专利名称：半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种激光器，特别是一种复合激光介质光学谐振腔腔内锁模的低重复频率全固态皮秒946nm波长激光器以及超短脉冲激光变频技术。
背景技术：
半导体激光器(Diode laser，简称LD)泵浦的全固态皮秒激光器可以取代当今使用范围较为广泛的液体染料皮秒激光器，解决了以染料作为可饱和吸收体锁模时重复性差的缺陷，也从根本上解决了有毒染料对于环境的污染，是集环保、低能耗为一体化的高科技
激光产品。 当前，全固态皮秒激光器在工业、医疗、材料加工、科学研究、非线性频率变换等领域具有广泛的用途，尤其是具有高峰值功率、低重复频率的皮秒蓝光激光器在生物医疗、超大规模集成电路元件封装、芯片光刻、高密度光盘存储、超快过程研究以及军事等领域有着重要的应用。因此，低重复频率全固态皮秒蓝光激光器在使用上有着良好的市场前景。另外，基于半导体激光器泵浦技术发展起来的全固体激光器具有体积小、效率高、结构紧凑、性能稳定、工作安全等优点，成为了当今激光技术发展的主流，发展半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器具有重要的应用价值。
发明内容本实用新型的目的在于，提供一种半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器，该激光器采用了复合激光介质光学谐振腔腔内锁模技术以及超短脉冲激光频率变换技术，不仅保障了连续锁模激光器具有重复频率低、光束质量高等特点，而且保障了激光器整机具有结构紧凑、体积小、性能稳定的特点。为了实现上述任务，本实用新型采取如下的技术解决方案—种半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器，其特征在于，包括半导体激光器、单模光纤、光学聚焦耦合器、复合激光介质、第一平面反射镜M1、第二平面反射镜M2、第一凹面反射镜M3、第三平面反射镜M4、第四平面反射镜M5、第二凹面反射镜M6、半导体可饱和吸收反射镜、稱合输出镜、格兰泰勒棱镜、法拉第旋光器、45° λ /4旋光片、凸透镜以及I类非临界匹配LBO晶体；其中第一条光路为半导体激光器泵浦复合激光介质光路，半导体激光器出射的泵浦光耦合进入单模光纤，由单模光纤的尾端出射，经光学聚焦耦合器，穿过第一平面反射镜M1后，聚焦于复合激光介质的泵浦面；第二条光路为光学谐振腔内基模振荡光路，所述的光学谐振腔由第一平面反射镜M1、第二平面反射镜M2、第一凹面反射镜M3、第三平面反射镜M4、第四平面反射镜M5、第二凹面反射镜M6、半导体可饱和吸收反射镜以及耦合输出镜构成；该光学谐振腔为多镜折叠腔，基模谐振光束在反射镜处折叠，控制光学谐振腔的各折叠角都应小于5° ;当复合激光介质吸收泵浦光能量后产生受激辐射，辐射光在光学谐振腔内来回反射，形成驻波；辐射每当穿过复合激光介质时，其光强便会增强；随着光学谐振腔内基模功率的增加，达到半导体可饱和吸收反射镜的调制深度时，半导体可饱和吸收反射镜的吸收体被漂白，将光学谐振腔内振荡的基模模式锁定，使半导体激光器泵浦的低重复频率全固态激光器处于连续锁模状态；光学谐振腔内锁模皮秒脉冲激光束经I禹合输出镜出射；第三条光路为非线性晶体倍频光路，连续锁模皮秒脉冲激光经耦合输出镜输出，经过格兰泰勒棱镜、法拉第旋光器以及45° λ /4旋光片构成了光束单向传输器后，被凸透镜聚焦于I类非临界匹配LBO晶体上，由其非线性极化倍频效应，产生蓝光皮秒脉冲激光输出。本实用新型的半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器，是基于半导体激光器泵浦复合激光介质光学谐振腔腔内锁模技术以及非线性晶体光学谐振腔外倍频技术上研制出的全固态激光系统，使得低重复频率的皮秒激光器无需受机械制造工艺的限制便可获得稳定的连续锁模脉冲激光输出，而I类非临界匹配LBO晶体的使用极大地提 高了超短脉冲激光的倍频转换效率。