专利名称：石英舟的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种载具，尤其涉及一种石英舟。
背景技术：
石英舟是扩散工艺的必备工具，无论是半导体器件的扩散，还是太阳能工艺的扩散都大量使用石英器件做为载体，石英舟耐高温不变形，不污染器件而且能重复使用，尤其是近几年来由于太阳能产业发展迅速，人们使用石英舟的式样也越来越多。目前的石英舟如图I所示，包括外框架I以及固定杆4，所述外框架I包括横杆2和垂直于所述横杆2并与所述横杆2固定连接的竖杆3，所述固定杆4垂直与所述横杆2，又垂直于所述竖杆3，如图2所示，所述固定杆4上分别开有相对应的横切面为矩形的凹槽5，将硅片等材料放置于石英舟的凹槽5中，由于所述硅片与所述凹槽5的侧边相接处，在所 述硅片上会存在一定的无法被扩散到的“扩散盲区”。因此，如何提供一种能够提高扩散均匀性、消除“扩散盲区”的石英舟是本领域的技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种石英舟，以解决现有的石英舟存在“扩散盲区”的问题。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种石英舟，包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆，所述两个底部连接杆的两端分别与所述两个面板的底边固定连接，所述两个侧壁连接杆的两端分别与所述两个面板的两个侧边固定连接，所述两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽，所述两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽相匹配的第二凹槽，所述两个侧壁连接杆的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形，所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合，所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第一凹槽。较佳地，所述第一凹槽的横切面为梯形。较佳地，所述底部连接杆的横切面为下侧的矩形与上侧的直角梯形组合成的五边形，所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合。较佳地，所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第二凹槽。较佳地，所述第二凹槽的横切面为三角形。较佳地，所述两个面板的顶部分别设有悬挂结构，所述悬挂结构与所述面板的顶部固定连接。较佳地，所述悬挂结构为倾斜板，且所述倾斜板所在的平面与所述面板所在的平面的夹角大于30度,小于80度。本实用新型提供的种石英舟，包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆，所述两个底部连接杆的两端分别与所述两个面板的底边固定连接，所述两个侧壁连接杆的两端分别与所述两个面板的两个侧边固定连接，所述两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽，所述两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽相匹配的第二凹槽，其特征在于，所述两个侧壁连接杆的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形，所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合，所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第一凹槽。本实用新型采用矩形与直角梯形组合成的五边形为横切面的侧壁连接杆，将硅片置于所述第一凹槽中，侧壁连接杆与所述硅片接触处的垂直厚度减小，硅片与第一凹槽的接触面减小，提高扩散均匀性，消除“扩散盲区”，进而减小漏电流，提闻并联电阻，提闻开路电压。
图I为现有的石英舟结构示意图2为图I的俯视图；图3为本实用新型一实施例的石英舟结构示意图；图4为图3的A部放大图；图5为图3的俯视图；图6为图5的B部放大图；图7为图3的左视图。图中1-外框架、2-横杆、3-竖杆、4-固定杆、5-凹槽；10-面板、11-侧壁连接杆、12-底部连接杆、13-第一凹槽、14-第二凹槽、15-倾斜板、16-娃片。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
做详细的说明。本实用新型提供的石英舟，如图3、图5和图7所示，包括两个相对设置的面板10、两个底部连接杆12以及两个侧壁连接杆11，所述两个底部连接杆12的两端分别与所述两个面板10的底边固定连接，所述两个侧壁连接杆11的两端分别与所述两个面板10的两个侧边固定连接，所述两个侧壁连接杆11相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽13，所述两个底部连接杆12的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽13相匹配的第二凹槽14，所述两个侧壁连接杆11的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形，所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合，所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第一凹槽13。换句话说，请重点参考图7，所述侧壁连接杆11可以用将横切面为矩形的杆切掉朝向内侧的一个顶角而得到，在所述直角梯形的顶边上设置所述第一凹槽13，将硅片16置于所述第一凹槽13中，侧壁连接杆11与所述硅片16接触处的垂直厚度减小，硅片16与第一凹槽13的接触面减小，提高扩散均匀性，消除“扩散盲区”，进而减小漏电流，提高并联电阻，提高开路电压。