非接触运送装置制造方法
【专利摘要】【课题】提供如下非接触运送装置：能够将装置成本抑制为较低，安装作业也容易且被运送物的顶端部分能够不碰撞相邻的运送轨道地转移到相邻的运送轨道。【技术方案】非接触运送装置（1）包括：非接触运送轨道（2）；非接触运送轨道（3），其与所述非接触运送轨道（2）在被运送物（G）的运送方向（X）上相邻地排列；和非接触吸引装置（5），其配在这些非接触运送轨道（2、3）的接缝（S）的上方隔着所述接缝（S）的空间部分相对，并对被运送物进行吸引。所述非接触运送装置（1）能够由一对支柱（8）、顶板（9）和吸引保持体（10）构成，该一对支柱（8）隔着所述非接触运送轨道（2、3）的所述接缝（S）的空间部分相对并且在所述非接触运送轨道（2、3）的宽度方向上相对地竖立设置，顶板（9）跨所述支柱（8）之间而架设，吸引保持体（10）在所述顶板（9）的下表面固定附着。
【专利说明】非接触运送装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及用于生产大型液晶显示器(IXD)、等离子显示器(PDP)等平板显示器(FPD)和/或太阳能电池面板(solar panel,太阳能板)等的非接触运送装置。
【背景技术】
[0002]在生产FPD和/或太阳能面板等时，采用了通过使I张面板大型化来提高生产效率的方法。例如，在生产IXD的情况下，第10代面板成为2850X3050X0.7mm的大小。由此，若如以往那样，将液晶玻璃放置于多个排列的滚子(roller )上而滚动运送，则因对滚子进行支撑的轴的挠曲和/或滚子高度的尺寸偏差，在液晶玻璃上局部地作用较强的力，恐会对该液晶玻璃造成斑痕、擦伤等损伤。
[0003]在能够避免这样的FPD和/或太阳能面板等被运送物的损伤的、通过空气进行上浮运送的【技术领域】中，以在专利文献1、专利文献2以及专利文献3中所记述的空气上浮的运送装置为代表，提出了各种非接触运送装置，本 申请人:也提出了通过涡流(旋流)使被运送物上浮并运送的非接触运送装置(专利文献4)。
[0004]根据在该专利文献4中所记述的非接触运送装置，通过在涡流形成体的表面侧产生向上方的上升涡流从而使被运送物上浮，由此，具有能够使用以往的1/2左右的空气流量来进行运送这一优点。
[0005]然而，在上述非接触运送装置中，在延长被运送物的运送距离的情况下，将运送轨道沿被运送物的运送方向拼接来延长距离，但是此时，若运送轨道与和该运送轨道相邻的运送轨道之间的接缝的空间部分变大，则如图16所示，因为在该接缝的空间部分S空气膜压不作用于被运送物(例如玻璃)G，所以在因被运送物G的自重而从运送轨道2、3悬垂的部位产生挠曲，被运送物G的端部恐会与运送轨道2、3的端部碰撞并破损。即使为了避免该挠曲而将上浮量设得较大，因为被运送物G的端部的挠曲也成比例地变大，所以无法避免被运送物G碰撞运送轨道2、3。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本特开平6-127738号公报
[0009]专利文献2:日本特开2003-63643号公报
[0010]专利文献3:日本特开2006-264804号公报
[0011]专利文献4:国际公开第2009/119377号小册子
[0012]专利文献5:国际公开第2010/058689号小册子
【发明内容】
[0013]发明要解决的课题
[0014]作为避免在上述运送轨道之间的接缝的空间部分被运送物的悬垂部位碰撞运送轨道的技术，在所述专利文献2中公开了如下运送装置:由上浮腔和宽度方向一对运送滚子列构成，该上浮腔在运送面上的与运送方向垂直的宽度方向中央部位置配置并且是在运送方向上长的箱状体，该宽度方向一对运送滚子列在运送面上的宽度方向上的两端位置沿运送方向配置，上浮腔具有与运送面平行且相当于箱状体的盖的上表面板，在该上表面板上形成有多个气体喷出小孔，在箱状体的上浮腔的运送方向后侧的端面板的上端缘与上表面板的运送方向后端缘之间形成有间隙，通过从该间隙流出动压气体来构成动压上浮单