全固态皮秒蓝光激光器不仅有重复频率低，蓝光转换效率高，光束质量好等特点，而且具有结构紧凑、性能稳定的特点。整机使用操作简便，在生物医疗、超大规模集成电路元件封装、芯片光刻、高密度光盘存储、超快过程研究以及军事等领域有着重要的应用。使用复合激光介质的优点在于第一，使用了单端扩散键合(YAG-Nd = YAG)或双端扩散键合(YAG-Nd = YAG-YAG)两种复合激光介质；第二，YAG与Nd = YAG扩散键合时进行了楔角的加工与处理；第三，复合激光介质的通光端面也进行了楔角的加工与处理；第四，复合激光介质的两个通光面镀有特制的膜系结构；第五，复合激光介质被放置于紫铜夹块之中。在激光器正常工作时，对复合激光介质进行了强制冷却措施。其作用在于减小复合激光介质热效应对于锁模皮秒激光器的影响，以及抑制光学谐振腔内出现法布里珀罗谐振腔给锁模带来的影响。所使用的光学谐振腔，优点在于第一，连续锁模皮秒激光由耦合输出镜沿单一方向输出；第二，光学谐振腔经过多次折叠，其总长约达到3m 5m，有效地降低了皮秒激光器的重复频率；第三，光学谐振腔的每个腔镜，其表面的镀膜都有着严格的要求，以保证腔内946nm波长激光振荡，同时有效地抑制了 1064nm波长和1342nm波长的起振；第四，光学谐振腔的各折叠角都需严格的控制，其折叠角应小于5°，减小由于光学谐振腔的折叠引起的像散。对于使用的半导体可饱和吸收反射镜，其优点在于第一，半导体可饱和吸收反射镜有着特殊的参数要求；第二，半导体可饱和吸收反射镜被焊接在紫铜冷却块上，在激光器正常工作时，对其强制了冷却措施。有效地消除了光学谐振连续锁模时高峰值功率脉冲激光对半导体可饱和吸收反射镜的损坏；第三，半导体可饱和吸收反射镜、紫铜冷却块以及其三位调整镜架被安放于一个一维精密平移台上，可严格控制入射至半导体可饱和吸收反射镜上基模光斑的大小。对于使用的格兰泰勒棱镜、法拉第旋光器以及45° λ/4旋光片，其三者配合使用，构成了光束单向传输器，有效地消除了非线性晶体倍频时其表面反射回溯激光对于光学谐振腔内锁模状态的影响。对于使用的I类非临界匹配LBO晶体，其优点在于第一，LBO晶体按照I类非临界匹配方式进行了切割，切割角度为Θ =90°，φ = 19.37°;第二，LBO晶体两个通光面镀有946nm波长和473nm波长的双色增透膜；第三，LBO晶体安放于套筒支架中，由热管炉加热，并由精密控温仪控制其温度。此倍频方式，不仅可以使得全固态皮秒蓝光激光器获得较高的倍频转换效率，较高的蓝光激光光束质量，而且具有操作方便、简单易行的特点。
图I是本实用新型的结构示意图。图2是光学聚焦耦合器安装结构图。图3是复合激光介质结构图。其中，图(a)表示梯形单端扩散键合YAG-NchYAG复 合激光介质，图(b)表示平行四边形单端扩散键合YAG-NchYAG复合激光介质，图(c)表示梯形双端扩散键合YAG-Nd = YAG-YAG复合激光介质，图(d)表示平行四边形双端扩散键合YAG-NdiYAG-YAG复合激光介质。图4是复合激光介质与其紫铜夹块结构示意图。图5是半导体可饱和吸收反射镜以及其紫铜冷却块结构示意图。图6是半导体可饱和吸收反射镜以及其紫铜冷却块安装结构图。
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
具体实施方式
