专利名称：薄膜太阳能电池模块及其制造方法
技术领域：
本发明涉及薄膜太阳能电池模块及其制造方法。
背景技术：
作为将太阳光的能量直接转换为电能的太阳能电池模块，有在基板上以电方式串联连接了由薄膜构成的多个光电转换单元的薄膜太阳能电池模块。在基板上层叠表面电极层、半导体光电转换层、背面电极，在这些层中形成槽而分离为单位单元，利用该槽等将单元之间电连接，由此制造该模块。例如，在专利文献I中，通过以下那样的步骤制造模块。首先，通过从背面电极分 离至表面电极的第I分离槽，分离为单位单元。接下来，形成从背面电极分离至光电转换层的第2分离槽。接下来，在第I以及第2分离槽中埋入绝缘膜，并且在该绝缘膜的一部分中设置背面电极露出的连接槽。接下来，在第I分离槽与第2分离槽之间，形成去除了从绝缘膜至光电转换层的连接槽。最后，在绝缘膜之上形成从连接槽连接至连接槽的导电性材料而连接邻接的单位单元之间，并且设置使导电性材料在单位单元之间分离的第3分离槽。连接槽和光电转换层通过第I分离槽和第2分离槽分离，所以防止横向泄漏。另外，在专利文献2中，在透光性绝缘基板上层叠透明的表面电极、光电转换层、背面电极，并形成去除了光电转换层和背面电极的部分。在该部分中形成白色涂料、反射膜，将不通过光电转换层而直接透射的入射光通过白色涂料、反射膜导入到光电转换层，提高入射光的利用效率。专利文献I :日本特开2004 - 260013号公报专利文献2 :日本特开2004 - 022961号公报
发明内容
在专利文献I那样的薄膜太阳能电池模块的构造中，在单元之间的单元连接部分中，存在不对光发电贡献的非发电区域。去除光电转换层和背面电极并分离为单位单元的分离槽也是非发电区域。在分离槽中，从透光性基板入射的光不进入光电转换层而向背面侧通过、或者入射一次光电转换层而未被吸收的光在射出到分离槽之后向背面侧通过。在专利文献2中，在去除了光电转换层和背面电极的部分中形成了反射材料，但其部分仅为发电区域的光电转换层的一方的侧面，光电转换层的另一方的侧面被背面电极覆盖。如果发电区域的光电转换层和背面电极接近，则泄漏电流增加，所以另一方的侧面从发电区域充分隔着距离而形成。因此，难以使从另一方的侧面向背面侧透射的光返回到发电区域，光的利用效率低。因此，本发明的目的在于，实现提高薄膜太阳能电池的光的利用效率，并且其制造容易的薄膜太阳能电池模块。本发明的薄膜太阳能电池模块，在透光性绝缘基板之上，排列了依次层叠了透明电极、光电转换层以及背面电极的多个单元，其中，
在邻接的单元之间，具备透明电极分离槽，使所述透明电极在单元之间分离；背面电极分离槽，使所述背面电极在单元之间分离；以及单元连接开口部，在所述透明电极分离槽与所述背面电极分离槽之间，对一方的单元的所述背面电极和另一方的单元的所述透明电极进行电连接，在从所述单元连接开口部到所述透明电极分离槽为止的区间以及从所述单元连接开口部到所述背面电极分离槽为止的区间，具有去除了所述光电转换层的光电转换层分离槽，在所述光电转换层分离槽的内部形成了绝缘性的白色反射材料。另外，本发明的薄膜太阳能电池模块的制造方法，所述薄膜太阳能电池模块排列了依次层叠了透明电极、光电转换层以及背面电极的多个单元，该制造方法具有 工序A，在透光性绝缘基板之上形成透明电极；工序B，形成使所述透明电极在单元之间分离的透明电极分离槽；工序C，在所述透明电极之上形成光电转换层；工序D，形成去除所述光电转换层而底部到达所述透明电极的单元连接开口部；工序E，在所述光电转换层之上形成背面电极；工序F，在所述单元连接开口部内部，对一方的单元的所述背面电极和另一方的单元的所述透明电极进行电连接；以及工序G，形成使所述背面电极在单元之间分离的背面电极分离槽，该制造方法具有工序H，在从所述单元连接开口部到所述透明电极分离槽为止的区间，形成去除了所述光电转换层的第I光电转换层分离槽；工序I，在所述工序H中形成的所述第I光电转换层分离槽中涂敷含有白色颜料的涂料而形成白色反射材料；工序J，在从所述单元连接开口部到所述背面电极分离槽为止的区间，形成去除了所述光电转换层的第2光电转换层分离槽；以及工序K，在所述工序J中形成的所述第2光电转换层分离槽中涂敷含有白色颜料的涂料而形成白色反射材料。根据本发明的薄膜太阳能电池模块，在电连接邻接的单元之间的单元连接开口部的两侧的光电转换层中形成白色反射材料，所以能够使在非发电区域中向背面侧通过的光高效地导入到光电转换层，能够提高薄膜太阳能电池的光的利用效率。另外，根据本发明的薄膜太阳能电池模块的制造方法，涂覆含有白色颜料的涂料来形成白色反射材料，所以制造各易。
图I是示出本发明的实施方式I的薄膜太阳能电池模块的结构例的俯视图。图2是本发明的实施方式I的薄膜太阳能电池模块的部分剖面图。图3是说明本发明的实施方式I的薄膜太阳能电池模块的制造方法的部分剖面图。图4是说明本发明的实施方式I的薄膜太阳能电池模块的制造方法的部分剖面图。图5是本发明的实施方式2的薄膜太阳能电池模块的部分剖面图。图6是本发明的实施方式2的薄膜太阳能电池模块的部分立体图。图7是说明本发明的实施方式2的薄膜太阳能电池模块的制造方法的部分剖面图。图8是说明本发明的实施方式2的薄膜太阳能电池模块的制造方法的部分剖面图。图9是本发明的实施方式3的薄膜太阳能电池模块的部分立体图。图10是说明本发明的实施方式3的薄膜太阳能电池模块的制造方法的部分剖面图。 图11是说明本发明的实施方式3的薄膜太阳能电池模块的制造方法的部分剖面图。(符号说明)I :透光性绝缘基板；2 :透明电极；4 :光电转换层；6 :背面电极；6a :第I背面电极；6b :第2背面电极；10 :单位太阳能电池单元(单元);11 :发电区域；12 :连接区域；15 :第