J Li ο
[0015]所述专利文献3公开了使用上浮单元的非接触运送装置，该上浮单元具备:基础体，其与要运送的大型玻璃基板相对应；供气部，其设置于该基础体的底面；多孔部，其设置于基础体的上表面；排气部，其使从供气部流入基础体内并从多孔部流出而使基板上浮的空气从基础体的上表面向底面流出，并且使其排气到基础体外；流量调整器，其设置于该排气部；和边缘孔部，其在基础体的上表面的边缘部形成且通过动压空气使基板上浮。
[0016]专利文献5是公开了一种非接触运送装置，其将多个运送轨道沿被运送物的运送方向配置并在该多个运送轨道上方使该被运送物上浮同时进行运送，其具备:第I流体喷出单元，其设置于运送轨道的端部以外的运送面，并产生上升涡流来使被运送物上浮；和第2流体喷出单元，其设置于运送轨道的端部的运送面，当在该运送轨道上方被运送的被运送物的端部到达相邻的运送轨道之间的接缝或者其附近时，向被运送物的端部吹送流体使该被运送物的端部上浮。
[0017]在所述专利文献2、专利文献3以及专利文献5中所记述的技术是避免在运送轨道之间的接缝的空间部分被运送物的从该运送轨道悬垂的部位碰撞运送轨道的技术，其中，在被运送物被运送到运送轨道的运送方向的顶端部侧时，从下方向被运送物的顶端部喷射空气，使该被运送物的端部上浮。
[0018]在专利文献3所记述的装置中，需要按每个上浮单元来设置流量调整机，另外在专利文献5记述的装置中，需要按每个运送轨道来设置作为第2喷出单元的喷出狭缝，这会引起装置自身的成本增长，另外还存在使安装作业复杂化等问题。
[0019]本发明是鉴于上述诸点而做成的，以提供如下非接触运送装置为目的:能够将装置成本抑制为较低，安装作业也容易且被运送物的顶端部分能够不碰撞相邻的运送轨道地向相邻的运送轨道转移。
[0020]用于解决课题的技术方案
[0021]为了达成所述目的，本发明是一种非接触运送装置，其特征在于，包括:非接触运送轨道；非接触运送轨道，其与该非接触运送轨道在被运送物的运送方向上相邻地排列；和非接触吸引装置，其在这些非接触运送轨道的接缝的上方隔着该接缝的空间部分相对地配置并对所述被运送物进行吸引。
[0022]根据本发明涉及的非接触运送装置，被搬运物由配置为在非接触搬运导轨的接缝的上方并隔着该接缝的空间部分相对的非接触吸引装置在与该吸引装置非接触的状态下吸引保持在该吸引装置侧，并且保持该被吸引保持的状态、通过该接缝的空间部分而被搬运，所以被搬运物的搬运方向的顶端部不冲撞在搬运方向上相邻的非接触搬运导轨，也不会使被搬运物受损伤。
[0023]所述吸引保持体能够包括俯视为矩形的基体和装配在该基体上的涡流形成体，并将装配了该涡流形成体一侧的面作为下表面而固定附着于该顶体的下表面。[0024]所述基体具备:圆筒收置凹部，其具有在上表面开口的俯视为圆形的开口部并且具备底面部；带状圆筒壁面部，其在该圆筒收置凹部的圆筒内壁面部经由该圆筒内壁面部和环状肩部而扩径；空气通路，其沿该基板的长边方向形成且一部分在该圆筒收置凹部的底面部开口 ；和空气供给口，其一个端部在该基体的背面开口，另一个端部在该空气通路开□。
[0025]所述涡流形成体具备:圆筒状主体，其具备在一个端部具有俯视大致为圆形的开口部且在另一个端部具有底面部的圆筒状凹部；环状凸缘部，其在该圆筒状主体的圆筒状凹部的开口部的外周缘形成；多个卡合垂下部，其从该环状凸缘部的外周面向下方垂下，在顶端具有卡定突起且在该外周面的径向上相对地形成；凹部，其在所述圆筒状凹部的圆筒内壁面上且在沿该圆筒内壁面的切线方向上并隔着该圆筒状凹部的中心在对角线上相对的位置，从该圆筒内壁面向径向外方凹入，且俯视为三角形；空气喷出口，其形成在该每个凹部的内侧壁面部，向圆筒状凹部的圆筒内壁面侧分别向相反方向开口 ；和空气取入口，其与该空气喷出口相连通，在从圆筒状主体的外周面突出的凹部的外侧壁面部开口，所述圆筒状主体的环状凸缘部的外周面压入并嵌合于所述基体的所述圆筒收置凹部的圆筒内壁面部，并使所述卡合垂下部的卡定突起分别卡合于该基体的所述圆筒内壁面部的环状肩部，从而将该涡流形成体装配到该基体的圆筒收置凹部中。
