽107和若干个第三卡槽104 ;相邻的第—^槽105的槽心间距、相邻的第二卡槽107的槽心间距和相邻的第三卡槽104的槽心间距相等。优选的，相邻的第一卡槽105的槽心间距、相邻的第二卡槽107的槽心间距和相邻的第三卡槽104的槽心间距都为4. 75厘米。槽心间距的计算式如下槽心间距=卡槽宽度+相邻卡槽相邻槽边的距离，本实用新型实施例中卡槽宽度为2. I厘米，槽心间距为4. 75厘米，则相邻卡槽相邻槽边的距离为2. 65厘米。而现有的石英舟的相邻卡槽相邻槽边的距离为2. I厘米，因此，本实用新型实施例中的相邻卡槽相邻槽边的距离较现有的石英舟的相邻卡槽相邻槽边的距离大，有利于扩散炉内的气体的流动，使硅片中心与扩散炉内的气体充分接触。本实用新型实施例中，第一^^槽105的中心线和第二卡槽107的中心线分别与水平面的夹角呈45度。第一卡槽105、第二卡槽107和第三卡槽104的宽度相等。第一卡槽
105、第二卡槽107和第三卡槽104的槽宽为2.I厘米。第一卡槽105、第二卡槽107的槽长为15厘米，第三卡槽104的槽长为7. 5厘米。第一卡槽105右下侧面与交点O之间的距离为95厘米 110厘米，交点O为第一卡槽105的中心线与第二卡槽107的中心线相交的交点。第三卡槽104左下侧面与交点O之间的距离为15厘米 22. 5厘米。根据上述尺寸设计的石英舟既能装载规格为125mm2的娃片，又能装载规格为156mm2的娃片。规格为125平方毫米的硅片和规格为156平方毫米的硅片的棱边分别为125毫米和156毫米。当这两种规格的硅片棱边与水平面呈45°插入本石英舟时，棱边与三根载片杆都能接触，这两种规格的硅片都可以定位于该石英舟上。而使用现有石英舟时，硅片的下棱边与水平面是平行的，固定硅片需要用到4根载片杆，可装载的硅片受到高位的两根载片杆尺寸限制。低位杆部件的结构可参考图3 ;左高位杆与右高位杆的部件相同，只是放置角度不同，左高位杆与右高位杆所采用的高位杆部件结构可参考图4。 以上对本实用新型实施例所提供的一种石英舟进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的系统及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式
及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
权利要求1.一种石英舟，其特征在于，包括 支撑架(101)，平行安装于所述支撑架(101)上的左高位载片杆(102)、右高位载片杆(106)和低位载片杆(103)； 所述左闻位载片杆(102)和所述右闻位载片杆(106)位于同一闻度； 所述低位载片杆(103)设于所述左高位载片杆(102)和所述右高位载片杆(106)之间的下方； 所述左高位载片杆(102)设有向左侧倾斜的第一卡槽(105)，所述右高位载片杆(106)设有向右侧倾斜的第二卡槽(107)，所述第一卡槽(105)和所述第二卡槽(107)相互对称； 所述低位载片杆(103)设有倾斜的第三卡槽(104)，所述第三卡槽(104)倾斜的方向与所述第二卡槽(107)倾斜的方向一致。
2.根据权利要求I所述的石英舟，其特征在于 所述第一卡槽的槽面与水平面的夹角呈45度； 所述第二卡槽的槽面与水平面的夹角呈45度。
3.根据权利要求2所述的石英舟，其特征在于所述第一卡槽、所述第二卡槽和所述第三卡槽的宽度相等。
4.根据权利要求3所述的石英舟，其特征在于所述第一卡槽、所述第二卡槽和所述第三卡槽的槽宽为2. I厘米。
5.根据权利要求4所述的石英舟，其特征在于所述第一卡槽、所述第二卡槽的槽长为15厘米，所述第三卡槽的槽长为7. 5厘米。
6.根据权利要求5所述的石英舟，其特征在于所述第一卡槽右下侧面与交点O之间的距离为95厘米 110厘米，所述交点O为所述第一卡槽的纵向中心线与所述第二卡槽的纵向中心线相交的交点。
7.根据权利要求6所述的石英舟，其特征在于所述第三卡槽左下侧面与所述交点O之间的距离为15厘米 22. 5厘米。
8.根据权利要求3至7任一项所述的石英舟，其特征在于所述左高位载片杆、所述右高位载片杆和所述低位载片杆分别设有若干个第一卡槽，若干个第二卡槽和若干个第三卡槽；相邻的第一卡槽的槽心间距、相邻的第二卡槽的槽心间距和相邻的第三卡槽的槽心间距相等。
9.根据权利要求8所述的石英舟，其特征在于所述相邻的第一卡槽的槽心间距、所述相邻的第二卡槽的槽心间距和所述相邻的第三卡槽的槽心间距都为4. 75厘米。
专利摘要本实用新型公开了一种石英舟，包括支撑架，平行安装于支撑架上的左高位载片杆、右高位载片杆和低位载片杆；左高位载片杆和右高位载片杆位于同一高度；低位载片杆设于左高位载片杆和右高位载片杆之间的下方；左高位载片杆设有向左侧倾斜的第一卡槽，右高位载片杆设有向右侧倾斜的第二卡槽，第一卡槽和第二卡槽相互对称设置；低位载片杆设有倾斜的第三卡槽，第三卡槽倾斜的方向与第二卡槽倾斜的方向一致。本实用新型较现有的石英舟减少了载片杆的数量，且斜置的卡槽设计使得装片时硅片切入卡槽的角度增大，方便装片操作。
文档编号H01L21/673GK202373570SQ20112054978
公开日2012年8月8日 申请日期2011年12月23日 优先权日2011年12月23日
发明者梁惠钰 申请人:浚鑫科技股份有限公司