专利名称：一种用于扩散的源瓶的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于扩散的源瓶。
背景技术：
常规的化石燃料日益消耗殆尽，在所有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。目前，在所有的太阳能电池中，晶体硅太阳能电池是得到大范围商业推广的太阳能电池之一，这是由于硅材料在地壳中有着极为丰富的储量，同时晶体硅太阳能电池相比其他类型的太阳能电池，有着优异的电学性能和机械性能，晶体硅太阳能电池在光伏领域占据着重要的地位。因此，研发高性价比的晶体硅太阳能电池已经成为各国光伏企业的主要研究方向。目前，晶体硅太阳能电池制作过程一般为表面清洗及织构化、扩散、等离子体去 边、清洗去磷硅玻璃、镀膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触、测试。其中，扩散工序是整个制造过程的核心工序，其目的是为了在晶体硅表面形成PN结。现有技术中，用于扩散的源瓶主要包括瓶体、进气管和出气管，参见附图I所示。所述瓶体I整体呈圆柱形，底部是平整的，进气管4 一直延伸到离瓶底2mm左右。当外界氮气从进气管吹入到源瓶里，携带出源瓶里的扩散源，形成源蒸汽，再从出气管5出来进入扩散炉中。然而，上述源瓶存在如下问题(I)在生产过程中，源瓶里的扩散源会不断地消耗减少，当减少到一定程度时，氮气携带出的扩散源会变小，这时需要更换扩散源，一般情况下，当源瓶里的扩散源离瓶底2cm时就需要更换了，显然，这样在源瓶里会有很多扩散源都没有被利用，浪费了扩散源，提高了成本；同时，这些废弃的扩散源需要处理，由于扩散源有剧毒，增加了危险性；(2)现有的源瓶一般都是单层结构，一旦瓶体出现破裂，扩散源就会流出，造成危险。
发明内容本实用新型目的是提供一种用于扩散的源瓶。为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是一种用于扩散的源瓶，包括瓶体、进气管和出气管，所述瓶体为双层结构，其内层瓶体的纵剖面的底部呈倒锥形；所述进气管设于所述内层瓶体内，且延伸到内层瓶体底部。上文中，所述瓶体为双层结构，即瓶体整体设计成两层，即内层瓶体和外层瓶体，一旦内层瓶体破裂，外层瓶体起到保护作用，扩散源不会直接流出，提高了安全度。所述扩散源可以是扩散磷源或扩散硼源。上述技术方案中，进入内层瓶体的进气管分支成至少2个分支进气管。优选的，所述分支进气管为2个，各分支进气管沿着内层瓶体的瓶壁延伸到瓶底。即将进气管设计成一个主进气管进入到源瓶里，在源瓶里分支出2个分支进气管，这2个分支进气管竖直向下后，再沿着源瓶底部管壁深入到圆锥体顶点地方汇集。当外界氮气进入进气管后，再通过进气管分支，可以鼓吹起扩散源蒸汽，当扩散源液体减少一定程度时，这些分支可以比起一个进气管要携带更多的扩散源蒸汽，通过出气管进入到扩散炉中，减少了扩散源的浪费，有利生产成本降低。由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是I、本实用新型将源瓶设计成双层结构，内层瓶体底部设计成圆锥体的形状，因而减少了源瓶的扩散源液体剩余量，提高了扩散源的利用率，同时减少了待处理的废弃扩散源，从而降低了生产成本，具有良好的经济效益。2、本实用新型的瓶体为双层结构，有利于减少危险性，同时外层瓶体的底部可以是常规的平面型，有利于存放。3、本实用新型的源瓶充分利用源瓶里的扩散源，氮气进入进气管通过分支能充分 接触扩散源，提高利用效率，降低了使用成本。4、本实用新型的结构合理，成本较低，且具有良好使用性，适于推广应用。
附图I为背景技术中源瓶的结构示意图；附图2为本实用新型实施例一的结构示意图。其中1、瓶体；2、内层瓶体；3、外层瓶体；4、进气管；5、出气管。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述实施例一参见图2所示，一种用于扩散的源瓶，包括瓶体1，进气管4和出气管5 ;瓶体整体设计成两层，即内层瓶体2和外层瓶体3，一旦内层瓶体2破裂，外层瓶体3起到保护作用；同时内层瓶体2底部设计成圆锥体的形状，减少了源瓶的扩散源液体剩余量，外层瓶体3的底部是平面型，有利于存放；进气管4设计成一个主进气管进入到源瓶里，在源瓶里分支出2个分支进气管，这两个分支进气管竖直向下后，再沿着源瓶底部管壁深入到圆锥体顶点地方汇集。当外界氮气进入进气管4后，再通过进气管分支，可以鼓吹起扩散源蒸汽，当扩散源液体减少一定程度时，这两个分支可以比起一个进气管要携带更多的扩散源蒸汽，通过出气管5进入到扩散炉中，减少了扩散源的浪费，有利生产成本降低。
权利要求1.一种用于扩散的源瓶，包括瓶体(I)、进气管(4)和出气管(5)，其特征在于所述瓶体为双层结构，其内层瓶体(2)的纵剖面的底部呈倒锥形；所述进气管设于所述内层瓶体内，且延伸到内层瓶体底部。
2.根据权利要求I所述的用于扩散的源瓶，其特征在于进入内层瓶体的进气管分支成至少2个分支进气管。
3.根据权利要求2所述的用于扩散的源瓶，其特征在于所述分支进气管为2个，各分支进气管沿着内层瓶体的瓶壁延伸到瓶底。
专利摘要本实用新型公开了一种用于扩散的源瓶，包括瓶体、进气管和出气管，所述瓶体为双层结构，其内层瓶体的纵剖面的底部呈倒锥形；所述进气管设于所述内层瓶体内，且延伸到内层瓶体底部。本实用新型将源瓶设计成双层结构，内层瓶体底部设计成圆锥体的形状，因而减少了源瓶的扩散源液体剩余量，提高了扩散源的利用率，同时减少了待处理的废弃扩散源，从而降低了生产成本，具有良好的经济效益。
文档编号H01L21/228GK202473853SQ20122003309
公开日2012年10月3日 申请日期2012年2月2日 优先权日2012年2月2日
发明者党继东, 向宏伟, 周剑, 孟祥熙, 张春华, 李栋, 章灵军, 费正洪, 辛国军, 高文丽 申请人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司, 阿特斯(中国)投资有限公司