众所周知，光学谐振腔的腔长是决定锁模脉冲激光重复频率的重要因素之一。连续锁模皮秒激光器输出的脉冲激光要有低的重复频率，其光学谐振腔的腔长要增加，也就增加了激光器的体积。另外，对于锁模激光器而言，要获得稳定的锁模输出，就必须保障光学谐振腔内的光束具有基模运转状态。随着激光器体积增加，环境温度变化以及机械扰动等因素对于光学谐振腔内基模运转的影响便较为灵敏，使得腔内谐振的模式发生改变，影响了锁模的不稳定。金属随环境温度的热胀冷缩，是机械制造中无法克服的事实，这无疑给皮秒激光器的制造提出了严格地要求。参见附图I 4，本实施例给出一种半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器，包括半导体激光器I、单模光纤2、光学聚焦耦合器3、复合激光介质5、第一平面反射镜M1 (4)、第二平面反射镜M2 (6)、第一凹面反射镜M3 (11)、第三平面反射镜M4 (7)、第四平面反射镜M5 (8)、第二凹面反射镜M6 (9)、半导体可饱和吸收反射镜10、耦合输出镜12、格兰泰勒棱镜13、法拉第旋光器14、45° λ/4旋光片15、凸透镜16以及I类非临界匹配LBO晶体17，其中第一条光路为半导体激光器I泵浦复合激光介质5光路，半导体激光器I出射的泵浦光耦合进入单模光纤2，经光学聚焦耦合器3，穿过第一平面反射镜M1 (4)后聚焦于复合激光介质5端面；第二条光路为光学谐振腔内基模振荡光路，光学谐振腔由第一平面反射镜M1 (4)、第二平面反射镜M2(6)、第一凹面反射镜M3(Il)、第三平面反射镜M4(7)、第四平面反射镜M5(S)、第二凹面反射镜M6(9)、半导体可饱和吸收反射镜10、耦合输出镜12构成；该光学谐振腔为多镜折叠腔，基模谐振光束在反射镜处折叠，为了减小由于折叠所产生的像散，应严格控制光学谐振腔的各折叠角都应小于5°。当复合激光介质5吸收泵浦光能量后产生受激辐射，辐射光在光学谐振腔内来回反射，形成驻波；辐射每当穿过复合激光介质5时，其光强便会增强；随着光学谐振腔内基模功率的增加，达到半导体可饱和吸收反射镜10的调制深度时，半导体可饱和吸收反射镜10的吸收体被漂白，将光学谐振腔内振荡的基模模式锁定，使半导体激光器泵浦的低重复频率全固态激光器处于连续锁模状态；光学谐振腔内锁模皮秒脉冲激光束经耦合输出镜12出射。第三条光路为非线性晶体倍频光路，连续锁模皮秒脉冲激光经耦合输出镜12输出，经过格兰泰勒棱镜13、法拉第旋光器14以及45° λ /4旋光片15构成了光束单向传输器后，被凸透镜16聚焦于I类非临界匹配LBO晶体17上，由其非线性极化倍频效应，产生蓝光皮秒脉冲激光输出。本实施例中，用于连接半导体激光器I的为单模光纤2，单模光纤2的芯径选择范 围为400 μ m 600 μ m,数值孔径为O. 22。本实施例中，光学聚焦耦合器3用于将单模光纤2出射的泵浦光束聚焦于复合激光介质5上。光学聚焦耦合器3为一个平凸透镜与一个胶合透镜组成的成像比2 3的光学系统，其聚焦焦距连续可调，可调范围为50mm 80mm之间。平凸透镜与胶合透镜的焦距选取范围为30mm 80mm,平凸透镜与胶合透镜之间的调整距离为5mm IOmm ;为提高光学聚焦耦合器3的传输效率，平凸透镜与胶合透镜的两通光面镀有808nm高透膜(透过率T
>99. 9% )。本实施例中，光学聚焦耦合器3安装于一个光学调整支架18上(图2)，并固定在一个一维精密平移台19上。通过平移台19移动旋钮的调节，调整光学聚焦耦合器3与复合激光介质5的距离，距离范围为50mm 80mm。这样做的目的在于使得光学聚焦耦合器3传输的泵浦光斑与复合激光介质5内基模振荡光斑之间有好的模式匹配。本实施例中，复合激光介质5为激光介质，进行了楔角的加工与处理(图3)。复合激光介质5采用单端扩散键合介质(YAG-Nd = YAG)或双端扩散键合(YAG-Nd: YAG-YAG)介质，泵浦光由YAG —侧进入复合激光介质5内；其中，YAG厚度为2mm至3mm，而Nd:YAG厚度为3mm至4mm ;其中的Nd = YAG部分钕离子的掺杂质量百分数为O. 3%至I. 0%之间，这样做的目的在于减小激光介质热效应对于锁模皮秒激光器的影响。复合激光介质5中YAG的入射泵浦面的楔角加工角度为α，另一端为与Nd = YAG扩散键合面的楔角加工角度为β，而Nd = YAG的一端与YAG相键合连接，另一端做楔角加工，楔角加工角度为α，其中α与β的角度范围为2° 5°之间，在复合激光介质5内α与β不能相等，复合激光介质5的整体切割外形为梯形或平行四边形。