输送电子元件用水平移动装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种输送电子元件用水平移动装置，用于运输盛放电子元件的容器，其特征在于，包括机架、驱动件，所述驱动件安装在所述机架上，所述驱动件驱动所述容器水平运动。本实用新型输送电子元件用水平移动装置能够横向移动盛放晶圆的容器，无需整体移动晶圆运送装置，从而节省劳动力、提高生产效率的输送电子元件。
【专利说明】输送电子元件用水平移动装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种输送电子元件用水平移动装置。
【背景技术】
[0002]晶圆在生产加工过程中，具有多道不同的加工工序。由于晶圆厚度薄等特殊性质，将晶圆从一道工序运送到另一道工序时，需要使用专门运送装置来运送晶圆。目前运送晶圆的方法是先将晶圆放在容器内，然后利用输送电子元件用水平移动装置夹持容器后运送。目前，在实际产生中，经常需要将晶圆从一个工位移动到另一个工位进行加工，因此经常需要整个输送电子元件用水平移动装置。整个输送电子元件用水平移动装置重力大，再加上晶圆的重量，导致整体移动输送电子元件用水平移动装置十分费力，耗费巨大的人力，造成生产效率低下，无法满足晶圆大规模生产的需求。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种能够横向移动盛放晶圆的容器，无需整体移动晶圆运送装置，从而节省劳动力、提高生产效率的输送电子元件用水平移动装置。
[0004]为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现:
[0005]输送电子元件用水平移动装置，用于运输盛放电子元件的容器，其特征在于，包括机架、驱动件，所述驱动件安装在所述机架上，所述驱动件驱动所述容器水平运动。
[0006]优选地是，还包括滑块，所述容器设置在所述滑块上，所述滑块滑动地设置在所述机架上，所述滑块和所述驱动件连接，所述驱动件驱动所述滑块在所述机架上滑动。
[0007]优选地是，还包括传动件，所述驱动件通过所述传动件驱动所述滑块移动。
[0008]优选地是，所述驱动件为电机，所述传动件包括主动轮和同步带，所述主动轮安装在所述电机的主动轴上，所述滑块连接在所述同步带上，所述同步带带动所述滑块沿所述机架水平滑动。
[0009]优选地是，所述传动件还包括两个张紧轮，两个张紧轮分别安装于所述主动轮两侧，所述同步带绕在所述张紧轮和主动轮上。
[0010]优选地是，所述传动件还包括两同步带压紧元件，所述同步带压紧元件安装在所述机架上且位于所述滑块两侧，所述同步带穿过所述同步带压紧元件且被所述同步带压紧元件压紧。
[0011]优选地是，所述同步带压紧元件包括两块压板，两块压板之间具有供所述同步带穿过的间隙。
[0012]优选地是，所述传动件包括主动轮和齿条，所述主动轮安装在所述驱动件的输出轴上，所述滑块连接在所述齿条上，所述齿条带动所述滑块沿所述机架滑动。
[0013]优选地是，所述驱动件包括直线电机，所述直线电机的输出轴连接在所述滑块上。
[0014]优选地是，还包括定位传感组件，所述定位传感组件安装在机架上用于检测所述容器的位置
[0015]本实用新型输送电子元件用水平移动装置能够横向移动盛放晶圆的容器，无需整体移动晶圆运送装置，从而节省劳动力、提高生产效率的输送电子元件用水平移动装置。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型输送电子元件用水平移动装置的实施例1的立体图。
[0017]图2为图1中A处的局部放大图。
[0018]图3为图1所示输送电子元件用水平移动装置的正视图。
[0019]图4为图1所示输送电子元件用水平移动装置的俯视图。
[0020]图5为图1所示输送电子元件用水平移动装置的部分结构示意图。
[0021]图6为图1所示输送电子元件用水平移动装置的传动组件工作示意图。
[0022]图7为图1所示输送电子元件用水平移动装置的一种工作状态示意图。
【具体实施方式】
[0023]实施例1:
[0024]下面结合附图对本实用新型进行详细的描述:如图1至图6所示:输送电子元件用水平移动装置，用于运送容器5。容器5内盛放电子元件6。输送电子元件用水平移动装置包括机架1、滑块2、驱动件以及定位传感组件4。驱动件安装在机架I上。滑块2和驱动件连接。驱动件驱动滑块2在机架I上滑动。
[0025]机架I具有两条并排设置且突出于其表面的导轨11。每条导轨11两端分别设置一块止挡块12。机架I 一端固定一块安装板13。滑块2 —侧对应两条导轨11开设有导槽