2白色反射材料；16 :第I白色反射材料；17 :白色反射材料；19 :第I白色反射材料；31 :透明电极分离槽；32 :单元连接槽；33 :背面电极分离槽(第2分离槽)；34 第I光电转换层分离槽(第I分离槽)；35、36 :分离槽。
具体实施例方式以下，使用附图，说明本发明的薄膜太阳能电池模块及其制造方法的实施方式。另夕卜，本发明不限于以下的描述，能够在不脱离本发明的要旨的范围内适宜地变更。另外，在以下所示的附图中，为易于理解，有时各部件的缩尺与实际不同。在各附图之间，也同样。进而，在实施方式中，对相同的构成要素附加相同的符号，对于在某实施方式中说明的构成要素，在其他的实施方式中省略其详细的说明。<实施方式I. >图I是示出本实施方式I的薄膜太阳能电池模块的结构例的俯视图。另外，图2是本实施方式I的薄膜太阳能电池模块的部分剖面图，是图I的A — A间的剖面的一部分。如图I所示，在实施方式I的模块中，在透光性绝缘基板I上，在矩形的短边方向上排列了多个细长的矩形形状的单位太阳能电池单元10。在各单位太阳能电池单元10 (以下，将单位太阳能电池单元简称为单元)中，主要进行发电的发电区域11和主要电连接单元之间的连接区域12在短边方向上以规定的间隔交替排列。单元10的各个在与邻接的单元10之间的连接区域12内以电方式串联连接。单元10如图2所示，具有在透光性绝缘基板I之上依次层叠了透明电极2、光电转换层4以及背面电极6的结构。从作为与各层相反一侧的面的透光性绝缘基板I的表面入射的光经由透明电极2入射到光电转换层4而被光电转换。在光电转换层4中发生的电力从透明电极2和背面电极6取出。图2的光电转换层4是层叠了第I光电转换层4a和第2光电转换层4b的纵列(tandem)型的构造,该第2光电转换层4b的光电转换的波长依赖性与第I光电转换层4a不同。在第I光电转换层4a与第2光电转换层4b之间具有透光性并且导电性的中间层4m。光电转换层4也可以不采用纵列型的结构，而采用单层的构造，进而也可以采用多层的构造。连接区域12是在相邻的单元之间共有的部分。在连接区域12中，透明电极2、光电转换层4以及背面电极6分别在单元的矩形的长边方向上形成连续的槽而在邻接的单元分离。在透明电极2中，形成在单元之间分离的透明电极分离槽31，在其上的光电转换层4中，形成了单元连接槽32和背面电极分离槽33。将单元连接槽32设成了连续的开口部，但也可以是不连续的开口部。背面电极分离槽33是分离单元之间的背面电极6并且分离单元之间的光电转换层4的连续的槽。另外，在单元之间使光电转换层4分离的槽和使背面电极6分离的槽的位置也可以相互错开。邻接的一方的单元的背面电极6和另一方的单元的透明电极2经由单元连接槽32以电方式串联连接。单元连接槽32形成于由透明电极分离槽31和背面电极分离槽33夹着的区域。在本实施方式I中，设为如下构造在单元连接槽32内形成背面电极6，背面电极6直接与单元连接槽32的底部的透明电极2相接。该串联连接也可以代替背面电极6而经由其他电连接材料进行。 从透明电极分离槽31到背面电极分离槽33为止的连接区域12的区间是主要具有连接单元之间的功能的连接区域12，是对光电转换的贡献小的非发电区域。为了减少该非发电区域来提高光电转换效率，将这些槽之间设为比未形成槽的发电区域11尽可能窄。例如，设为如下构造在从与透光性绝缘基板I的主面垂直的方向观察的情况下，使透明电极分离槽31和背面电极分离槽33接近而平行地配置，单元连接槽32位于该狭窄的区间。另一方的单元10的透明电极2从光电转换层4的下部至少延伸至连接槽32的底部。因此，使单元之间的光电转换层4分离的背面电极分离槽33形成为即使形成为其底部到达透明电极2，也不会使透明电极2完全分断。如果将基板从其主面从垂直方向观察，则连接区域12成为如下构造构成单元的导电层被分离，并且一方的单元的背面电极6和另一方的单元的透明电极2相互从发电区域11延伸，在重叠的部分中电连接。在本实施方式I中，在电连接中利用的开口部的单元连接槽32的一方的单元侧，有去除了光电转换层4的第I光电转换层分离槽34 (以下，简称为第I分离槽)，在另一方的单元侧，作为去除了光电转换层的第2光电转换层分离槽(以下，简称为第2分离槽)，有背面电极分离槽33。即，在从单元连接槽32到透明电极分离槽31为止的区间，有去除了光电转换层4的第I分离槽34，在从单元连接槽32到背面电极分离槽33为止的区间，有作为去除了光电转换层的第2分离槽的背面电极分离槽33。在这些2个光电转换层分离槽的内部，形成了电绝缘性的第I白色反射材料16和第2白色反射材料15。第I分离槽34处于透明电极分离槽31与单元连接槽32之间。该槽与透明电极分离槽31大致平行地沿着单元10的长度方向而形成。该槽是通过激光划线法等削除了光电转换层4的槽，使该单元之间的光电转换层4分离并且其底部成为透明电极2。邻接的一方的单元10的背面电极6横过第I分离槽34的第I白色反射材料16之上而在单元连接槽32内与另一方的单元10的透明电极2连接。另外，作为第2分离槽的背面电极分离槽33也是通过激光划线法等消除光电转换层4而沿着单元10的长度方向形成的槽，其底部成为透明电极2。在图中，示出了白色反射材料15形成为包括背面电极分离槽33内和背面电极6之上而覆盖单元10的背面整体的情况，但也可以为了削减材料的使用量，几乎不覆盖背面电极6之上而像仅在背面电极分离槽33内、或者仅在槽内和其附近等那样，局部地形成。第I分离槽34内形成的第I白色反射材料16和背面电极分离槽33内形成的第2白色反射材料15优选为相同的材料，但也可以使用反射率等特性不同的材料。作为这些第I以及第2白色反射材料16、15，可以使用将白色的绝缘性微粒和透明的绝缘性树脂混合而得到的物质。在该情况下，白色的绝缘性微粒使用比背面电极分离槽33的深度小的粒径的微粒为好。作为白色的绝缘性微粒的材料，例如可以使用作为白色颜料已知的、氧化钛、氧化锌、硫酸钡、碳酸钙、氧化镁、氧化铝粉末等。