专利名称：条状部件的去毛边方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种条状部件的去毛边方法及装置，且该条状部件包含进行过树脂成型的模制导线框架条(Molded Lead Frame Strip),特别是涉及一种条状部件的去毛边方法及装置，该方法针对电镀处理过程的前后所进行的电解去毛边步骤，在电解去毛边步骤前或在电解去毛边步骤中，增加将化学溶液以喷射流的形式对条状部件的表面进行加压的步骤，从而改善电解去毛边步骤的效率。
背景技术：
一般而言，半导体的制造步骤中，在根据树脂成型而实行的密封过程之后，会进行去毛边(Deflash)过 程，该去毛边过程用于在电镀过程之前对于将要进行电镀的部位或者是电镀过程之后对于进行过电镀的部位除去毛边(Flash)。现有的去毛边过程中，依序进行浸溃步骤、清洗(Rinse)步骤、电解去毛边步骤、再次清洗步骤、以及水喷注步骤，其中浸溃步骤中通常是将条状部件浸溃于化学溶液中一定时间，清洗步骤中清洗条状部件的表面，电解去毛边步骤中对于清洗过的条状部件在浸溃的状态下进行电解去毛边以剥离除去毛边，再次清洗步骤中再次清洗条状部件的表面，并且，水喷注步骤是用于除去残留的毛边。S卩，依序进行浸溃步骤、清洗步骤、电解去毛边步骤、再次清洗步骤、以及水喷注步骤，而这种现有方式的去毛边过程中的电解去毛边步骤，由以下述步骤进行:在将清洗过的条状部件浸溃于化学溶液(例如氢氧化钾溶液)的状态下，以条状部件作为阴极，钛或钼等不溶性金属作为阳极，在此状态下施加电源，并从条状部件的芯片搭载部位或导线框架的表面产生氢气，从而使形成于条状部件的表面的毛边剥离。然而，要将现有的电解去毛边步骤方式实际应用于各种形状的条状部件时，由于无法一次性进行毛边的剥离，频繁地产生不良品，致使要达到去毛边的要求质量必须进行好几次去毛边作业，从而不仅导致生产效率低下，也会导致制造成本上升的问题。
发明内容
本发明为了消除现有技术的问题而开发出来，为了在条状部件的情况下更有效地除去毛边，在进行电解去毛边步骤时，以喷射流的形式将化学溶液不漏掉任何一处地施加至处在浸溃于化学溶液的状态下的条状部件的表面全体部位，则化学溶液容易浸透至条状部件的实际表面与毛边之间，因此在实际进行电解去毛边步骤的情况下，可更简单地使毛边从条状部件的表面剥离的现象轻易发生，本发明基于以上原理进行发明的研究开发。本发明的目的在于:通过增加化学溶液的喷射流加压浸透步骤而更有效地进行电解去毛边步骤，该化学溶液的喷射加压浸透步骤作为用于剥离毛边(包含附着在条状部件的密封部或导线部上的气泡或异物)的前处理至中间处理作业，并且将化学溶液以喷射流的形式对处在浸溃于化学溶液的状态下的条状部件的表面进行加压。本发明的另一目的在于:可仅进行一次电解去毛边步骤便能使毛边的剥离到达要求的质量，不仅改善生产效率，也节省制造成本，从而确保产品的竞争力。为了达成这样的各个目的，本发明提供了一种条状部件的去毛边方法，该方法在半导体的制造步骤中根据树脂成型而实行的密封步骤之后，用于剥离除去在电镀步骤前后所残留的毛边的条状部件的去毛边方法，其中，在进行电解去毛边步骤时，增加化学溶液的喷射流加压浸透步骤，该电解去毛边步骤用于剥离残留于条状部件的密封部或导线部上的毛边，而化学溶液的喷射流加压浸透步骤是将化学溶液以喷射流的形式对处在浸溃于化学溶液状态下的条状部件的表面进行加压。