较佳地，如图6所示，所述第一凹槽13的横切面为梯形(本实施例中采用等腰梯形)。采用横切面为梯形的第一凹槽13，将硅片16置于所述第一凹槽13中，所述第一凹槽13与所述硅片16为线接触，改变现有技术中凹槽与硅片面接触的情况，进一步提高扩散均匀性，消除“扩散盲区”，进而减小漏电流，提高并联电阻，提高开路电压。较佳地，如图3和图7所示，所述底部连接杆12的横切面为下侧的矩形与上侧的直角梯形组合成的五边形，所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合，具体地，所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第二凹槽14，所述第二凹槽14的横切面为三角形。请进一步参考图4，将所述硅片16放置于所述第二凹槽14时，所述硅片16与所述第二凹槽14只有在所述三角形的顶角处接触，从而进一步提高扩散均匀性，消除“扩散盲区”。较佳地，如图3所示，所述两个面板10的顶部分别设有悬挂结构，所述悬挂结构与所述面板10的顶部固定连接，具体地，所述悬挂结构为倾斜板15，且所述倾斜板15所在的平面与所述面板10所在的平面的夹角大于30度，小于80度。这样，将抬棒(图中未示出)插置与所述面板10与所述倾斜板15之间，即可对石英舟进行抬升的操作，相较于现有技术中在面板10的顶部设置带有通孔的圆柱体，并将所述抬棒插置与所述通孔中的设计，该实用新型定位方便，便于操作，且更不易损坏石英舟。 综上所述，本实用新型提供的种石英舟，包括两个相对设置的面板10、两个底部连接杆12以及两个侧壁连接杆11，所述两个底部连接杆12的两端分别与所述两个面板10的底边固定连接，所述两个侧壁连接杆11的两端分别与所述两个面板10的两个侧边固定连接，所述两个侧壁连接杆11相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽13，所述两个底部连接杆12的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽13相匹配的第二凹槽14，所述两个侧壁连接杆11的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形，所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合，所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第一凹槽13。将硅片16置于所述第一凹槽13中，侧壁连接杆11与所述硅片16接触处的垂直厚度减小，硅片16与第一凹槽13的接触面减小，提高扩散均匀性，消除“扩散盲区”，进而减小漏电流，提高并联电阻，提高开路电压。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种石英舟，包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆，所述两个底部连接杆的两端分别与所述两个面板的底边固定连接，所述两个侧壁连接杆的两端分别与所述两个面板的两个侧边固定连接，所述两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽，所述两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽相匹配的第二凹槽，其特征在于，所述两个侧壁连接杆的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形，所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合，所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第一凹槽。
2.如权利要求I所述的石英舟，其特征在于，所述第一凹槽的横切面为梯形。
3.如权利要求I所述的石英舟，其特征在于，所述底部连接杆的横切面为下侧的矩形与上侧的直角梯形组合成的五边形，所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合。
4.如权利要求3所述的石英舟，其特征在于，所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第二凹槽。
5.如权利要求4所述的石英舟，其特征在于，所述第二凹槽的横切面为三角形。
6.如权利要求I所述的石英舟，其特征在于，所述两个面板的顶部分别设有悬挂结构，所述悬挂结构与所述面板的顶部固定连接。
7.如权利要求6所述的石英舟，其特征在于，所述悬挂结构为倾斜板，且所述倾斜板所在的平面与所述面板所在的平面的夹角大于30度，小于80度。
专利摘要本实用新型涉及一种石英舟，包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆，两个底部连接杆的两端分别与两个面板的底边固定连接，两个侧壁连接杆的两端分别与两个面板的两个侧边固定连接，两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽，两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与第一凹槽相匹配的第二凹槽，两个侧壁连接杆的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形，直角梯形的底边与矩形的长边重合，直角梯形的顶边上设有间隔排布的第一凹槽。采用矩形与直角梯形组合成的五边形为横切面的侧壁连接杆，将硅片置于第一凹槽中，侧壁连接杆与硅片接触处的垂直厚度减小，接触面减小，提高扩散均匀性，消除“扩散盲区”。
文档编号H01L21/673GK202633255SQ20122021203
公开日2012年12月26日 申请日期2012年5月11日 优先权日2012年5月11日
发明者宋海江 申请人:苏州贝斯特石英有限公司