尤其使用在可见光区域中具有高的反射率的呈现白色的颜料为好。另外，这些粒径是O. f 2微米为好。如果从这些范围选择比背面电极分离槽33的深度小的适合的粒径则更好，在背面电极分离槽33的深度是f几微米的情况下，将平均粒径设为O. 2^0. 5微米为好。能够通过激光衍射/散射式的粒子径分布测定装置，测定这样的微小的粒径。作为透明的绝缘性树脂，可以使用丙烯酸类树脂、醇酸树脂、苯酚树脂、乙烯树脂、氟系树脂。该树脂成分是结合剂，固定白色的绝缘性微粒彼此并且将它们固定于基底。作为白色反射材料16、15，可以使用以各种白色颜料为主成分并在可见光线区域至红外线区域中具有高反射率的白色涂料。特别是，优选将颜料仅设为白色，而不包含白色以外的着色颜料，以在太阳光的地表中的能量高的 40(T600nm的波长域中得到高的反射。作为白色涂料，例如，可以使用以氧化钛等白色颜料粒子为1(Γ40质量％、以透明树脂为1(Γ30质量％、以有机溶剂为3(Γ80质量％、且混合其他添加剂而设为100质量％的材料，来形成白色反射材料15。针对构成白色涂膜的树脂100质量部，也可以含有2(Γ200质量部的白色颜料粒子。形成白色反射材料15的背面电极分离槽33、形成以下叙述的其他白色反射材料的槽的宽度有时小至10微米等，但在这样窄的情况下，也提高颜料的质量比率，将在以10微米的厚度涂膜了的情况下在40(T600nm的波长域中反射率成为60%以上优选成为70%以上的材料用作反射材料为好。在这样的第I以及第2白色反射材料16、15中，白色的颜料粒子分散到透明的树脂中。树脂和颜料粒子的折射率不同，这些微小的界面在随机的方向上存在多个而成为反射面，所以入射到白色反射材料的光被乱反射。即，第I以及第2白色反射材料16、15是光的乱反射材料。透明电极2例如由ZnO、ITO (Indium Tin Oxide,铟锡氧化物)、SnO2等透明导电性氧化膜、或者对ZnO添加了铝或镓等金属材料的膜等构成。光电转换层4具有PN结或者PIN结，是层叠I层或者多层的通过入射到薄膜太阳能电池的光的入射侧的面(在图2中下侧的面)的入射光进行发电的薄膜半导体层而构成的。作为薄膜半导体层，例如，可以使用非晶氢化硅、微晶硅、非晶硅锗、微晶硅锗、非晶碳化硅、微晶碳化硅等。另外，在层叠多个薄膜半导体层来构成光电转换层4的情况下，也可以在薄膜半导体层之间，作为中间层4m，插入ΙΤ0、Ζη0等透明导电性膜、或者掺杂杂质而提高了导电性的氧化硅、氮化硅等硅化合物膜。背面电极6优选为从与半导体层相接的面侧按照透明导电膜和金属膜的顺序层叠的构造。通过在半导体层与金属膜之间插入透明导电膜，能够抑制金属膜成分扩散到半导体层中而使太阳能电池的单元特性下降的现象。另外，通过插入透明导电膜，能够使得具备增进对太阳能电池的效率的效率提高有效的光封入效应的作用。在透明导电膜材料中，可以使用上述Sn02、ΙΤ0, ZnO等。金属膜材料优选由导电率高、且光反射率高的材料构成。例如，可以使用银、金、铝、铬、钛、镍等金属膜材料。如上所述，本实施方式I的薄膜太阳能电池模块在作为单元连接开口部的单元连接槽32的两侧具有去除了光电转换层的光电转换层分离槽34以及背面电极分离槽33，并在它们的内部形成了绝缘性的第I以及第2白色反射材料16、15。不仅在发电区域11的一方的端，第2白色反射材料15与光电转换层4的侧面相接，而且在比单元连接槽32更接近发电区域11的区域设置第I分离槽34，并在其内部，第I白色反射材料16与光电转换层4的侧面相接，所以能够有效地利用入射到发电区域11的光。另外，光电转换层分离槽34和背面电极分离槽33的底部都是透明电极2，第I以及第2白色反射材料16、15形成于底部的透明电极2。白色反射材料16、15是乱反射材料，所以直接入射到连接区域12的光的一部分在白色反射材料16、15的底部乱反射而在透光性绝缘基板I的表面以浅的角度反射。在透光性绝缘基板I的表面再次反射而入射到光电转换层4侧，所以能够有效地利用光。进而，白色反射材料16、15都是从底面的基板起的高度与光电转换层4相同，不比光电转换层4更突出到入射侧，所以不会遮挡在发电区域11 倾斜地入射到光电转换层4的光。另外，单元连接槽32和光电转换层4通过第I分离槽34和作为第2分离槽的背面电极分离槽33而其两侧被电分离，所以防止横向泄漏。无需为了防止泄漏而使单元连接槽32从发电区域11隔开距离，能够使透明电极分离槽31和单元连接槽32更接近，能够减小作为非发电区域的连接区域12的宽度。另外，通过用绝缘性的材料覆盖光电转换层4的侧面，还能够防止由于导电性的灰尘进入该槽等而产生的泄漏电流的发生。另外，在本实施方式I中，第2白色反射材料15不仅覆盖光电转换层4的槽，而且还覆盖背面电极6之上的整面，从而还具有机械、化学地保护背面电极6的效果。以下，说明本实施方式I的薄膜太阳能电池模块的制造方法。图3以及图4是说明本实施方式I的薄膜太阳能电池模块的制造方法的部分剖面图。首先，如图3 (a)那样，在由白板玻璃等构成的透光性绝缘基板I之上，形成通过透明电极分离槽31按每个单元10分割的透明电极2。S卩，进行形成透明电极的工序A、以及形成使该透明电极在单元之间分离的透明电极分离槽的工序B。作为其方法，有为了使得不附着到透明电极分离槽31的部分而使用掩模在基板上堆积透明电极2的同时进行工序A和工序B的方法；以及在透光性绝缘基板I的整面形成透明电极2而进行了工序A之后进行对透明电极2加工而形成透明电极分离槽31的工序B的方法，等。对于透明电极2，例如能够通过溅射法等形成添加了铝的ZnO膜。另外，作为形成透明电极分离槽31的透明电极2的加工方法，有激光划线法、使用了抗蚀剂掩模的湿蚀刻法。在透光性绝缘基板I是矩形的情况下，相对透光性绝缘基板I的边隔开规定的间隔而平行地排列而形成透明电极分离槽31为好。