这样做的目的在于抑制锁模激光器光学谐振腔内出现法布里珀罗光学谐振腔给锁模带来的影响。复合激光介质5的两个通光面均镀有膜系结构为808nm波长、946nm波长、1064nm、1342nm的四色膜，其中，808nm波长高透膜(透过率T > 90% )、946nm波长高透膜(透过率T > 99. 8% ), 1064nm波长高透膜(透过率T > 80% )、1342nm波长高透膜(透过率T >80% )。在实施过程中，复合激光介质5被放置于紫铜夹块20之中(图4)。在放置之前，应在复合激光介质5周边均匀涂抹导热硅脂，用铟膜包裹，再放置于水冷却紫铜夹块20之中。并用循环水冷机抽运方式，对紫铜夹块20进行冷却，水温设定于15°C左右。这样做的目的在于通过冷却紫铜夹块的方式，达到进一步减小复合激光介质5热效应的目的，保障皮秒激光器的正常工作。本实施例中，光学谐振腔中的第一平面反射镜MJ4)朝向光学聚焦耦合器(3)的一侧镀808nm波长高透膜(透过率T > 90 % )、1064nm波长高透膜(透过率T > 80 % )、1342nm波长高透膜(透过率T > 80% )，朝向复合激光介质5—侧镀808nm波长高透膜(透过率T > 90 % )、1064nm波长高透膜(透过率T > 80 % )、1342nm波长高透膜(透过率T
>80% )、946nm波长高反膜(反射率R >95 % );其中，第二平面反射镜M2 (6)、第三平面反射镜M4(7)、第四平面反射镜M5 (8)的反射面镀946nm波长的高反膜(反射率R >95%)、1064nm波长高透膜(透过率T > 80% )和1342nm波长高透膜(透过率T > 80% );其中的第一凹面反射镜M3 (I I)和第二凹面反射镜M6 (9)的反射面镀946nm波长的高反膜(反射率R > 95 % )、1064nm波长高透膜(透过率T > 80 % )和1342nm波长高透膜(透过率T
>80% );半导体可饱和吸收反射镜10可对波长范围为920nm 990nm波长的激光高反。在实施过程中，I禹合输出镜12为平面镜,该I禹合输出镜12的两面镀946nm波长5%输出、95%反射膜。I禹合输出镜12安装于光学调整镜架上,并放置在一个一维精密平移台上，用于控制光学谐振腔输出946nm波长皮秒脉冲激光束的光斑大小。第一凹面反射镜％(11)和第二凹面反射镜M6(9)，其曲率半径选取范围为IOOmm 500mm之间。半导体可饱和吸收反射镜10的参数为中心波长940nm，高反射带宽920 990nm,吸收率为2%，驰阈时间小于等于10皮秒，能量饱和密度70 μ J/cm2。本实施例中，半导体可饱和吸收反射镜10被焊接在紫铜冷却块21上(图5)。在焊接之前，应对半导体可饱和吸收反射镜10酸洗，清除表面杂质，然后用银焊的工艺技术，将半导体可饱和吸收反射镜10焊接紫铜冷却块21上。紫铜冷却块21固定于三维调整镜架18上，并用循环水冷机抽运方式，对紫铜夹块21进行冷却，水温设定于15°C左右。这样做的目的在于消除激光器光学谐振腔内锁模时，高峰值功率脉冲激光对半导体可饱和吸收反射镜10的损坏，保障皮秒激光器能够正常工作。本实施例中，半导体可饱和吸收反射镜10、紫铜冷却块21以及其三维调整镜架18被安放于一个一维精密平移台19上(图6)。通过一维精密平移台19调整半导体可饱和吸收反射镜10与凹面反射镜M6(9)之间的距离。这样做的目的在于可以严格控制入射到半导体可饱和吸收反射镜10上的基模光斑大小。不至于使得入射到半导体可饱和吸收反射镜10上的基模光斑过大，造成调制深度不够，而影响锁模的不稳定。也不至于使得入射到半导体可饱和吸收反射镜10上的基模光斑过小，入射激光功率密度过高，超出半导体可饱和吸收反射镜10破坏阈值，对半导体可饱和吸收反射镜10镜面造成的永久损坏。