专利名称：阵列基板制作方法
技术领域：
本发明涉及液晶显示设备的短路检测技术领域，特别是涉及一种阵列基板制作方法。
背景技术：
GOA (Gate Driver on Array,阵列基板行驱动)技术是液晶显示领域的新兴技术，是直接将栅极驱动电路制作在阵列基板上，来代替由外接硅片制作的驱动芯片的一种工艺技术。该技术的应用可减少生产工艺程序，降低产品工艺成本，提高TFT-LCD面板的集成度。
目前20英寸GOA产品的栅极图案设计是栅线和公共电极线在像素区的两侧都是悬空设计，根据现有的断路/短路测试机设备检测原理，这在出现GCS (栅线与公共电极线短路)不良时对于断路/短路测试机的传感器接收的信号影响不大，不足以判定为短路不良(如图I、图2所示)，因此不利于进行短路不良检测，但是未检测出的GCS不良会直接造成液晶面板点灯异常，使面板等级为NG,对良率影响大。其中，图I、图2中不出了相邻两个像素单元的栅线I和公共电极线2，其中6为短路线，表明栅线I与公共电极线2发生短路。
发明内容
(一)要解决的技术问题本发明要解决的技术问题是如何提高阵列基板制作过程中对栅线和公共电极线短路的检出能力。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本发明提供一种阵列基板制作方法，包括以下步骤SI、在栅极层的制备过程中，在栅极层像素区一侧设置一条检测线，用所述检测线将所有像素单元的公共电极线连接在一起，形成栅极图案；S2、进行短路或断路检测，若栅线接收端收到的信号比栅线发送端发出的信号低预设的检测阈值，则判断栅线与公共电极线短路或者栅线断路。优选地，在步骤S2之后，还执行以下步骤S3、在钝化层的制备过程中，将所述检测线周围的钝化层材料刻蚀掉，露出栅极层；S4、在公共电极层的制备过程中，将所露出的栅极层刻蚀掉，使所有像素单元的公共电极线分开。优选地，步骤S2由断路/短路测试机执行。优选地，步骤S2中在判断栅线与公共电极线短路或者栅线断路之后，还通过所述断路/短路测试机的位置检测传感器沿着栅线查找短路或断路的位置。(三)有益效果上述技术方案具有如下优点通过在现有栅极图案上将公共电极线在像素区一侧用检测线连接在一起，便于断路/短路测试机在对阵列基板检测时检测出短路或断路不良，从而提高阵列基板制作过程中对栅线和公共电极线短路或栅线断路的检出能力，可以避免由未检测出GCS不良而造成液晶面板点灯异常的情况发生；这条检测线仅用于短路或断路测试，在后工艺中被刻蚀掉，因此不会影响成型的阵列基板的正常信号传输。
图I是现有20英寸的GOA广品的棚极图案的不意图；图2是现有20英寸的GOA产品的栅极图案的电路图；图3是本发明实施例的方法流程图；图4是本发明实施例的方法中所使用的栅极图案的示意图；图5是本发明实施例的方法中所使用的栅极图案的电路图； 图6是执行实施例的方法中步骤SI之后图5中A-A’向剖面图；图7是执行实施例的方法中步骤S2、S3之后图5中A-A’向剖面图；图8是执行实施例的方法中步骤S4之后图5中A-A ’向剖面图。其中，I :栅线；2 :公共电极线；3 :检测线；4 :信号发送端；5 :信号接收端；6 :短路线；7 =PVX ；8 :栅极层；9 IT0 ；10 =SiNx0
具体实施例方式下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式