[0026]在具备包括上述基板和在该基板上所装配的涡流形成体的吸引保持体的吸引上浮装置中，若从基板的空气通路经由该基板的圆筒收置凹部而向在该圆筒收置凹部内装配的涡流形成体供给压缩空气，则压缩空气经由该涡流形成体的流体供给口而从流体喷出孔向圆筒状凹部内喷出，在圆筒状凹部的内部空间中成为涡流而从该圆筒状凹部的开口部流出。在其流出时，若被运送物被运送到与涡流形成体的环状凸缘部的端面相对的位置，则空气沿环状凸缘部的端面成为高速流而流出，所以环状凸缘部的端面与被运送物之间成为负压。被运送物因该负压被向环状凸缘部的端面侧吸引，另一方面因从圆筒状凹部的开口部流出而作为涡流存在于环状凸缘部的端面与被运送物之间的空气而受到斥力，通过其平衡，被运送物在与环状凸缘部的端面相对的状态下非接触地被保持。
[0027]这样，被运送物由隔着运送轨道之间的接缝的空间部分而在运送方向上相对设置的非接触吸引装置以与该吸引装置非接触的状态吸引保持在该吸引装置侧，所以被运送物的运送方向的顶端部不碰撞在运送方向上相邻的非接触运送轨道，也不会使被运送物受损伤。
[0028]发明效果
[0029]如以上那样，根据本发明，能够提供如下非接触运送装置装置:能够将装置成本抑制为较低，安装作业也容易且被运送物的顶端部分能够不碰撞相邻的运送轨道地转移到相邻的运送轨道。
【专利附图】
【附图说明】
[0030]图1是示出本发明的非接触运送装置的整体的俯视图。
[0031]图2是图1的主剖视图。
[0032]图3是图1的1-1线剖视图。
[0033]图4是基板的俯视图。[0034]图5是图4的I1-1I线剖视图。
[0035]图6是图5的局部放大剖视图。
[0036]图7是图4的II1-1II线剖视图。
[0037]图8是基板的后视图。
[0038]图9是示出产生俯视右旋方向(顺时针方向)的涡流的涡流形成体的图，Ca)是主视图，(b)是俯视图，(c)是仰视图，(d)是(b)的IV-1V线剖视图，(e)是(c)的A部分的放大剖视图，(f)是(d)的B分部的放大剖视图。
[0039]图10是示出产生俯视左旋方向(逆时针方向)的涡流的涡流形成体的图，(a)是主视图，(b)是俯视图，(c)是仰视图，(d)是(c)的V-V线剖视图，(e)是(c)的D部分的放大剖视图，(f)是(d)的E部分的放大剖视图。
[0040]图11是示出在基板上装配了涡流形成体的吸引保持体的俯视图。
[0041]图12是图11的V1-VI线剖视图。
[0042]图13是图12的局部放大剖视图。
[0043]图14是图11的右侧视图。
[0044]图15是示出吸引保持体的其他的实施方式的俯视图。
[0045]图16是示出运送轨道之间的接缝的空间部分与被运送物的关系的说明图。
【具体实施方式】
[0046]接着，基于图示的优选例对本发明的实施方式进一步详细地进行说明。此外，在下面的说明中，以作为被运送物运送液晶玻璃(下面称作“玻璃”。)的情况为例进行说明。
[0047]在图1至图3中，在本例中，非接触运送装置I由非接触运送轨道2、3列非接触运送轨道3、非接触吸引装置5以及5和多个驱动滚子7构成，该非接触运送轨道2在宽度方向上共3列都隔开预定的间隔配置，该3列非接触运送轨道3与该非接触运送轨道2在运送方向X上相邻地配置，该非接触吸引装置5以及5在该非接触运送轨道2与3的运送方向X上的接缝4的空间部分S的上方且隔着该接缝4的空间部分S在运送方向X上相对地配置，壁部6以及6在宽度方向上夹着非接触运送轨道2以及3地沿运送方向X配置，该多个驱动滚子7作为驱动装置且自由旋转地被支撑于该壁部6以及6，玻璃G由驱动滚子7沿运送方向X运送。