格兰泰勒棱镜13、法拉第旋光器14以及45° λ /4旋光片15,三者构成了一个光束单向传输器。此光束单向传输器的作用在于防止I类非临界匹配LBO晶体17表面反射的激光回溯到光学谐振腔内，引起锁模状态紊乱的现象。本实施例中，格兰泰勒棱镜13的通光孔径为8mm，镀有946nm波长高透膜(T >99.8%)、106411111波长高透膜(1'>80%)以及1342nm波长高透膜(T > 80% )。为了方便使用，本实施例设计了一个可以旋转的套筒，将给格兰泰勒棱镜13安放于套筒之中。并将套筒装配在二维光学调整支架上，使激光束垂直穿过格兰泰勒棱镜8。本实施例中，法拉第旋光器14中TGG晶体(铽镓石榴石)的直径为3_，外磁体直、径为38mm。法拉第旋光器10长为45mm。为了方便调节，将法拉第旋光器14安装于一个三维调整支架上。其目的在于使得激光束能够从TGG晶体中心穿过。为了提高TGG晶体透光率，其两个通光面镀946nm波长的高透膜(T > 99. 8% )。45° λ/4旋光片15为946nm波长的λ /4波晶片，两通光面镀有946nm波长的高透膜(T > 99. 8% )。实施过程中，将45° λ /4旋光片15安装于光学调整镜架上，目的在于使得激光束垂直穿过此45° λ /4旋光片15。凸透镜16的作用在于，将946nm波长的激光束聚焦于I类非临界匹配LBO晶体17之中，由于增加了入射I类非临界匹配LBO晶体17内单位体积内的功率密度，使得I类非临界匹配LBO晶体17倍频转换效率得以提高。凸透镜16镀有946nm波长高透膜(T >99.8% ),其聚焦焦距为30_ 50_。本实施例中，I类非临界匹配LBO晶体17选择LBO(三硼酸锂)晶体。为保障LBO晶体可以获得较高的倍频转换效率，LBO晶体按照I类非临界匹配方式进行了切割，切割角度为Θ =90°，φ= 19.37°。LBO晶体的两个通光面均镀有膜系结构，其膜系结构为946nm波长和473nm波长的双色增透膜。在实施过程，由于其I类非临界匹配方式的要求，需保障·其倍频时的工作环境温度。先将LBO晶体17安放于一个套筒支架中，再将LBO晶体17及其套筒支架一起放入热管炉中。用精密控温仪器控制热管炉温度，使其满足LBO晶体(17)的I类非临界匹配工作温度的要求。当LBO晶体(17)得温度达到其I类非临界匹配倍频温度时，可获得较高的倍频转换效率以及光束质量。
权利要求1.一种半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器，包括半导体激光器(I)、单模光纤(2)、光学聚焦稱合器(3)、复合激光介质(5)、第一平面反射镜M1 (4)、第二平面反射镜M2 (6)、第一凹面反射镜M3 (11)、第三平面反射镜M4 (7)、第四平面反射镜M5 (8)、第二凹面反射镜M6(9)、半导体可饱和吸收反射镜(10)、耦合输出镜(12)、格兰泰勒棱镜(13)、法拉第旋光器(14)、45° λ/4旋光片(15)、凸透镜(16)以及I类非临界匹配LBO晶体(17);其中 第一条光路为半导体激光器(I)泵浦复合激光介质(5)光路半导体激光器(I)出射的泵浦光耦合进入单模光纤(2)中，由单模光纤(2)的尾端出射，经光学聚焦耦合器(3)，穿过第一平面反射镜M1 (4)后聚焦于复合激光介质(5)的泵浦端面； 第二条光路为光学谐振腔内基模振荡光路所述的光学谐振腔由第一平面反射镜M1 (4)、第二平面反射镜M2 (6)、第一凹面反射镜M3(Il)、第三平面反射镜M4(7)、第四平面反射镜Μ5(8)、第二凹面反射镜仏(9)、半导体可饱和吸收反射镜(10)以及耦合输出镜(12)构成；该光学谐振腔为多镜折叠腔，基模谐振光束在反射镜处折叠，控制光学谐振腔的各折叠角都应小于5° ;当复合激光介质(5)吸收泵浦光能量后产生受激辐射，辐射光在光学谐振腔内来回反射，形成驻波；辐射每当穿过复合激光介质(5)时，其光强便会增强；随着光学谐振腔内基模功率的增加，达到半导体可饱和吸收反射镜(10)的调制深度时，半导体可饱和吸收反射镜(10)的吸收体被漂白，将光学谐振腔内振荡的基模模式锁定，使半导体激光器(I)泵浦的低重复频率全固态激光器处于连续锁模状态；光学谐振腔内锁模皮秒脉冲激光束经耦合输出镜(12)出射； 