作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。实施例一如图3所示，本发明提供一种阵列基板制作方法，包括以下步骤SI、在栅极层8的制备过程中，在栅极层像素区一侧设置一条检测线3，用所述检测线3将所有像素单元的公共电极线2连接在一起，形成栅极图案，如图4、图5所示；图4、图5中示出了相邻两个像素单元的栅线I和公共电极线2，其中6为短路线，表明栅线I与公共电极线2发生短路。执行完步骤SI之后的图5中A-A’向剖面图如图6所示。S2、断路/短路测试机进行短路或断路检测，如果出现栅线与公共电极线短路，栅线I接收端接收到的栅极信号很大一部分会从公共电极线2流出；如果出现栅线断路，栅线I发射端发射的信号到不了接收端，因此，如果检测到栅线I的信号接收端5收到的信号远低于信号发送端4发出的信号，差值超过预设的检测阈值，则判断栅线I上某处有不良(栅线与公共电极线短路或者栅线断路)，通过断路/短路测试机的位置检测传感器沿着栅线I查找不良位置并上传到服务器供后面的维修工位进行判定(判定出短路或断路的不良类别)和维修。检测出的该不良结果可以避免该不良现象对后续阵列基板乃至于液晶面板造成品质影响，而由于提高了测试机对GCS不良的检出能力，减少了不良检测的遗漏，可以通过栅极层的维修挽救不良品，避免产品因GCS不良而造成报废和浪费。S3、在钝化层(其材料可以为PVX 7)的制备过程中，将所述检测线3周围的钝化层材料刻蚀掉，露出栅极层8，如图7所示；S4、在公共电极层(其材料可以为ITO 9)的制备过程中，将所露出的栅极层8刻蚀掉，使所有像素单元的公共电极线2分开，如图8所示。
由以上实施例可以看出，本发明通过在现有栅极图案上将公共电极线在像素区一侧用检测线连接在一起，便于断路/短路测试机在对阵列基板检测时检测出短路或断路不良，从而提高阵列基板制作过程中对栅线和公共电极线短路或栅线断路的检出能力，可以避免由未检测出GCS不良而造成液晶面板点灯异常的情况发生；这条检测线仅用于短路或断路测试，在后工艺中被刻蚀掉，因此不会影响成型的阵列基板的正常信号传输。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换 也应视为本发明的保护范围。
权利要求
1.一种阵列基板制作方法，其特征在于，包括以下步骤 51、在栅极层的制备过程中，在栅极层像素区一侧设置一条检测线，用所述检测线将所有像素单元的公共电极线连接在一起，形成栅极图案； 52、进行短路或断路检测，若栅线接收端收到的信号比栅线发送端发出的信号低预设的检测阈值，则判断栅线与公共电极线短路或者栅线断路。
2.如权利要求I所述的方法，其特征在于，在步骤S2之后，还执行以下步骤 53、在钝化层的制备过程中，将所述检测线周围的钝化层材料刻蚀掉，露出栅极层； 54、在公共电极层的制备过程中，将所露出的栅极层刻蚀掉，使所有像素单元的公共电极线分开。
3.如权利要求I或2所述的方法，其特征在于，步骤S2由断路/短路测试机执行。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，步骤S2中在判断栅线与公共电极线短路或者栅线断路之后，还通过所述断路/短路测试机的位置检测传感器沿着栅线查找短路或断路的位置。
全文摘要
本发明涉及液晶显示设备的短路检测技术领域，公开了一种阵列基板制作方法。本发明通过在现有栅极图案上将公共电极线在像素区一侧用检测线连接在一起，便于断路/短路测试机在对阵列基板检测时检测出短路或断路不良，从而提高阵列基板制作过程中对栅线和公共电极线短路或栅线断路的检出能力，可以避免由未检测出GCS不良而造成液晶面板点灯异常的情况发生；这条检测线仅用于短路或断路测试，在后工艺中被刻蚀掉，因此不会影响成型的阵列基板的正常信号传输。
文档编号H01L21/77GK102723311SQ201210227079
公开日2012年10月10日 申请日期2012年6月29日 优先权日2012年6月29日
发明者张小松, 杨潇宇, 杨玖娟 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 合肥京东方光电科技有限公司