又，本发明提供一种条状部件的去毛边装置，该装置在半导体的制造步骤中根据树脂成型而实行的密封步骤之后，用于剥离除去在电镀步骤前后所残留的毛边的条状部件的去毛边装置，其中，以条状部件为中心在两侧设置喷射流发生器本体，且在该喷射流发生器本体上连接设置用于在加压状态下急送化学溶液的化学溶液加压急送机构，并将该条状部件与该喷射流发生器本体，设置成处在化学溶液的浸溃状态下并位于化学溶液单元的内部。根据本发明，作为用于剥离毛边(包含附着在条状部件的密封部或导线部上的气泡或异物)的处理作业，通过增加 将化学溶液以喷射流的形式对条状部件的表面进行加压的化学溶液的喷射流 加压浸透步骤，可更有效地进行电解去毛边步骤，而且可仅进行一次电解去毛边步骤便使毛边的剥离到达要求的质量，从而不仅可以改善生产效率，还可以节省制造成本，达到确保产品竞争力等的效果。
图1表示本发明的去毛边方法的步骤图。图2表示本发明的去毛边方法的另一实施方式的步骤图。图3表示本发明的去毛边方法的又一实施方式的步骤图。图4表不本发明的去毛边方法的一实施方式的概略正面图。图5表示本发明的去毛边方法的另一实施方式的正面图。图6表示本发明的去毛边装置的优选的一实施方式的平面图。图7是图6的正面图。图8是图6的部分省略放大侧面图。图9表示本发明的去毛边装置的优选的另一实施方式的平面图。图10表示本发明的去毛边装置的优选的另一实施方式的平面图。图11是图10的正面图。图12表示本发明的去毛边装置的优选的另一实施方式的平面图。图13是图12的正面图。图14表示本发明的去毛边装置的优选的另一实施方式的平面图。图15是图14的正面图。附图标记说明I 条状部件2 喷射流发生器本体3 化学溶液加压急送机构
4化学溶液单元5急送带20化学溶液供给空间22喷射孔30急送管32加压急送泵40电解去毛边单元42电解去毛边前处理单元50把持用指
具体实施例方式以下，参照说明书附图，更具体且详细地说明本发明。如图所示，首先，本发明的去毛边装置的优选实施方式均在条状部件I的去毛边装置(此装置是用于在半导体的制造步骤中根据树脂成型而实行的密封步骤之后，剥离除去在电镀步骤前后所残留的毛边)中，以条状部件I为中心在两侧设置喷射流发生器本体2，并且在该喷射流发生器本体2上连接设置用于在加压状态下急送化学溶液的化学溶液加压急送机构3，并将该条状部件I与该喷射流发生器本体2设置成处在化学溶液的浸溃状态下，并位于化学溶液单元(ce 11) 4的内部。此时，该喷射流发生器本体2，是以条状部件I为中心，位于该条状部件I两侧的方式，而且被固定设置于化学溶液单元4的内壁，而在喷射流发生器本体2的内部设置有长的化学溶液供给空间20，且多个喷射孔22与该化学溶液供给空间20相互连通，从而形成在与条状部件I相对的位置上，该化学溶液供给空间20是由与后述的化学溶液加压急送机构3的急送管30相互连接设置的构成所组成。此时，该喷射孔22以设置位置的高低不同的方式被构成在各种高度上，以使化学溶液不漏掉任何一处地喷射至受到急送的条状部件I的表面的全体部位，且该喷射孔22被构成用于进行化学溶液的喷射流加压浸透步骤，该喷射流加压浸透步骤使多个喷射流同时射中条状部件I的表面，从而该条状部件I处于在化学溶液单元4的内部并浸溃于化学溶液中的状态。又，该化学溶液加压急送机构3，是由急送管30与加压急送泵32相互连接设置的构成所组成，该急送管30与所述喷射流发生器本体2的化学溶液供给空间20相互连接，从而该加压急送泵32与该急送管30相互连接设置，以加压急送化学溶液。此外，化学溶液单元4，被构成为在内部充填有化学溶液，而且可保持所述条状部件I与喷射流发生器本体2浸溃于化学溶液中的状态，但该化学溶液单元4与进行电解去毛边步骤的电解去毛边单元40以及另外设置于该电解去毛边单元40的前阶段的位置的电解去毛边前处理单元42可不同。此时，该条状部件1，被设置成每隔一定间隔距离便由环状急送带5把持的状态，且该环状急送带5具备把持用的指50，在该条状部件I浸溃于这些化学溶液单元4的内部的化学溶液的状态下， 由急送带5急送之间，进行电解去毛边前处理步骤或电解去毛边步骤。