[0048]非接触吸引装置5由一对支柱8以及8、顶板9以及9和吸引保持体10以及10构成，该一对支柱8以及8在非接触运送轨道2以及3的运送方向X上隔着接缝4的空间部S相对并且夹着驱动滚子7各自相对地竖立设置，该顶板9以及9跨该支柱8之间而架设，该吸引保持体10以及10固定附着于该顶板9以及9的下表面。
[0049]吸引保持体10由俯视为矩形的基体11和装配于该基体11的涡流形成体12或13形成。
[0050]如图4至图8所示，基体11具备:圆筒收置凹部17，其沿该基体11的长边方向Y且在该基体11的宽度方向上供形成为2列，并具有在该基体11的上表面14开口的俯视为圆形的开口部15且具备底面部16 ;带状圆筒壁面部20，其在该圆筒收置凹部17的圆筒内壁面部18经由该圆筒内壁面部18和环状肩部19而扩大直径；空气通路21，其沿该基体11的长边方向Y形成且一部分在该圆筒收置凹部17的底面部16开口，该空气通路21的一个端部封闭，另一个端部通过与形成于每个该空气通路21的端部的阴螺纹部22螺合固定的闭塞栓23 (参照图14)来闭塞。
[0051]在该基体11的背面24形成有一个端部在该背面24开口而另一个端部在该空气通路21分别形成开口的空气供给口 25，供给泵连结于该空气供给口 25 (未图示)。
[0052]该基体11通过与在该基体11设置的多个螺纹孔26螺合的螺钉(未图示)而固定附着于顶板9的下表面。
[0053]对于在基体11的圆筒收置凹部17内配置的涡流形成体，可分别单独地使用图9(a)至(f)所示的产生右旋方向(顺时针方向)的涡流的涡流形成体12或图10 (a)至(f)所示的产生左旋方向(逆时针方向)的涡流的涡流形成体13，或者将两者组合起来使用。
[0054]图9 (a)至(f)所示的产生右旋方向(顺时针方向)的涡流的涡流形成体12具备:圆筒状主体12d，其具备在一个端部具有俯视大致为圆形的开口部12a且在另一个端部具有底面部12b的圆筒状凹部12c ;环状凸缘部12e，其在该圆筒状主体12d的圆筒状凹部12c的开口部12a的外周缘形成；卡合垂下部12h，，其从该环状凸缘部12e的外周面12f向下方垂下，在顶端具有卡定突起12g且在该外周面12f的径向上相对地形成有多根、在本例中是4根；凹部12j以及12j，其在圆筒状凹部12c的圆筒内壁面12i上且在沿该圆筒内壁面12?的切线方向并隔着该圆筒状凹部12c的中心O在对角线上相对的位置，从该圆筒内壁面12i向径向外方凹入，且俯视为三角形；空气喷出口 121以及121，其在每个凹部12j以及12j的内侧壁面部12k以及12k形成，并向圆筒状凹部12c的圆筒内壁面12i侧向互相的相反方向开口 ；和空气取入口 12ο以及12ο，其与该空气喷出口 121以及121相连通，在从圆筒状主体12d的外周面12m突出的凹部12j以及12j的外侧壁面部12η以及12η开口。
[0055]从所述涡流形成体12的空气取入口 12ο以及12ο供给的空气经由各空气喷出口121以及121喷出到圆筒状主体12d的圆筒状凹部12c内，在该圆筒状凹部12c的内部空间中成为俯视为右旋方向的涡流(图9 (b)中的箭头C方向)而从该圆筒状凹部Ild的开口部Ila流出。
[0056]图10 (a)至(f)所示的产生左旋方向的上升涡流的涡流形成体13与所述涡流形成体12同样地，具备:圆筒状主体13d，其具备在一个端部具有俯视大致为圆形的开口部13a且在另一个端部具有底面部13b的圆筒状凹部13c ;环状凸缘部13e，其在该圆筒状主体13d的圆筒状凹部13c的开口部13a的外周缘形成；卡合垂下部13h，其从该环状凸缘部13e的外周面13f向下方垂下，在顶端具有卡定突起13g且在该外周面13f的径向上相对地形成多根、在本例中是4根；凹部13j以及13j，其在圆筒状凹部13c的圆筒内壁面13i上且在沿该圆筒内壁面13i的切线方向并隔着该圆筒凹部13c的中心O在对角线上相对的位置，从该圆筒内壁面13i向径向外方凹入，并且俯视为三角形；空气喷出口 131以及131，其在每个凹部13j以及13j的内侧壁面部13k以及13k形成，并向圆筒状凹部13c的圆筒内壁面13i侧向互相的相反方向开口 ；和空气取入口 13ο以及13ο，其与该空气喷出口 131以及131相连通，在从圆筒状主体13d的外周面13m突出的凹部13 j以及13 j的外侧壁面部13η以及13η开口。