接下来，如图3 (b)那样，进行在透明电极2之上形成由半导体材料构成的光电转换层4的工序C。然后，进行去除该光电转换层4的一部分而形成第I分离槽34的工序H。第I分离槽34被加工成在其底部留下透明电极2。第I分离槽34形成于稍微离开了透明电极分离槽31的附近的位置。该位置是在后面的工序中形成的单元连接槽32到透明电极分离槽31为止的区间的区域内。通过CVD法堆积工序C的光电转换层4。在将光电转换层4设为多接合型的情况下，例如，作为第I光电转换层4a堆积非晶氢化硅薄膜的薄膜半导体层，接下来作为中间层4m堆积进行了杂质掺杂的氧化硅膜，并在其上作为第2光电转换层4b堆积微晶硅薄膜的薄膜半导体层的各层。光电转换层4既可以是单层，也可以是多层的接合构造。作为半导体材料，也可以是化合物半导体等其他材料层。可以使用激光划线法来形成工序H的第I分离槽34。在以硅为主成分的光电转换层4的情况下，作为光源使用Nd: YAG激光器的2次谐波，从而能够比较容易地形成在底部露出了透明电极2的槽。该槽形成为在单元10的长度方向上延伸，通过该槽，光电转换层4按每个单元10分离。接下来，如图3 (C)那样，进行在第I分离槽34内涂敷白色且含有电绝缘性的颜料粒子的白色涂料来形成第I白色反射材料16的工序I。通过作为白色颜料将含有氧化钛的微粒的白色涂料涂敷到背面电极分离槽33而形成第I白色反射材料16。如果作为涂料，例如使用平均粒径为O. 2^0. 3微米的二氧化钛粒子为1(Γ40质量％、合成树脂为1(Γ30质量％、烃系、酯系、乙醇系、酮系、醚系等挥发性良好的溶剂为3(Γ80质量％的白色墨水，则生产性良好。 仅在第I分离槽34内、或者限于包括该槽的附近，局部地进行工序I的白色涂料的涂敷。可以通过使用了分配器、喷墨、网板印刷的方法，如上那样向槽局部地涂敷白色涂料。另外，在图中，示出了第I白色反射材料16完全掩埋了分离槽34，但只要附着于分离槽34内的光电转换层4的侧面和底面，则无需一定完全掩埋槽。另外，第I白色反射材料16也可以在涂敷时从分离槽34部分地露出到其附近的背面电极6之上。在涂敷之后通过热处理等去除白色涂料中包含的溶剂等挥发成分。接下来，如图3 (d)那样，进行作为单元连接用的开口部以其底部到达下层的透明电极2的方式去除光电转换层4来形成单元连接槽32的工序D。单元连接槽32形成于由透明电极分离槽31和之后形成的背面电极分离槽33夹着的区域，且形成于白色反射材料16的附近且与透明电极分离槽31相反一侧。该单元连接槽32也可以与第I分离槽34同样地使用激光划线法来形成。接下来，如图3 (e)那样，进行在光电转换层4之上形成背面电极6的工序E。背面电极6还覆盖单元连接槽32的内面，与其底部的透明电极2相接。由此，与工序E —起进行在单元连接槽32的内部对邻接的一方的单元10的背面电极6和另一方的单元10的透明电极2进行电连接的工序F。工序F未必一定与工序E同时进行，也可以例如使用导电骨等在其他工序中进行。对于在工序E中使用的背面电极6，优选形成从与半导体层相接的面侧按照氧化物透明导电膜和金属膜的顺序层叠的构造的背面电极6。在氧化物透明导电膜的材料中，使用例如添加了铝的氧化锌，并形成薄膜。作为成膜方法，例如能够使用喷镀法，但不限于此，也可以使用CVD法、涂敷法等其他方法。接下来，作为金属膜，形成使用了光的反射率高的例如银的金属薄膜，并形成背面电极6。作为成膜方法，例如可以使用溅射法，但不限于此，也可以使用电子束类型蒸镀法、涂敷法等其他方法。氧化物透明导电膜能够防止由于半导体层和金属膜直接接触而产生相互扩散等而劣化的现象。在以硅为主成分的半导体层和以银为主成分的金属膜的组合的情况下，其效果显著。另外，通过将氧化物透明导电膜的厚度设为光学干涉膜的厚度，从而能够提高使通过了光电转换层4的光再次反射到光电转换层4侧的反射率。接下来，如图4 (f)那样，进行形成使背面电极6在单元之间分离的背面电极分离槽33的工序G。该背面电极分离槽33与单元连接槽32邻接并形成于与透明电极分离槽31相反一侧的位置。该背面电极分离槽33不仅使单元之间的背面电极6分离，而且使透明电极2之上的光电转换层4也分离。由于背面电极分离槽33还兼作第2分离槽，所以与工序G 一起进行在从单元连接槽32到背面电极分离槽33为止的区间形成去除了所述光电转换层的第2分离槽的工序J。背面电极分离槽33成为在单元10的长度方向上延伸并从透明电极2的表面到达透明电极2的槽。作为形成这样的槽的方法，可以使用利用了抗蚀剂掩模的蚀刻法、激光划线法。虽然也可以在其他工序中进行工序G和工序J，但如果使用例如通过从透光性绝缘基板I的表面侧照射激光的激光划线法来连同光电转换层4 一起剥离背面电极6的方法，则工序G和工序J能够同时进行，所以加工容易。接下来，如图3 (e)那样，进行在工序J中形成的作为第2分离槽的背面电极分离槽33中，形成第2白色反射材料15的工序K。与第I白色反射材料16同样地，涂敷含有白 色颜料的涂料来形成第2白色反射材料15。在涂敷之后加热干燥使溶剂蒸发而设为涂膜。作为涂料优选的是，涂膜中的白色颜料成分相对树脂成分的质量比率成为例如40%以上等那样的白色颜料成分的比例高的材料。如果提高白色颜料成分的比率，则例如即使是广10微米左右的薄膜，也成为反射特性优良的白色反射材料16、15。作为白色颜料可以使用各种材料，但优选的是，光学性的折射率高的材料。由于微细的粒子表面与周围具有折射率差而产生光学性的乱反射，所以与涂膜内的透明树脂相比折射率差大的氧化钛优越。另外，氧化钛中的锐钛矿型的粒子的反射特性优良，但具有由于紫外线而分解树脂的作用，所以在长期使用时优选使用金红石型的物质。这样的涂料的涂敷既可以是通过喷雾器、辊子涂敷在单元10之上的整面的方法，也可以是通过分配器、喷墨机、网板印刷等以在背面电极分离槽33内填充涂料的方式局部地涂敷的方法。