又，对于所述喷射流发生器本体2，虽然表示用于进行电解去毛边步骤的条状部件I为中心而设置于两侧的例子，但如图9所示，也能够以用于进行电解去毛边步骤的条状部件I为中心，仅设置于一侧，这方法可活用于条状部件I的规格必须以其中一侧的表面为中心进行去毛边步骤的情况。接着，以进行电解去毛边步骤的电解去毛边单元40为中心来看喷射流发生器本体2，如图6至图9所示，从条状部件I的急送方向判断的情况下，可作成在进行化学溶液的喷射流加压浸透步骤之后在电解去毛边单元40中进行电解去毛边步骤的构成，其中该化学溶液的喷射流加压浸透步骤是在电解去毛边单元40的前方位置上设置另外的电解去毛边前处理单元42，并在该电解去毛边前处理单元42的内部设置喷射流发生器本体2，以根据喷射流发生器本体2对条状部件I的表面进行化学溶液的喷射流加压浸透步骤。又，可如图10及图11所示，在电解去毛边单元40的中间部位设置喷射流发生器本体2，以在电解去毛边步骤的过程中进行化学溶液的喷射流加压浸透步骤，或者可如图12及图13所示，在电解去毛边单元40的前方位置上的另外的电解去毛边前处理单元42中设置喷射流发生器本体2，又，在电解去毛边单元40中也设置喷射流发生器本体2，以在电解去毛边步骤的前阶段及电解去毛边步骤的过程中均进行化学溶液的喷射加压浸透步骤。进而，可如图14及图15所示，在电解去毛边单元40的前方位置上的另外的电解去毛边前处理单元42中，设置喷射流发生器本体2，又，在电解去毛边单元40中也设置有多个阶段的喷射流发生器本体2，通过在电解去毛边步骤的前阶段及电解去毛边步骤的过程中进行多次化学溶液的喷射加压浸透步骤。即，可对应去毛边步骤所要求的条状部件I的不同形状、规格而调节喷射流发生器本体2的设置位置或设置数量。未说明的组件符号6是表示位于电解去毛边单元40与电解去毛边前处理单元42之间的阻尼器(damper )。接着，如上所述，基于本发明的去毛边方法观察以各种形式进行的本发明的去毛边装置的运作过程。即，针对在半导体的制造步骤中根据树脂成型而实行的密封步骤之后，用于剥离除去在电镀步骤前后所残留的毛边的条状部件I的去毛边方法，其中，对于通过在电解去毛边步骤，增加化学溶液的喷射流加压浸透步骤进行，该电解去毛边步骤用于剥离残留于条状部件I的密封部或导线部上的毛边，从而化学溶液的喷射流加压浸透步骤将化学溶液以喷射流的形式对处在浸溃于化学溶液的状态下的条状部件I的表面进行加压。此时，化学溶液的喷射流加压浸透步骤会伴随电解去毛边步骤，但根据化学溶液的喷射流加压浸透步骤的时期不同分为仅在进行电解去毛边步骤前进行的情况、仅在电解去毛边步骤的过程中进行的情况、以及在进行电解去毛边步骤前与电解去毛边步骤的过程中依序进行的情况，以下分别描述上述的各种情况。仅在进行电解去毛边步骤前进行的情况如图6至图9所示，化学溶液单元4中，在电解去毛边前处理单元42的内部设置喷射流发生器本体2，且在通过急送带5所急送的条状部件I浸溃于化学溶液中的状态下，通过化学溶液的加压急送机构3的加压急送泵32并经由急送管30加压急送化学溶液，则化学溶液会在加压状态下被急送至喷射流发生器本体2的化学溶液供给空间20，并通过多个喷射孔22而喷射出。