第三条光路为非线性晶体倍频光路锁模皮秒脉冲激光经耦合输出镜(12)输出，经过格兰泰勒棱镜(13)、法拉第旋光器(14)以及45° λ/4旋光片(15)构成了光束单向传输器后，被凸透镜(16)聚焦于I类非临界匹配LBO晶体(17)上，由其非线性极化效应，产生蓝光皮秒脉冲激光输出。
2.如权利要求I所述的半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器，其特征在于，所述的光学聚焦耦合器(3)为一个平凸透镜与一个胶合透镜组成的成像比2 3的光学系统，其聚焦焦距连续可调，可调范围为50mm 80mm之间；平凸透镜与胶合透镜的焦距选取范围为30mm 80臟，平凸透镜与胶合透镜之间的调整距离为5mm IOmm ;为提高光学聚焦耦合器(3)的传输效率，平凸透镜与胶合透镜的两个通光面镀有808nm高透膜，透过率T > 99. 9% ;光学聚焦耦合器(3)安装于一个光学调整支架(18)上，并固定在一个一维精密平移台(19)上；通过一维精密平移台(19)旋钮的调节，调整光学聚焦耦合器(3)与复合激光介质(5)之间的距离，距离调整范围为50mm 80mm。
3.如权利要求I所述的半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器，其特征在于，所述的复合激光介质(5)为单端扩散键合介质，即YAG-Nd:YAG介质；或双端扩散键合介质，即YAG-Nd = YAG-YAG介质；泵浦光由YAG —侧进入复合激光介质(5)内；其中，YAG厚度为2mm至3mm，而Nd:YAG厚度为3mm至4mm ;其中的Nd:YAG部分钕离子的掺杂质量百分数为O. 3%至1.0%之间，YAG的入射泵浦面的楔角加工角度为α，另一端为与Nd = YAG扩散键合面的楔角加工角度为β，而Nd = YAG的一端与YAG相键合连接，另一端做楔角加工，楔角加工角度为α，其中α与β的角度范围为2° 5。之间，在复合激光介质(5)内α与β不能相等，复合激光介质(5)的整体切割外形为梯形或平行四边形，其两个通光面均镀有膜系结构为808nm波长、946nm波长、1064nm、1342nm的四色膜，其中，808nm波长高透膜的透过率！1 > 90%、94611111波长高透膜的透过率1'> 99. 8%、1064nm波长高透膜的透过率T > 80%、134211111波长高透膜的透过率1'> 80% ;复合激光介质(5)被放置于紫铜夹块之中。
4.如权利要求I所述的半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器，其特征在于，所述光学谐振腔中的第一平面反射镜M1 (4)朝向光学聚焦耦合器(3)的一侧镀808nm波长高透膜、10·64nm波长高透膜、1342nm波长高透膜，朝向复合激光介质(5) —侧镀808nm波长高透膜、1064nm波长高透膜、1342nm波长高透膜、946nm波长高反膜；其中的第二平面反射镜M2 (6)、第三平面反射镜M4 (7)、第四平面反射镜M5 (8)的反射面镀946nm波长的高反膜、1064nm波长高透膜和1342nm波长高透膜；其中的第一凹面反射镜M3 (11)和第二凹面反射镜M6 (9)的反射面镀946nm波长的高反膜、1064nm波长高透膜和1342nm波长高透膜；半导体可饱和吸收反射镜(10)可对波长范围为920nm 990nm波长的激光高反射。
