专利名称：薄膜太阳能玻璃基板制绒设备的制绒部件的制作方法
技术领域：
薄膜太阳能玻璃基板制绒设备的制绒部件技术领域[0001]本发明涉及一种薄膜太阳能玻璃基板的制绒设备，特别涉及一种薄膜太阳能玻璃基板制绒设备中的制绒部件。
背景技术：
[0002]目前，可再生能源的利用成为了未来能源发展的新趋势。光电能源与其他可再生能源比较，具有较大的潜力，近年来得到迅速的发展。作为光电能源的基础部件的薄膜电池由于原料消耗少和衬底成本低，在光伏电池领域中所占比重在不断的地上升。玻璃基板制绒设备作为薄膜电池制造行业中的关键设备，完成在玻璃衬底上面制备ZnO薄膜的制绒过程，是提高电池光电转换效率的主要设备。现有的薄膜玻璃基板表面制绒设备是通过手工操作完成在小尺寸的玻璃基板上制绒，存在自动化程度低，刻蚀质量差，制绒薄厚不均匀和无法实现自动化生产的问题。发明内容[0003]本发明提供了一种薄膜太阳能玻璃基板制绒设备的制绒部件，解决了现有设备存在的自动化程度低，刻蚀质量差，制绒薄厚不均匀和无法实现自动化生产的问题。[0004]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:[0005]一种薄膜太阳能玻璃基板制绒设备的制绒部件，包括PLC和矩形底槽，在矩形底槽中套接有架高的刻蚀槽，刻蚀槽由前挡板、后档板、左制绒液高度调节板、右制绒液高度调节板和刻蚀槽底板组成封闭的刻蚀区域，在刻蚀槽的底部设置有骨架，在骨架上设置有匀水板，在匀水板上均布有孔洞，在刻蚀槽底板设置有刻蚀液底部入口，刻蚀液底部入口与刻蚀液下入液管的一端连通，刻蚀液下入液管的另一端与入液总管连通，在匀水板上方从左到右依次设置有传送薄膜玻璃基板的接入辊、辊轮组和送出辊，辊轮组通过驱动皮带与辊轮组驱动电机机械连接在一起，在辊轮组的上方设置有刻蚀液喷淋管，在刻蚀液喷淋管中设置有手动调节流量阀，刻蚀液喷淋管与刻蚀液上入液管的一端连通，刻蚀液上入液管的另一端与入液总管连通，在刻蚀液上入液管中设置有入液电磁调节阀，在矩形底槽的底部设置有动态排液管，在动态排液管上设置有排液电磁调节阀，辊轮组驱动电机、入液电磁调节阀和排液电磁调节阀均分别与PLC电连接。[0006]在辊轮组的上方设置的刻蚀液喷淋管包括设置有左手动调节流量阀的左喷淋管、设置有右手动调节流量阀的中喷淋管和设置有右手动调节流量阀的右喷淋管，左喷淋管通过刻蚀液左上入液管与入液总管连通，右喷淋管通过右上入液管与入液总管连通，中喷淋管通过中上入液管与入液总管连通，在左上入液管上设置有左入液电磁调节阀，在右上入液管上设置有右入液电磁调节阀，在中上入液管上设置有中入液电磁调节阀，左入液电磁调节阀、右入液电磁调节阀和中入液电磁调节阀均分别与PLC电连接。[0007]所述的刻蚀液喷淋管上套接有封闭的方柱罩，在方柱罩的底板上设置有一字形的喷液缝，刻蚀液通过该喷液缝以与左右水平方向成45度角的向下方向向刻蚀槽中的刻蚀区域喷射所述的刻蚀液。[0008]本发明为薄膜玻璃基板制绒的自动化生产提供了实现的最基本设备，可自动调节制绒的薄厚，提高了刻蚀质量和成品率。
[0009]图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
[0010]
以下结合附图详细叙述本实用新型的具体实施方式
:[0011]一种薄膜太阳能玻璃基板制绒设备的制绒部件，包括PLC和矩形底槽1，在矩形底槽I中套接有架高的刻蚀槽2，在刻蚀槽2的外底面与矩形底槽I的内底面之间形成刻蚀液排出区域，刻蚀槽2由前挡板3、后档板4、左制绒液高度调节板5、右制绒液高度调节板6和刻蚀槽底板组成封闭的刻蚀区域，在刻蚀槽2的底部设置有骨架11，在骨架11上设置有匀水板12，在匀水板12上均布有孔洞，在刻蚀槽底板设置有刻蚀液底部入口，刻蚀液底部入口与刻蚀液下入液管9的一端连通，刻蚀液下入液管9的另一端与入液总管10连通，使刻蚀液从下面通过匀水板12均匀进入到刻蚀区域中，在匀水板12上方从左到右依次设置有传送薄膜玻璃基板的接入辊7、辊轮组13和送出辊8，辊轮组13通过驱动皮带14与辊轮组驱动电机机械连接在一起，PLC中的控制程序通过控制辊轮组驱动电机实现对被刻蚀薄膜玻璃的自动通过刻蚀区域的传输及实现传输速度的控制和调节，在辊轮组13的上方设置有刻蚀液喷淋管，在刻蚀液喷淋管中设置有手动调节流量阀，通过关断和打开该调节流量阀实现对刻蚀区域的不同区域的喷淋，刻蚀液喷淋管与刻蚀液上入液管的一端连通，刻蚀液上入液管的另一端与入液总管10连通，在刻蚀液上入液管中设置有入液电磁调节阀，在矩形底槽I的底部设置有动态排液管27，在动态排液管27上设置有排液电磁调节阀28，辊轮组驱动电机、入液电磁调节阀和排液电磁调节阀28均分别与PLC电连接。