电子元件保持头、电子元件检测方法及裸片供给的制造方法
【专利摘要】电子元件保持头具备多个吸嘴(60)、与多个吸嘴连接的多个空气通路(66)、从多个空气通路抽吸空气的泵(68)及设于多个空气通路的多个流量传感器(69)，其中，对于流量传感器，根据与设有该流量传感器的空气通路连接的吸嘴的吸嘴直径来设定阈值，判定抽吸空气时的流量传感器的检测值是否超过阈值。并且，在判定为检测值超过阈值的情况下认定为吸嘴未吸附电子元件，在判定为检测值在阈值以下的情况下认定为吸嘴吸附有电子元件。由此，无论吸嘴直径的大小如何，都能够适当地判定吸嘴有无吸附电子元件。
【专利说明】电子元件保持头、电子元件检测方法及裸片供给机
【技术领域】
[0001]本发明涉及能够通过多个吸嘴来同时吸附保持多个电子元件的电子元件保持头、在该电子元件保持头中检测吸嘴有无吸附电子元件的电子元件检测方法及具备电子元件保持头的裸片供给机。
【背景技术】
[0002]用于保持电子元件的电子元件保持头具备:用于吸附保持电子元件的多个吸嘴、与这些多个吸嘴连接的多个空气通路、从这些多个空气通路内抽吸空气的空气抽吸装置，能够通过多个吸嘴来同时吸附保持多个电子元件。在这样的电子元件保持头中，通过多个吸嘴来同时吸附保持多个电子元件，由此能够实现各种作业时间的缩短等，比较便利。但是，由于吸附错误等，有时也未进行应保持的电子元件的吸附保持，需要确认吸嘴有无吸附电子元件。鉴于这样的情况，开发了用于确认吸嘴有无吸附电子元件的技术，在下述专利文献中记载了这样的技术的一例。
[0003]专利文献1:日本特开2003-133794号公报
[0004]专利文献2:日本特开2009-111155号公报
[0005]专利文献3:日本特开2009-130334号公报
【发明内容】
[0006]在上述专利文献记载的电子元件保持头中，在空气通路设置检测空气的流量的流量传感器，基于该流量传感器的检测值，判定吸嘴有无吸附电子元件。具体而言，在抽吸空气通路内的空气时，在流量传感器的检测值低至一定程度的情况下判定为通过吸嘴吸附有电子元件，在流量传感器的检测值未变低的情况下判定为未通过吸嘴吸附电子元件。这是因为，在电子元件吸附于吸嘴之后，即，在吸嘴的吸嘴口由电子元件堵塞之后，空气在空气通路内几乎不流动，流量传感器的检测值变低，但是若电子元件未吸附于吸嘴，则空气在空气通路内流动，流量传感器的检测值不变低。
[0007]然而，在电子元件保持头，为了保持各种大小的电子元件，有时安装多个种类的吸嘴，这多个种类的吸嘴的吸嘴直径互不相同。另外，在吸嘴吸附有电子元件时，从吸嘴口与电子元件之间的间隙抽吸少量的空气，此时检测的空气流量根据吸嘴的吸嘴直径而较大地不同。具体而言，例如，用于保持较大的电子元件的吸嘴的吸嘴直径有时为用于保持较小的电子元件的吸嘴的吸嘴直径的几倍以上，在这样的情况下，关于在吸嘴吸附有电子元件时由流量传感器检测的空气流量，大径的吸嘴中的空气流量也成为小径的吸嘴中的空气流量的几倍以上。因此，在连接有比较大径的吸嘴的空气通路中，尽管吸嘴吸附有电子元件，也流动一定程度的量的空气，有可能会误判定为吸嘴未吸附电子元件。
[0008]本发明鉴于这样的实际情况而作出，其课题在于提供能够适当地判定吸嘴有无吸附电子元件的电子元件保持头、电子元件检测方法及裸片供给机。
[0009]为了解决上述课题，本申请的第一方案的电子元件保持头具备:多个吸嘴，用于吸附保持电子元件；多个空气通路，与上述多个吸嘴对应地设置，并连接于上述多个吸嘴中的与自身对应的吸嘴；空气抽吸装置，与上述多个空气通路连接，并从上述多个空气通路内抽吸空气；及多个流量传感器，与上述多个空气通路对应地设置，检测在上述多个空气通路中的与自身对应的空气通路的内部流动的空气的流量，上述电子元件保持头能够通过上述多个吸嘴来同时吸附保持多个电子元件，上述电子元件保持头的特征在于，该电子元件保持头具备电子元件检测装置，上述电子元件检测装置检测通过上述空气抽吸装置抽吸空气时上述吸嘴有无吸附电子元件，该电子元件检测装置具有:设定部，对于上述多个流量传感器中的各个流量传感器，分别根据与设有上述各个流量传感器的上述空气通路连接的上述吸嘴的吸嘴直径来设定阈值；判定部，判定通过上述空气抽吸装置抽吸空气时的上述多个流量传感器中的各个流量传感器的检测值是否超过上述设定部分别根据上述各个流量传感器而设定的阈值；及认定部，对于与上述多个流量传感器中的被判定为检测值超过阈值的流量传感器对应的上述吸嘴，认定为未吸附电子元件；对于与被判定为检测值在阈值以下的流量传感器对应的上述吸嘴，认定为吸附有电子元件。