5.如权利要求I所述的半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器，其特·征在于，所述的光学谐振腔的I禹合输出镜(12)为平面镜,I禹合输出镜(12)的两通光面镀946nm波长5%输出、95%反射膜；该|禹合输出镜(12)安装于光学调整镜架上,并放置在一个一维精密平移台上，用于控制光学谐振腔输出946nm波长皮秒脉冲激光束的光斑大小。
6.如权利要求I所述的半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器，其特征在于，所述的半导体可饱和吸收反射镜(10)的参数为中心波长940nm，高反射带宽920nm 990nm，吸收率为2%，驰阈时间小于等于10ps，能量饱和密度70 μ J/cm2。
7.如权利要求I所述的半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器，其特征在于，所述的格兰泰勒棱镜(13)、法拉第旋光器(14)和45° λ/4旋光片(15)构成了一个光束单向传输器；其中 格兰泰勒棱镜(13)的通光孔径为8mm，镀有946nm波长高透膜、1064nm波长高透膜以及1342nm波长高透膜(透过率T > 80% );格兰泰勒棱镜(13)安放于一个可以旋转的套筒中，并将套筒装配在二维光学调整支架上，使激光束垂直穿过格兰泰勒棱镜(13)； 法拉第旋光器(14)中TGG晶体的直径为3mm,外磁场直径为38mm,法拉第旋光器(14)长为45mm ;将法拉第旋光器(14)安装于一个三维调整支架上，使得激光束能够从TGG晶体中心垂直穿过，TGG晶体两个通光面镀有946nm波长高透膜、1064nm波长高透膜、1342nm波长高透膜； 45° λ/4旋光片(15)为946nm波长的λ/4波晶片，两通光面镀有946nm波长的高透膜，45° λ/4旋光片(15)被安装于光学调整镜架上，使得激光束垂直穿过该45° λ/4旋光片。
8.如权利要求I所述的半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器，其特征在于，所述的I类非临界匹配LBO晶体(17)为LBO晶体，该LBO晶体按照I类非临界匹配方式进行切割，切割角度为Θ =90°，φ= 19.37°，其两个通光面镀有946nm波长和473nm波长的双色增透膜。
9.如权利要求I所述的半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器，其特征在于，所述的凸透镜(16)用于将946nm波长的激光束聚焦于I类非临界匹配LBO晶体(17)之中，凸透镜(16)镀有946nm波长增透膜，其聚焦焦距为30mm 50mm。
10.如权利要求I所述的半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器，其特征在于，所述的单模光纤(2)的芯径选择范围为400 μ m 600 μ m，数值孔径为O. 22。
专利摘要本实用新型公开了一种半导体激光器泵浦的低重复频率全固态皮秒蓝光激光器，包括半导体激光器、单模光纤、光学聚焦耦合器、复合激光介质、第一平面反射镜M1、第二平面反射镜M2、第一凹面反射镜M3、第三平面反射镜M4、第四平面反射镜M5、第二凹面反射镜M6、半导体可饱和吸收反射镜、耦合输出镜、格兰泰勒棱镜、法拉第旋光器、45°λ/4旋光片、凸透镜以及I类非临界匹配LBO晶体；该皮秒蓝光激光器具有结构紧凑、性能稳定、重复频率低、光束质量高等特点，在生物医疗、超大规模集成电路元件封装、芯片光刻、高密度光盘存储、超快过程研究以及军事等领域有着重要的应用。
文档编号H01S3/109GK202454890SQ20122005699
公开日2012年9月26日 申请日期2012年2月21日 优先权日2012年2月21日
发明者史彭, 李隆 申请人:西安建筑科技大学