从保护单元10的观点来看，优选一样地覆盖单元10之上的整面，从减少使用物质这样的观点来看，优选局部地涂敷。也可以在涂敷了丙烯酸系的涂料之后在10(Tl5(rC的温度下进行烘烤处理，得到耐久性优良、长期性的劣化少的涂膜。如果在涂敷涂料之后进行在10(T150°C下加热的工序或减压处理工序等，则去除溶剂成分的速度加快，能够加快制造。经过以上的工序，基本的薄膜太阳能电池模块完成。虽然在图中未示出，但之后进而经由在透光性绝缘基板I之上用粘接剂等粘接密封片等保护部件的密封工序，成为能够在室外长期使用的薄膜太阳能电池模块。如上所述，本实施方式I的薄膜太阳能电池模块的制造方法具有工序A，在透光性绝缘基板I之上，形成透明电极2 ;工序B，形成使透明电极2在单元之间分离的透明电极分离槽31 ;工序C，在透明电极2之上形成光电转换层4 ;工序D，形成去除光电转换层4而底部到达透明电极2的单元连接开口部(单元开口槽32);工序E，在光电转换层4之上形成背面电极6 ;工序F，在单元连接开口部(单元开口槽32)内部，对一方的单元10的背面电极6和另一方的单元10的透明电极2进行电连接；以及工序G，形成使背面电极2在单元之间分离的背面电极分离槽33。在本实施方式I中，还具有工序H，在从单元连接开口部(单元开口槽32)到透明电极分离槽31为止的区间，形成去除了光电转换层4的第I分离槽34 ；工序I，在工序H中形成的所述第I分离槽中涂敷含有白色颜料的涂料而形成第I白色反射材料16 ;工序J，在从单元连接开口部(单元开口槽32)到背面电极分离槽33为止的区间，形成去除了光电转换层4的第2分离槽(背面电极分离槽33);以及工序K，在工序J中形成的第2分离槽(背面电极分离槽33)中涂敷含有白色颜料的涂料来形成第2白色反射材料15。这样，通过单元工序H和工序J，在连接开口部的两侧设置光电转换层4的分离槽。这些分离槽成为发电区域11的光电转换层4的两端，在该两端通过工序I和工序K来设置第I以及第2白色反射材料16、15。另外，对于各工序，可以在不产生不便的范围内变更顺序、或者通过I个工序进行多个工序、或者将I个工序分成多个工序来进行。在工序I和工序K中，涂敷含有白色的绝缘性粒子的涂料来形成光的白色反射材料，所以能够容易地制造出使将单元连接构造部分的光向背面侧通过的光以高的反射率导入到光电转换层的高效的薄膜太阳能电池。另外，能够通过比光反射率的密封片、具有反射成分的粘接剂薄的涂膜来实现高的光反射率，所以能够减少使用物质。在背面侧粘接密封片等时，在粘接剂中也不需要光学性的反射特性、透射特性，并能够选择廉价的粘接剂，所以对低成本化也有利。 <实施方式2. >图5是本实施方式2的薄膜太阳能电池模块的部分剖面图，是与实施方式I的图2相当的位置的剖面图。本实施方式2的薄膜太阳能电池模块与实施方式I的相同点在于，在单元连接槽32的一方和另一方的两个单元的光电转换层4的侧面有白色反射材料，但不同点在于，在本实施方式2中，单元连接槽32形成于白色反射材料的内部。光电转换层4在单元之间具有I个分离槽35，在该分离槽35内形成的白色反射材料内形成了单元连接槽32和背面电极分尚槽33。图6是本实施方式2的薄膜太阳能电池模块的部分立体图。在图的X方向(矩形的短边方向)，在透光性绝缘基板I之上排列了多个矩形的单元10，在单元10之间光电转换层4的分离槽35在与X方向正交的Y方向(矩形的长边方向)上延伸。为了使单元之间的光电转换层4分离而形成的槽仅为该I条。在分离槽35内形成了白色反射材料17，并在该白色反射材料17内有单元连接槽32和背面电极分离槽33。单元连接槽32和背面电极分离槽33形成于从光电转换层4的侧面稍微离开的位置。因此，在分离槽35内，分开存在与光电转换层4的一方的侧面相接的部分白色反射材料17a、和与另一方的侧面相接的部分白色反射材料17c。另外，在将单元连接槽32形成为在单元10的长度方向上连续的槽的情况下，能够在部分白色反射材料17a、17c之间形成部分白色反射材料17b。背面电极6包括由金属膜等构成的第I背面电极6a和背面电极6由透明导电膜等构成的第2背面电极6b。第2背面电极6b夹在光电转换层4与第I背面电极6a之间。在图8中，不出了部分白色反射材料17a、17c的一部分还形成于第2背面电极6b之上的情况，但也可以如图5所示仅形成于槽内。另外，无需将背面电极6设为多层，也可以设为单层。这样，在本实施方式2的薄膜太阳能电池模块中，从单元连接槽32去除透明电极分离槽31侧的光电转换层4的一部分而插入了部分白色反射材料17a，从单元连接槽32去除背面电极分离槽33侧的光电转换层4的一部分而插入了部分白色反射材料17c。S卩，与实施方式I同样地，在单元10的长度方向的两侧，形成了与光电转换层4侧面相接的白色反射材料17。部分白色反射材料17a相当于实施方式I的第I白色反射材料16，部分白色反射材料17c相当于第2白色反射材料15。因此，与实施方式I同样地，具有提高光电转换效率并且防止泄漏电流的效果。另外，在分离槽35内的白色反射材料17中形成了作为单元连接开口部的单元连接槽32和单元分离用的背面电极分离槽33，所以形成于单元10之间的光电转换层4的槽仅为分离槽35这I条，对缩窄连接区域12的宽度具有效果。接下来，说明本实施方式2的薄膜太阳能电池模块的制造方法。图7以及图8是说明本实施方式2的薄膜太阳能电池模块的制造方法的部分剖面图。首先，如图7 (a)那样在透光性绝缘基板I上形成用透明电极分离槽31分割的透明电极2的这一点与实施方式I的工序A、工序B相同。接下来，与实施方式I的工序C同样地，在透明电极2之上形成由半导体构成的光电转换层4。进而，如图7 (b)那样，在该光电转换层4之上通过溅射法等形成了由透明导电膜构成的第2背面电极6b之后，在光电转换层4和第2背面电极6b中形成底部到达透明电极2的分离槽35。