21。通过导轨11与导槽21配合，使得滑块2可在一条导轨11上的两挡块12之间滑动。
[0026]驱动件包括电机31。传动件32用于传递电机31的动力传输。传动件32包括主动轮321、同步带322、两个张紧轮323和两同步带压紧元件324。滑块2固定在同步带322上。主动轮32连接在电机31的输出轴上。电机31、主动轮321和张紧轮323均安装在安装板13上。安装板13上贯穿开设两导槽131且两导槽131分别位于主动轮321两侧。每个张紧轮323安装在一个滑槽131内且可于滑槽131内上下滑动。两同步带压紧元件324安装在机架I两端且分别位于挡块12外侧。每个同步带压紧元件324包括两块之间具有间隙325的压板。同步带322可从间隙325之间穿过且被两块压板压紧。同步带322从一个压紧元件穿过，依次绕在一个张紧轮、主动轮321和另一个张紧轮后穿过另一个压紧元件。电机31驱动主动轮321转动，主动轮321带动同步带322运动。同步带322驱动滑块2在机架I上横向滑动。当同步带322松弛时，张紧轮323在自重下沿着滑槽131向下运动拉紧同步带，能够使同步带322始终保持张紧状态。
[0027]定位传感组件4包括至少一个定位传感器41和两个检测板42。每个定位传感器41相隔一定距离的设置在机架I上且设置在滑块2的行进路线上。两个检测板42分别安装在滑块42的两端。定位传感器41和检测板42的反馈信号控制电机31启动或停止，从而控制滑块2的滑动的位置。
[0028]本实用新型输送电子元件用水平移动装置的工作原理详述如下:
[0029]工作时，夹持组件2抓持住容器5后，启动电机31。电机31驱动主动轮321转动。主动轮321驱动同步带322运动。同步带322带动滑块2在机架I上横向滑动。当花5运动到适当位置时，定位传感组件4发送信号给电机31。电机31停止运行。然后卸下容器5。
[0030]实施例2:
[0031]本实施例与实施例1不同的是，本实施例中的传动组件包括主动轮和齿条。主动轮安装在伺服电机的输出轴上。滑块连接在齿条上。齿条带动滑块沿机架滑动。
[0032]实施例3:
[0033]本实施例与实施例1和实施例2不同的是:驱动件可以用直线电机取代。直线电机的输出轴连接在滑块上。
[0034]本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。
【权利要求】
1.输送电子元件用水平移动装置，用于运输盛放电子元件的容器，其特征在于，包括机架、驱动件，所述驱动件安装在所述机架上，所述驱动件驱动所述容器水平运动。
2.根据权利要求1所述的输送电子元件用水平移动装置，其特征在于，还包括滑块，所述容器设置在所述滑块上，所述滑块滑动地设置在所述机架上，所述滑块和所述驱动件连接，所述驱动件驱动所述滑块在所述机架上滑动。
3.根据权利要求2所述的输送电子元件用水平移动装置，其特征在于，还包括传动件，所述驱动件通过所述传动件驱动所述滑块移动。
4.根据权利要求3所述的输送电子元件用水平移动装置，其特征在于，所述驱动件为电机，所述传动件包括主动轮和同步带，所述主动轮安装在所述电机的主动轴上，所述滑块连接在所述同步带上，所述同步带带动所述滑块沿所述机架水平滑动。
5.根据权利要求4所述的输送电子元件用水平移动装置，其特征在于，所述传动件还包括两个张紧轮，两个张紧轮分别安装于所述主动轮两侧，所述同步带绕在所述张紧轮和主动轮上。
6.根据权利要求5所述的输送电子元件用水平移动装置，其特征在于，所述传动件还包括两同步带压紧元件，所述同步带压紧元件安装在所述机架上且位于所述滑块两侧，所述同步带穿过所述同步带压紧元件且被所述同步带压紧元件压紧。
7.根据权利要求6所述的输送电子元件用水平移动装置，其特征在于，所述同步带压紧元件包括两块压板，两块压板之间具有供所述同步带穿过的间隙。
8.根据权利要求3所述的输送电子元件用水平移动装置，其特征在于，所述传动件包括主动轮和齿条，所述主动轮安装在所述驱动件的输出轴上，所述滑块连接在所述齿条上，所述齿条带动所述滑块沿所述机架滑动。
9.根据权利要求2所述的输送电子元件用水平移动装置，其特征在于，所述驱动件包括直线电机，所述直线电机的输出轴连接在所述滑块上。
10.根据权利要求1-9任一项权利要求所述的输送电子元件用水平移动装置，其特征在于，还包括定位传感组件，所述定位传感组件安装在机架上用于检测所述容器的位置。
【文档编号】H01L21/673GK203377202SQ201220750478
【公开日】2014年1月1日 申请日期:2012年12月31日 优先权日:2012年12月31日
【发明者】王振荣, 陈概礼, 程鹏 申请人:上海新阳半导体材料股份有限公司