[0057]从所述涡流形成体13的空气取入口 13ο以及13ο供给的空气经由各空气喷出口131以及131喷出到圆筒状主体13d的圆筒状凹部13c，在该圆筒状凹部13c的内部空间中成为俯视为左旋的涡流(图10 (b)中的箭头F方向)而从该圆筒状凹部13d的开口部13a流出。
[0058]该润流形成体12以及13例如由聚缩醒(polyacetal)树脂、聚苯硫醚树脂(PPS)等热塑性合成树脂制成。
[0059]所述涡流形成体12通过下述方式装配于该基体11的圆筒收置凹部17:将圆筒状主体12d的环状凸缘部12e的外周面12f压入并嵌合于所述基板11的圆筒收置凹部17的圆筒内壁面部18,并使卡合垂下部12h的卡定突起12g卡合在每个该基体11的圆筒内壁面部18的环状肩部19上。
[0060]涡流形成体13也通过与所述涡流形成体12同样的方法装配于基体11的圆筒收置凹部17内。
[0061]将涡流形成体12装配到基体11的圆筒收置凹部17内而形成的吸引保持体10，以装配有该涡流形成体12侧的面换言之为基体11的上表面14朝下的方式固定附着在顶板9 (参照图1至图3)的下表面。
[0062]接着，对包括上述结构的非接触运送装置I的工作，一边主要参照图1以及图2 —边进行说明。
[0063]在非接触运送轨道2上方配置的玻璃G在该运送轨道2上方上浮同时由驱动滚子7沿运送方向X运送。在玻璃G逼近该运送轨道2与在运送方向X上与该运送轨道2相邻的运送轨道3之间的接缝4的空间部分S之前，向非接触吸引装置5以及5的吸引保持体10的空气供给口 25供给压缩空气，压缩空气从空气通路21向与该空气通路21相连通的圆筒收置凹部17的底面部16流动。流动到圆筒收置凹部17的压缩空气，从在该圆筒收置凹部17中装配的涡流形成体12的空气取入口 12ο以及12ο经由空气喷出口 121以及121喷出到圆筒状主体12d的圆筒状凹部12c内。喷出到该圆筒状凹部12c的压缩空气，在圆筒状凹部12c的内部空间中成为俯视为右旋方向的涡流而从该圆筒状凹部12c的开口部12a流出。
[0064]此时，因为玻璃G被运送至与涡流形成体12的环状凸缘部12e的端面相对的位置，所以从圆筒状凹部12c的开口部12a流出的空气沿环状凸缘部12e的端面成为高速流而流出，因此该环状凸缘部12e的端面与玻璃G之间成为负压。玻璃G因该负压被向环状凸缘部12e侧吸引，但是由于从圆筒状凹部12c的开口部12a流出而在环状凸缘部12e的端面与玻璃G之间作为涡流而存在的空气而受到斥力，通过该斥力和负压的平衡，玻璃G在与环状凸缘部12e的端面相对的状态下非接触地被保持。
[0065]这样，因为玻璃G —边保持非接触状态一边被向该吸引保持体10侧吸引保持，所以玻璃G能够在运送轨道2与3之间的接缝4的空间部分S不悬垂、不碰撞运送轨道3地转移到相邻的运送轨道3。
[0066]此外，在上面的说明中，对使用了在基体11的圆筒收置凹部17内装配了涡流形成体12而形成的吸引保持体10的实施方式进行了说明，但是也可以使用在基体11的圆筒收置凹部17内装配了涡流形成体13而形成的吸引保持体10，另外也可以使用将涡流形成体12以及13沿运送方向X交互地装配而形成的吸引保持体10。另外，如图15所示，作为吸引保持体10也可以使用在基体11上在长边方向上交错地装配了涡流形成体12或13的吸引保持体10。