分离槽35可以与实施方式I的工序H同样地，通过激光划线法形成。该分离槽35是兼作在实施方式I的工序D中形成的单元连接开口部、在工序H中形成 的第I分离槽、以及在工序J中形成的第2分离槽的槽。通过在单元之间形成I条这样的槽,通过形成分离槽35，同时进行工序D、工序H、工序J的光电转换层4的去除。接下来，如图7 (c)那样，在该分离槽35中填充白色且含有绝缘性的颜料粒子的白色涂料而形成白色反射材料17。该白色反射材料17是兼作在实施方式I的工序I中形成的第I白色反射材料16和在工序K中形成的第2白色反射材料15的材料。通过形成白色反射材料17，同时进行工序I和工序K的白色反射材料的形成。能够通过使用了分配器、喷墨、网板印刷的方法，向槽局部地涂敷白色涂料。另外，在图中，示出了白色反射材料17完全掩埋了分离槽35，但只要附着于分离槽34内的光电转换层4的侧面和底面，则无需一定完全掩埋槽。另外，白色反射材料17也可以在涂敷时从分离槽35如图6所示部分性地露出到其附近。接下来，如图7 Cd)那样进行在分离槽35的白色反射材料17内形成单元连接槽32的工序D。从与透明电极分离槽31接近的一侧的光电转换层4的侧面稍微隔开距离，在白色反射材料17内形成该单元连接槽32。单元连接槽32是到达透明电极2的白色反射材料17的槽。作为在这样的单元连接槽32中形成白色反射材料17的方法，可以使用利用抗蚀剂掩模来加工的方法、激光划线法。在使用激光划线法的情况下，优选适当地选择在工序I以及工序K中形成的白色反射材料17的成分、所使用的激光的波长。作为含有聚酰亚胺树脂的白色反射材料17，如果通过从透光性绝缘基板I的表面照射波长40(T450nm的脉冲激光的激光划线来形成，则槽的加工容易。作为这样的激光，例如，基波为1342nm的Nd =YVO4激光器的3次谐波波长447nm的激光适合。聚酰亚胺树脂在可见光的波长域中透明，但如果波长变为450nm以下，则吸收急剧增加的情况较多。如果对这样的聚酰亚胺系树脂照射450nm以下的高能量的激光，则树脂分解而丧失与基底的粘接力的基础上，产生消融而连同所含有的颜料粒子一起剥离。这样的加工还能够通过照射Nd =YAG的3次谐波那样的波长为355nm的脉冲激光来进行，但如果波长比400nm短则透明电极2内的吸收增加，所以在透明电极2比较厚的情况下难以使用。因此，在白色反射材料17内含有在波长400nm以上的波长下吸收比较大的树脂材料，并通过该树脂材料吸收的波长的激光来进行加工为好。另外，也可以是如下方法将在可见光区域中透射率高、且在近红外区域中具有大的吸收的树脂添加为白色反射材料17的成分，并通过该吸收波长的近红外激光来进行激光加工。作为在近红外区域中吸收大的树脂，例如使用芳香族系的树脂为好。接下来，与实施方式I的工序E和工序F同样地，如图8 (e)那样，使用溅射法等用由金属膜构成的第I背面电极6a覆盖单元连接槽32内面和第2背面电极6b之上。进而，如图8 (f)那样，进行在白色反射材料17内形成背面电极分离槽33，使单元之间的第I背面电极6a分离的工序G。从与透明电极分离槽31远的一侧的光电转换层4的侧面稍微隔开距离，在白色反射材料17内形成背面电极分离槽33。能够通过使用如工序D的说明中叙述那样的激光划线法，一边在底部中残留透明电极2，一边将其上的白色反射材料17和第I背面电极6a—起去除，由此形成该背面电极分离槽33。如上所述，本实施方式2的薄膜太阳能电池模块完成，但也可以进一步进行用白色反射材料掩埋背面电极分离槽33内的处理。如上所述，本实施方式2的薄膜太阳能电池模块的制造方法具有在通过工序A、工序B、工序C在透明电极2之上形成了光电转换层4之后，同时进行以在单元之间底面露 出透明电极2的方式在该光电转换层4中形成I条分离槽35的工序H和工序J的工序；在该分离槽35的底部和槽内的光电转换层4的侧面形成含有白色的绝缘性物质的白色反射材料17而同时进行工序I和工序K的工序；工序D，在该白色反射材料17中形成单元连接槽32 ;工序E，在工序D之后形成背面电极2 ;工序F，经由单元连接槽32而对邻接的一方的单元的第I背面电极6a和另一方的单元的透明电极2进行电连接；以及工序G，连同分离槽35内的白色反射材料17的一部分一起去除该白色反射材料17之上的背面电极6而形成背面电极分离槽33来使单元之间的第I背面电极6a分离。由此，在邻接的单元之间形成的光电转换层4的槽是分离槽35这I条即可，所以制造容易。另外，在单元10的长度方向的两侧形成白色反射材料17的工序能够通过一次的涂敷工序来实现，所以制造容易。另外，在分离槽35内形成作为连接开口部的单元连接槽32和背面电极分离槽33时，照射白色反射材料17的树脂吸收的激光并进行加工，从而以比无机材料的加工低的能量分解，所以能够通过能量密度小的激光来加工，加工速度也能够高速化。另外，在形成分离槽35之前在光电转换层4之上形成了由透明导电膜构成的第2背面电极6b，所以能够防止光电转换层4的污染、劣化。<实施方式3. >图9是本实施方式3的薄膜太阳能电池模块的部分剖面图，是与实施方式I的图