而且，电解去毛边前处理单元42的内部已经充填有化学溶液，条状部件I在浸溃于化学溶液的状态下让化学溶液通过多个喷射孔22对条状部件I进行喷射，因此，可在内部进行喷射流形状的变化，进行化学溶液的喷射流加压浸透步骤，该化学溶液的喷射流加压浸透步骤让这些喷射流同时对条状部件I的表面两侧或仅对其中一侧进行不漏掉任何一处的加压浸透，因此，在接着要在电解去毛边单元40中进行电解去毛边步骤的情况下，使电解去毛边的效果上升，从而更有效地进行毛边的剥离。仅在电解去毛边步骤的过程中进行的情况在此情况下，如图10及图11所示，化学溶液单元4中，在电解去毛边单元40的内部设置喷射流发生器本体2，并且在通过急送带5所急送的条状部件I浸溃于化学溶液中的状态下，通过化学溶液的加压急送机构3的加压急送泵32并经由急送管30加压急送化学溶液，则化学溶液会在加压状态下被急送至喷射流发生器本体2的化学溶液供给空间20，并通过多个喷射孔22而喷射出。而且，电解去毛边单元40的内部已经充填有化学溶液，条状部件I在浸溃于化学溶液的状态下让化学溶液通过多个喷射孔22对条状部件I进行喷射，因此可在内部进行喷射流形状的变化，进行化学溶液的喷射流加压浸透步骤，该化学溶液的喷射流加压浸透步骤让这些喷射流对条状部件I的表面进行不漏掉任何一处的加压浸透，因此，在进行过化学 溶液的喷射流加压浸透步骤之后在电解去毛边单元40中进行电解去毛边步骤的情况下，会使电解去毛边的效果上升，从而更有效地进行毛边的剥离。在进行电解去毛边步骤前与步骤过程中依序进行的情况在此情况下，如图12至图15所示，化学溶液单元4中，在电解去毛边前处理单元42的内部与电解去毛边单元40中分别设置喷射流发生器本体2，并且通过急送带5所急送的条状部件I浸溃于化学溶液中的状态下，通过化学溶液的加压急送机构3的加压急送泵32并经由急送管30加压急送化学溶液，则化学溶液会在加压状态下被急送至喷射流发生器本体2的化学溶液供给空间20并通过多个喷射孔22而喷射出。而且，电解去毛边前处理单元42及电解去毛边单元40的内部已经充填有化学溶液，条状部件I在浸溃于化学溶液的状态下让化学溶液通过多个喷射孔22对条状部件I进行喷射，因此可在内部进行喷射流形状的变化，进行化学溶液的喷射流加压浸透步骤，该化学溶液的喷射流加压浸透步骤是让这些喷射流同时对条状部件I的表面两侧或仅对其中一侧进行不漏掉任何一处的加压浸透，因此，在接着要在电解去毛边单元40中进行电解去毛边步骤的情况下，使电解去毛边的效果上升，从而更有效地进行毛边的剥离。特别是，在电解去毛边单元40的内部设置多个阶段的喷射流发生器本体2的情况下，由于在过程中会进行多次化学溶液的喷射流加压浸透步骤，即使在不易除去毛边的形式的条状部件I的情况下也可更有效地进行去毛边步骤。因此，根据本发明，作为用于剥离毛边(包含附着在条状部件I的密封部或导线部上的气泡或异物)的处理作业，通过增加将化学溶液以喷射流的形式对条状部件I的表面进行加压的化学溶液的喷射流加压浸透步骤，可更有效地进行电解去毛边步骤。又，可仅进行一次电解去毛边步骤便使毛边的剥离充分达成要求的质量，不仅可改善生产效率，还可得到节省制造成本，从而确保产品竞争力等的优良效果。
权利要求
1.一种条状部件的去毛边方法，该方法在半导体的制造步骤中根据树脂成型而实行的密封步骤之后，用于剥离除去在电镀步骤前后所残留的毛边，其特征在于: 在进行电解去毛边步骤时，增加化学溶液的喷射流加压浸透步骤，该电解去毛边步骤是用于剥离残留于条状部件的密封部或导线部上的毛边，而化学溶液的喷射流加压浸透步骤是将化学溶液以喷射流的形式对处在浸溃于化学溶液状态下的条状部件的表面进行加压。