[0012]在辊轮组13的上方设置的刻蚀液喷淋管包括设置有左手动调节流量阀16的左喷淋管15、设置有右手动调节流量阀20的中喷淋管19和设置有右手动调节流量阀24的右喷淋管23，左喷淋管15通过刻蚀液左上入液管17与入液总管10连通，右喷淋管23通过右上入液管25与入液总管10连通，中喷淋管19通过中上入液管21与入液总管10连通，在左上入液管17上设置有左入液电磁调节阀18，在右上入液管25上设置有右入液电磁调节阀26，在中上入液管21上设置有中入液电磁调节阀22，左入液电磁调节阀18、右入液电磁调节阀26和中入液电磁调节阀22均分别与PLC电连接。[0013]PLC通过控制三个入液电磁调节阀和排液电磁调节阀28，实现将磁力泵泵入刻蚀区域内的制绒液打散均匀分布，实现了制绒液的一种最佳的动态平衡调整。[0014]所述的刻蚀液喷淋管上套接有封闭的方柱罩，在方柱罩的底板上设置有一字形的喷液缝，刻蚀液通过该喷液缝以与左右水平方向成45度角的向下方向向刻蚀槽中的刻蚀区域喷射所述的刻蚀液。使喷淋进入刻蚀区域的刻蚀液中进入空气，提高刻蚀质量。
权利要求1.一种薄膜太阳能玻璃基板制绒设备的制绒部件，包括PLC和矩形底槽(I)，在矩形底槽(I)中套接有架高的刻蚀槽(2 )，刻蚀槽(2 )由前挡板(3 )、后档板(4 )、左制绒液高度调节板(5)、右制绒液高度调节板(6)和刻蚀槽底板组成封闭的刻蚀区域，其特征在于，在刻蚀槽(2 )的底部设置有骨架(11 )，在骨架(11)上设置有匀水板(12 )，在匀水板(12 )上均布有孔洞，在刻蚀槽底板设置有刻蚀液底部入口，刻蚀液底部入口与刻蚀液下入液管(9 )的一端连通，刻蚀液下入液管(9)的另一端与入液总管(10)连通，在匀水板(12)上方从左到右依次设置有传送薄膜玻璃基板的接入辊(7)、辊轮组(13)和送出辊(8)，辊轮组(13)通过驱动皮带(14)与辊轮组驱动电机机械连接在一起，在辊轮组(13)的上方设置有刻蚀液喷淋管，在刻蚀液喷淋管中设置有手动调节流量阀，刻蚀液喷淋管与刻蚀液上入液管的一端连通，刻蚀液上入液管的另一端与入液总管(10)连通，在刻蚀液上入液管中设置有入液电磁调节阀，在矩形底槽(I)的底部设置有动态排液管(27)，在动态排液管(27)上设置有排液电磁调节阀(28)，辊轮组驱动电机、入液电磁调节阀和排液电磁调节阀(28)均分别与PLC电连接。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能玻璃基板制绒设备的制绒部件，其特征在于，在辊轮组(13)的上方设置的刻蚀液喷淋管包括设置有左手动调节流量阀(16)的左喷淋管(15)、设置有右手动调节流量阀(20)的中喷淋管(19)和设置有右手动调节流量阀(24)的右喷淋管(23)，左喷淋管(15)通过刻蚀液左上入液管(17)与入液总管(10)连通，右喷淋管(23 )通过右上入液管(25 )与入液总管(10 )连通，中喷淋管(19 )通过中上入液管(21)与入液总管(10)连通，在左上入液管(17)上设置有左入液电磁调节阀(18)，在右上入液管(25)上设置有右入液电磁调节阀(26)，在中上入液管(21)上设置有中入液电磁调节阀(22)，左入液电磁调节阀(18)、右入液电磁调节阀(26)和中入液电磁调节阀(22)均分别与PLC电连接。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能玻璃基板制绒设备的制绒部件，其特征在于，所述的刻蚀液喷淋管上套接有封闭的方柱罩，在方柱罩的底板上设置有一字形的喷液缝，刻蚀液通过该喷液缝以与左右水平方向成45度角的向下方向向刻蚀槽中的刻蚀区域喷射所述的刻蚀液。
专利摘要本实用新型公开了一种薄膜玻璃基板制绒设备的制绒部件，解决了现有设备存在的自动化程度低和制绒薄厚不均匀的问题。包括PLC和矩形底槽(1)，在矩形底槽(1)中套接有架高的刻蚀槽(2)，在骨架(11)上设置有匀水板(12)，在匀水板(12)上均布有孔洞，在刻蚀槽底板设置有刻蚀液底部入口，刻蚀液底部入口与刻蚀液下入液管(9)的一端连通，刻蚀液下入液管(9)的另一端与入液总管(10)连通，在匀水板(12)上方从左到右依次设置有传送薄膜玻璃基板的接入辊(7)、辊轮组(13)和送出辊(8)，在辊轮组(13)的上方设置有刻蚀液喷淋管，在矩形底槽(1)的底部设置有动态排液管(27)。实现了自动化生产，提高了刻蚀质量。
文档编号H01L31/18GK202977501SQ20122018960
公开日2013年6月5日 申请日期2012年4月28日 优先权日2012年4月28日
发明者苗岱, 岳军, 杜虎明, 杨杰, 卫晓冲, 张峰, 康冬妮, 贾娟芳 申请人:中国电子科技集团公司第二研究所