2、实施方式2的图5相当的位置的剖面图。本实施方式3的薄膜太阳能电池模块类似于实施方式1，但不同点在于，在透光性绝缘基板I的垂直方向上具有白色颜料的浓度不同的白色反射材料19。进而，本实施方式3的薄膜太阳能电池模块的光电转换层4的分离槽的位置与实施方式1、2不同，成为使透明电极2和光电转换层4同时分离的分离槽36。在该分离槽36内形成了第I白色反射材料19。是实施方式I的构造的透明电极分离槽31和第I分离槽34连通为I个分离槽36的构造。在该分离槽36中，在透明电极分离槽36内大致平行地沿着单元10的长度方向形成了第I白色反射材料19。第I白色反射材料19比单元连接槽32处于透明电极分离槽31侧，相当于实施方式I的第I白色反射材料16。该第I白色反射材料19与实施方式I中叙述的材料基本上相同，由白色的绝缘性物质构成，但由从受光面侧白色颜料的浓度依次渐增的多个层构成。即，在本实施方式3中，在邻接的单元之间的透明电极2的分离槽36中，与光电转换层4的单方的侧面相接的第I白色反射材料19形成为白色的浓度不同的光散射层。接下来，说明本实施方式3的薄膜太阳能电池模块的制造方法。图10 (a) Ce)以及图11 (f) (g)是说明本实施方式3的薄膜太阳能电池模块的制造方法的部分剖面图。首先，如图10 (a)那样，在工序A中在透光性绝缘基板I上形成透明电极2。与实施方式I等不同地，在该时刻不进行按每个单元分割透明电极2的工序B。接下来，与实施方式I等同样地，进行在透明电极2之上层叠由薄膜半导体层构成的光电转换层4的工序C。进而，如图10 (b)那样，通过激光划线法等同时削除透明电极2和光电转换层4而形成分离槽36。为了通过激光划线法同时加工透明电极2和光电转换层4，使用YAG激光器的基波为好。分离槽36是使透明电极分离的槽，沿着单元10的长度方向形成。分离槽36的底部是透光性基板I。分离槽36也是与实施方式I的第I分离槽34同样地使光电转换层4分离的槽。即，同时进行形成使透明电极2在单元之间分离的透 电转换层的第I分离槽的工序H。接下来，如图10 (C)那样，进行在所形成的分离槽36中埋入白色的绝缘性物质的工序I。以随着从透光性绝缘基板I侧到背面电极6侧而使白色的反射率依次变高的方式，将所使用的白色的绝缘性物质设为颜料浓度随着到背面侧而渐增的多个层。颜料浓度是涂膜中包含的颜料成分的质量比例，由所涂敷的白色涂料中包含的颜料成分的比例决定。透光性绝缘基板I侧的白色颜料的浓度低于背面电极6侧的白色颜料的浓度。在图中，示出了作为第I白色反射材料19，将颜料浓度低的白色反射材料19a和颜料浓度高的白色反射材料1%形成为2层的情况。浓度不同的层数也可以多于2层，另夕卜，也可以设为层的边界不明确的浓度倾斜层。颜料浓度低的白色反射材料19a的厚度优选为如图所示比透明电极2的厚度厚。由于这样的浓度的差异，受光面侧的反射率低、且能够提高背面侧的反射率。白色的绝缘性物质是白色的颜料粒子分散于透明树脂的物质，所以在光透射率的方面，作为受光面的透光性绝缘基板I侧高并成为半透射性，在背面电极6侦U变低。例如，也可以相对于构成白色反射材料19a的白色涂膜的树脂100质量部，含有f 20质量部的白色颜料粒子，使背面侧的白色反射材料19b含有2Γ200质量部的白色颜料粒子。也可以将最位于受光侧的白色反射材料的颜料浓度设为最位于背面侧的白色反射材料的颜料浓度的l/10(Tl/5以下等。能够通过使用了分配器、喷墨、网板印刷的方法，向槽局部地涂敷白色涂料。通过反复涂敷多次浓度不同的层，能够构成上述那样的浓度倾斜。在图中，示出了白色反射材料19完全掩埋了分离槽36，但只要至少附着于分离槽36的底面、透明电极2的侧面、以及光电转换层4的侧面的一部分，则无需完全掩埋槽。另外，第I白色反射材料19也可以在涂敷时从分离槽36部分性地露出到其附近的透明电极2之上。这样，仅在槽内部、或者仅在槽和槽附近局部地涂敷第I白色反射材料19，而几乎不覆盖光电转换层4之上。接下来，在其后面的工序中，与实施方式I同样地，如图10 (d)那样形成单元连接槽32的工序D之后，如图10 Ce)那样进行以覆盖光电转换层4之上的整面和单元连接槽32内的方式形成金属膜来形成背面电极6的工序E和工序F。之后，如图11 (f)那样进行形成使背面电极6和光电转换层4在单元之间分离的背面电极分离槽33的工序G和工序J0然后，最后如图11 (g)那样进行在背面电极分离槽33内形成第2白色反射材料15的工序K。图是将第2白色反射材料15设为单一的白色浓度的白色反射材料的情况，但对于第2白色反射材料15，也可以与白色反射材料19同样地变更白色颜料的含有量而形成。如上所述，在本实施方式3中，在单元连接槽32的两侧附近形成了含有白色的绝缘性物质的第I以及第2白色反射材料19、以及15。即，在单元的发电区域11的长度方向两侧面具有光的乱反射面，并且能够将入射到与透明电极分离槽相当的分离槽36的透明电极分尚槽部分的光在单兀内部利用为散射光。另外，对于第I白色反射层19，通过颜料浓度低的白色反射材料19a，至少将透光性绝缘基板I的正上方的比透明电极2的厚度厚的部分设为光透射性即可。在本实施方式3中，分离槽36的底部到达透光性绝缘基板1，所以第I白色反射材料19比光电转换层4更向光入射侧突出，但如果将光透射性设至透明电极2的厚度为止，则突出部在倾斜地入射的情况下也不会完全遮挡入射到光电转换层4的光，光的利用效率提高。作为光透射性， 优选使通过白色反射材料19a的厚度的层的可见光的减衰量成为1/2以下。在本实施方式3中，白色反射材料19a含有少量的白色颜料以一并具有光透射性和光散射性，但在光透射性更重要的情况下，也可以不含白色颜料而完全设为透明的层。也可以将白色反射材料19a的厚度设为与透明电极2大致相同，代替白色反射材料19a而设为几乎不具有白色颜料的透明的树脂层。在该情况下，例如，使用与白色反射材料1%中包含的材料相同的树脂材料为好。另外，不仅在单元连接槽32的两侧，而且在透明电极之间的槽内中也形成绝缘性的层，所以还能够防止由于抑制在发电区域11中发生的电流在单元连接槽32内经由形成在光电转换层4的侧面的导电物质的横泄漏、以及邻接的透明电极部分彼此的横泄漏而引起的转换效率的劣化。另外，在上述中，在分离槽36中设置了浓度不同的第I白色反射材料19，但也可以将背面电极分离槽33的内部的白色反射材料15的浓度设为不同。例如，也可以在形成了白色颜料的浓度低、且粘接力高的薄的半透明层之后，形成白色反射材料15来提高白色反射材料15的粘接力。对于实施方式2，也可以同样地设为白色浓度不同的构造。只要不产生技术上的矛盾，就能够将以上的任意一个实施方式中叙述的一部分的结构置换为其他实施方式或者与其他实施方式组合。另外，即使去除一部分的构成要素，有时也得到效果。在本发明中，为了再利用在单元之间向后方通过的光而实现高效化，设置了含有白色的绝缘性物质的光的白色反射材料，但例如在实施方式2那样的薄膜太阳能电池模块的构造、制造方法中，也可以代替白色反射材料而设置不具有颜料的透明或者不透明的树脂层。在该情况下，也成为制造容易并且连接区域12窄、且抑制了泄漏的高效的薄膜太阳能电池模块。产业上的可利用性本发明能够实现高性能的薄膜太阳能电池模块，并且能够使其制造变得容易。