2.如权利要求1所述的条状部件的去毛边方法，其中: 所述化学溶液的喷射流加压浸透步骤，在进行电解去毛边步骤前进行。
3.如权利要求1所述的条状部件的去毛边方法，其中: 所述化学溶液的喷射流加压浸透步骤，在电解去毛边步骤的过程中进行。
4.如权利要求1所述的条状部件的去毛边方法，其中: 所述化学溶液的喷射流加压浸透步骤，依序在电解去毛边步骤前与电解去毛边步骤的过程中进行。
5.一种条状部件的去毛边装置，该装置在半导体的制造步骤中根据树脂成型而实行的密封步骤之后，用于剥离除去在电镀步骤前后所残留的毛边，其特征在于: 以条状部件为中心在两侧设置有喷射流发生器本体； 在所述喷射流发生器本体上，连接设置有用于在加压状态下急送化学溶液的化学溶液加压急送机构； 并且，所述条状部件与所述喷射流发生器本体，被设置成处在化学溶液的浸溃状态下并位于化学溶液单元的内部。
6.如权利要求5所述的条状部件的去毛边装置，其中: 所述喷射流发生器本体，是以条状部件为中心且位于两侧的方式，从而被固定设置在化学溶液单元的内壁； 在喷射流发生器本体的内部，设置有长的化学溶液供给空间，且多个喷射孔与该化学溶液供给空间相互连通，从而形成在与条状部件相对的位置上； 并且，所述化学溶液供给空间，是与化学溶液加压急送机构的急送管相互连接设置的构成。
7.如权利要求6所述的条状部件的去毛边装置，其中: 所述喷射孔被构成为设置位置的高低不同。
8.如权利要求5所述的条状部件的去毛边装置，其中: 所述化学溶液加压急送机构，是急送管与加压急送泵相互连接设置的构成，所述急送管与喷射流发生器本体的化学溶液供给空间相互连接，且所述加压急送泵与所述急送管相互连接设置，用于加压急送化学溶液。
9.如权利要求5所述的条状部件的去毛边装置，其中: 所述化学溶液单元，其内部充填有化学溶液，且保持条状部件与喷射流发生器本体浸溃在化学溶液中的状态； 并且，该化学溶液单元与进行电解去毛边步骤的电解去毛边单元以及另外设置在所述电解去毛边单元的前阶段的位置的电解去毛边前处理单元不同。
10.如权利要求5所述的条状部件的去毛边装置，其中:所述喷射流发生器本体，以用于进行电解去毛边步骤的条状部件为中心，仅设置在一 侧。
11.如权利要求9所述的条状部件的去毛边装置，其中，该装置是由下述构成所组成:在所述电解去毛边单元的前方位置，设置有另外的电解去毛边前处理单元；并且，在所述电解去毛边前处理单元的内部，设置有喷射流发生器本体。
12.如权利要求9所述的条状部件的去毛边装置，其中，该装置是由下述构成所组成:在所述电解去毛边单元的中间部位上，设置有喷射流发生器本体。
13.如权利要求9所述的条状部件的去毛边装置，其中，该装置是由下述构成所组成:在所述电解去毛边前处理单元中，设置有喷射流发生器本体；并且在电解去毛边单元中，还设置有喷射流发生器本体。
14.如权利要求13所述的条状部件的去毛边装置，其中，该装置是由下述构成所组成:在所述电解去毛边单元中，也设置有多个阶段的喷射流发生器本体。
全文摘要
本发明关于一种条状部件的去毛边方法及装置，且特别是关于一种具有下述特征的条状零件的去毛边方法及装置，该方法针对电镀处理过程的前后所进行的电解去毛边步骤，在电解去毛边步骤前或在电解去毛边步骤中，增加将化学溶液以喷射流的形式对条状零件的表面进行加压的步骤，来改善电解去毛边步骤的效率。
文档编号H01L21/50GK103219252SQ20121016229
公开日2013年7月24日 申请日期2012年5月23日 优先权日2012年1月20日
发明者郑载松, 全保圭 申请人:亚斯杰特股份有限公司