[0067]如以上那样，沿非接触运送轨道2上浮运送的玻璃G的运送方向上的顶端部，在被运送到该非接触运送轨道2与在运送方向上相邻的非接触运送轨道3之间的接缝4的空间部分S之前，在隔着该接缝4的空间部分S在运送方向上相对设置的非接触吸引装置5以及5中，由形成该吸引装置5的吸引保持体10以与该吸引保持体10非接触的状态吸引保持，并且保持该被吸引保持的状态地通过该接缝4的空间部分S而被运送，所以能够提供玻璃G的运送方向的顶端部不与在运送方向上相邻的非接触运送轨道3碰撞且不会使玻璃G受损伤的非接触运送装置。
[0068]附图标记说明
[0069]I非接触运送装置
[0070]2、3非接触运送轨道
[0071]4 接缝
[0072]5非接触吸引装置
[0073]6 壁部
[0074]7驱动滚子
[0075]8 支柱
[0076]9 顶板
[0077]10吸引保持体
[0078]11 基体
[0079]12、13涡流形成体
[0080]14上表面
[0081]15 开口部
[0082]16底面部
[0083]17圆筒收置凹部
[0084]18圆筒内壁面部
[0085]19环状肩部
[0086]20带状圆筒壁面部
[0087]21空气通路
[0088]22阴螺纹部
[0089]23闭塞栓
[0090]24 背面
[0091]25空气供给口
[0092]26螺纹孔
【权利要求】
1.一种非接触运送装置，其特征在于，包括: 非接触运送轨道； 非接触运送轨道，其与该非接触运送轨道在被运送物的运送方向上相邻地排列；和非接触吸引装置，其在这些非接触运送轨道的接缝的上方隔着该接缝的空间部分相对地配置并对所述被运送物进行吸引。
2.根据权利要求1所述的非接触运送装置，其特征在于， 所述非接触吸引装置包括:一对支柱，其隔着所述非接触运送轨道的接缝的空间部分相对并且在非接触运送轨道的宽度方向上相对地竖立设置；顶板，其跨该支柱之间而架设；和吸引保持体，其固定附着于该顶板的下表面。
3.根据权利要求2所述的非接触运送装置，其特征在于， 所述吸引保持体包括俯视为矩形的基体和装配在该基体上的涡流形成体，并将装配了该涡流形成体一侧的面作为下表面而固定附着于该顶体的下表面。
4.根据权利要求3所述的非接触运送装置，其特征在于， 所述基体具备: 圆筒收置凹部，其具有在上表面开口的俯视为圆形的开口部并且具备底面部； 带状圆筒壁面部，其在该圆筒收置凹部的圆筒内壁面部经由该圆筒内壁面部和环状肩部而扩径； 空气通路，其沿该基板的长边方向形成且一部分在该圆筒收置凹部的底面部开口 ；和 空气供给口，其一个端部在该基体的背面开口，另一个端部在该空气通路开口。
5.根据权利要求4所述的非接触运送装置，其特征在于， 所述涡流形成体具备:圆筒状主体，其具备在一个端部具有俯视大致为圆形的开口部且在另一个端部具有底面部的圆筒状凹部； 环状凸缘部，其在该圆筒状主体的圆筒状凹部的开口部的外周缘形成； 多个卡合垂下部，其从该环状凸缘部的外周面向下方垂下，在顶端具有卡定突起且在该外周面的径向上相对地形成； 凹部，其在所述圆筒状凹部的圆筒内壁面上且在沿该圆筒内壁面的切线方向上并隔着该圆筒状凹部的中心在对角线上相对的位置，从该圆筒内壁面向径向外方凹入，且俯视为三角形； 空气喷出口，其形成在该每个凹部的内侧壁面部，向圆筒状凹部的圆筒内壁面侧分别向相反方向开口 ；和 空气取入口，其与该空气喷出口相连通，在从圆筒状主体的外周面突出的凹部的外侧壁面部开口， 所述圆筒状主体的环状凸缘部的外周面压入并嵌合于所述基体的所述圆筒收置凹部的圆筒内壁面部，并使所述卡合垂下部的卡定突起分别卡合于该基体的所述圆筒内壁面部的环状肩部，从而将该涡流形成体装配到该基体的圆筒收置凹部中。
【文档编号】H01L21/677GK103717517SQ201280036821
【公开日】2014年4月9日 申请日期:2012年3月9日 优先权日:2011年7月26日
【发明者】小泽秀夫, 角田耕一, 安田贵裕, 池田俊之 申请人:翁令司工业股份有限公司