权利要求
1.一种薄膜太阳能电池模块，在透光性绝缘基板之上排列了依次层叠了透明电极、光电转换层以及背面电极的多个单元，其中， 在邻接的单元之间，具备 透明电极分离槽，使所述透明电极在单元之间分离； 背面电极分离槽，使所述背面电极在单元之间分离；以及 单元连接开口部，在所述透明电极分离槽与所述背面电极分离槽之间，对一方的单元的所述背面电极和另一方的单元的所述透明电极进行电连接， 在从所述单元连接开口部到所述透明电极分离槽为止的区间以及从所述单元连接开口部到所述背面电极分离槽为止的区间，具有去除了所述光电转换层的光电转换层分离槽，在所述光电转换层分离槽的内部形成了绝缘性的白色反射材料。
2.根据权利要求I所述的薄膜太阳能电池模块，其特征在于， 在邻接的单元之间使所述光电转换层分离的分离槽仅为I条，在所述分离槽内形成了所述白色反射材料，在所述白色反射材料内形成了对邻接的单元之间进行电连接的开口部和所述背面电极分离槽。
3.根据权利要求I所述的薄膜太阳能电池模块，其特征在于， 所述白色反射材料含有白色颜料，所述透光性绝缘基板侧的所述白色颜料的浓度比所述背面电极侧的所述白色颜料的浓度低。
4.根据权利要求I所述的薄膜太阳能电池模块，其特征在于， 从所述单元连接开口部到所述透明电极分离槽为止的区间的被去除了所述光电转换层的光电转换层分离槽是分离所述透明电极并且分离所述光电转换层的分离槽， 在该分离槽内形成的所述白色反射材料具有白色颜料，所述透光性绝缘基板侧的所述白色颜料的浓度比所述背面电极侧的所述白色颜料的浓度低，在所述透光性绝缘基板的正上方比所述透明电极的厚度厚的部分具有光透射性。
5.一种薄膜太阳能电池模块的制造方法，在所述薄膜太阳能电池模块中，排列了依次层叠了透明电极、光电转换层以及背面电极的多个单元，该制造方法具有 工序A，在透光性绝缘基板之上形成透明电极； 工序B，形成使所述透明电极在单元之间分离的透明电极分离槽； 工序C，在所述透明电极之上形成光电转换层； 工序D，形成去除所述光电转换层而底部到达所述透明电极的单元连接开口部； 工序E，在所述光电转换层之上形成背面电极； 工序F，在所述单元连接开口部内部对一方的单元的所述背面电极和另一方的单元的所述透明电极进行电连接；以及 工序G，形成使所述背面电极在单元之间分离的背面电极分离槽， 该制造方法具有 工序H，在从所述单元连接开口部到所述透明电极分离槽为止的区间，形成去除了所述光电转换层的第I光电转换层分离槽； 工序I，在所述工序H中形成的所述第I光电转换层分离槽中涂敷含有白色颜料的涂料而形成白色反射材料； 工序J，在从所述单元连接开口部到所述背面电极分离槽为止的区间，形成去除了所述光电转换层的第2光电转换层分离槽；以及 工序K，在所述工序J中形成的所述第2光电转换层分离槽中涂敷含有白色颜料的涂料而形成白色反射材料。
6.根据权利要求5所述的薄膜太阳能电池模块的制造方法，其特征在于， 在所述工序A、所述工序B、以及所述工序C之后，通过在单元之间形成兼作所述第I所述光电转换层分离槽和所述第2所述光电转换层分离槽的I条所述光电转换层分离槽而同时进行所述工序H和所述工序J， 在所述单元之间的I条所述光电转换层分离槽中形成所述白色反射材料而同时进行所述工序I和所述工序K， 在所述工序I和所述工序K之后，通过去除所述白色反射材料的一部分而进行形成所述单元连接开口部的所述工序D， 在所述工序D之后，进行所述工序E和所述工序F， 所述工序G是去除所述白色反射材料的一部分的同时去除该白色反射材料之上的所述背面电极的工序。
7.根据权利要求6所述的薄膜太阳能电池模块的制造方法，其特征在于， 在所述工序I和所述工序K中形成的所述白色反射材料含有聚酰亚胺树脂， 所述工序D或者所述工序G中的所述白色反射材料的去除是通过照射波长40(T450nm的激光来去除的方法进行的。
8.根据权利要求5所述的薄膜太阳能电池模块的制造方法，其特征在于， 同时进行所述工序B和所述工序H，形成兼作所述透明电极分离槽和所述第I光电转换层分离槽的槽，并通过在该槽中在所述工序I中层叠白色颜料的含有浓度不同的白色涂料，从而使得所述白色反射材料的所述透光性绝缘基板侧的所述白色颜料的浓度比所述背面电极侧的所述白色颜料的浓度低。
全文摘要
本发明实现提高薄膜太阳能电池的光的利用效率，并且其制造容易的薄膜太阳能电池模块。一种薄膜太阳能电池模块，排列了依次层叠了透明电极(2)、光电转换层(4)以及背面电极(6)的多个单元，其中，在从单元连接开口部(32)到透明电极分离槽(31)为止的区间以及从单元连接开口部(32)到背面电极分离槽(33)为止的区间具有去除了光电转换层的第1分离槽(34)和背面电极分离槽(33)，并在这些槽的内部形成了绝缘性的白色反射材料(16、15)。
文档编号H01L31/04GK102782867SQ20118001154
公开日2012年11月14日 申请日期2011年2月25日 优先权日2010年3月2日
发明者屋敷保聪, 西川祐介 申请人:三菱电机株式会社