[0010]另外，第二方案记载的电子元件保持头以第一方案记载的电子元件保持头为基础，其特征在于，上述电子元件检测装置具有校正部，上述校正部基于在未由该电子元件保持头进行保持作业的状况下通过上述空气抽吸装置抽吸空气时的上述多个流量传感器中的各个流量传感器的检测值，校正上述设定部分别根据上述各个流量传感器而设定的阈值。
[0011]另外，第三方案记载的电子元件保持头以第一方案或第二方案记载的电子元件保持头为基础，其特征在于，上述吸嘴以能够拆装的方式与上述空气通路连接，上述设定部构成为，每当上述吸嘴被安装于上述空气通路或从上述空气通路被拆卸时，即设定阈值。
[0012]另外，第四方案记载的电子元件检测方法中，在电子元件保持头中检测通过空气抽吸装置抽吸空气时吸嘴有无吸附电子元件，上述电子元件保持头具备:多个吸嘴，用于吸附保持电子元件；多个空气通路，与上述多个吸嘴对应地设置，并连接于上述多个吸嘴中的与自身对应的吸嘴；空气抽吸装置，与上述多个空气通路连接，并从上述多个空气通路内抽吸空气；及多个流量传感器，与上述多个空气通路对应地设置，检测在上述多个空气通路中的与自身对应的空气通路的内部流动的空气的流量，上述电子元件保持头能够通过上述多个吸嘴来同时吸附保持多个电子元件，上述电子元件检测方法的特征在于，包括:设定工序，对于上述多个流量传感器中的各个流量传感器，分别根据与设有上述各个流量传感器的上述空气通路连接的上述吸嘴的吸嘴直径来设定阈值；判定工序，判定通过上述空气抽吸装置抽吸空气时的上述多个流量传感器中的各个流量传感器的检测值是否超过上述设定工序中分别根据上述各个流量传感器而设定的阈值；及认定工序，对于与上述多个流量传感器中的被判定为检测值超过阈值的流量传感器对应的上述吸嘴，认定为未吸附电子元件；对于与被判定为检测值在阈值以下的流量传感器对应的上述吸嘴，认定为吸附有电子元件。
[0013]另外，第五方案记载的电子元件检测方法以第四方案记载的电子元件检测方法为基础，其特征在于，该电子元件检测方法包括校正工序，上述校正工序中，基于在未由该电子元件保持头进行保持作业的状况下通过上述空气抽吸装置抽吸空气时的上述多个流量传感器中的各个流量传感器的检测值，来校正上述设定工序中分别根据上述各个流量传感器而设定的阈值。
[0014]另外，第六方案记载的电子元件检测方法以第四方案或第五方案记载的电子元件检测方法为基础，其特征在于，上述吸嘴以能够拆装的方式与上述空气通路连接，上述设定工序中，每当上述吸嘴被安装于上述空气通路或从上述空气通路被拆卸时，即设定阈值。
[0015]第七方案记载的裸片供给机的特征在于，具备:第一方案至第六方案中的任一方案记载的电子元件保持头；及保持对晶片进行切割而成的裸片集合体的裸片集合体保持装置，上述裸片供给机在上述电子元件保持头从裸片集合体同时吸附保持有多个裸片的状态下，供给上述多个裸片。
[0016]发明效果
[0017]在第一方案记载的电子元件保持头及第四方案记载的电子元件检测方法中，对于多个流量传感器的各个流量传感器，分别根据与设有各个流量传感器的空气通路连接的吸嘴的吸嘴直径来设定阈值，基于该阈值和空气通路内的空气流量，判定吸嘴有无吸附电子元件。具体而言，判定通过空气抽吸装置抽吸空气时的流量传感器的检测值是否超过阈值，在判定为检测值超过阈值的情况下认定为未吸附电子元件，在判定为检测值在阈值以下的情况下认定为吸附有电子元件。由此，无论吸嘴的吸嘴直径的大小如何，都能够适当地判定吸嘴有无吸附电子元件。
[0018]在第二方案记载的电子元件保持头及第五方案记载的电子元件检测方法中，测定在未由电子元件保持头进行保持作业的状况下通过空气抽吸装置抽吸空气时的空气通路的空气流量，基于该测定值，来校正设定部所设定的阈值。具体而言，例如在相同种类的2个吸嘴中，彼此的吸嘴直径相同，因此设定为相同阈值。但是，由于吸嘴直径的形成误差等，在相同种类的2个吸嘴之间存在空气流量不同的情况。另外，在I个吸嘴中，由于经时劣化、吸嘴堵塞等，也存在吸嘴的空气流量下降、实际的空气流量少于与吸嘴直径对应的空气流量的情况。在这样的情况下，基于在吸嘴的吸嘴口敞开的状况下的空气流量，对阈值进行校正，由此能够也考虑吸嘴直径的形成误差、吸嘴堵塞等并判定吸嘴有无吸附电子元件。
[0019]在第三方案记载的电子元件保持头及第六方案记载的电子元件检测方法中，吸嘴以能够拆装的方式与空气通路连接，每当吸嘴被安装于空气通路或从空气通路被拆卸时，即设定阈值。在电子元件保持头中，吸嘴的更换比较频繁地进行，但是根据本技术，每当更换吸嘴时，即设定阈值。由此，每当更换吸嘴时，能够适当地判定吸嘴有无吸附电子元件。
[0020]在第七方案记载的裸片供给机中安装有上述第一方案至第六方案记载的电子元件保持头。由此，在第七方案记载的裸片供给机中，能够发挥与上述效果同样的效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0021]图1是表示本发明的实施例即裸片供给机的立体图。
[0022]图2是表示图1所示的裸片供给机所具备的拾取头的立体图。
[0023]图3是示意性地表示图2所示的拾取头所具备的吸嘴、保持杆、空气通路、泵、流量传感器的图。
[0024]图4是表示图1所示的裸片供给机所具备的控制装置的框图。
【具体实施方式】
[0025]以下，作为用于实施本发明的方式，参照图，详细说明本发明的实施例。
[0026]<裸片供给机的结构>
[0027]图1示出裸片供给机10。裸片供给机10从切割在晶片上粘贴有切割片的结构而成的裸片集合体20分别供给通过切割而得到的多个裸片22。需要说明的是，裸片集合体20有时也简称为“晶片”，裸片22有时也称为“芯片”。
[0028]裸片供给机10具备:主框架30 ;并列设置于主框架30而收容多个裸片集合体20的裸片集合体收容装置32 ;配置在主框架30上而将I个裸片集合体20固定地保持的裸片集合体保持装置34 ;从由裸片集合体保持装置34保持的裸片集合体20拾取裸片22的拾取头36 ;及使拾取头36向由裸片集合体保持装置34保持的裸片集合体20上的任意位置移动的头移动装置38。需要说明的是，在以下的说明中，将主框架30与裸片集合体收容装置32所排列的方向设为X方向，将与该方向垂直的水平的方向设为Y方向。
[0029]裸片集合体收容装置32具有:升降台40 ;配置在升降台40上的架子42 ;及使升降台40沿上下方向升降的台升降机构(参照图4)44。多个裸片集合体20以层叠的状态收容于架子42的内部，升降台40借助台升降机构44而沿上下方向升降，由此层叠的状态的多个裸片集合体20沿上下方向移动。并且，位于预定的高度的裸片集合体20被拉出到裸片集合体保持装置34上。
[0030]裸片集合体保持装置34具有:以沿X方向延伸的方式配置在主框架30上的一对导轨(在图中仅示出一方)50、由这一对导轨50保持成能够沿X方向移动的保持框架52、使该保持框架52沿X方向移动的框架移动机构(参照图4) 54，从裸片集合体收容装置32拉出的裸片集合体20被保持在保持框架52上，所保持的裸片集合体20借助框架移动机构54而沿X方向移动。另外，裸片集合体保持装置34具有裸片集合体固定机构(参照图4)56，通过该裸片集合体固定机构56，将裸片集合体20固定在保持框架52上。
[0031]另外，拾取头36从由裸片集合体保持装置34保持的裸片集合体20拾取裸片22，如图2所示，具备将吸附裸片22的吸嘴60保持于下端部的4个保持杆62。如图3所示，在各保持杆62形成有与保持于各保持杆62的吸嘴60连通的空气通路66，各空气通路66与作为负压源的泵68连接。并且，通过泵68的工作，从空气通路66内抽吸空气，由此利用负压并通过吸嘴60来吸附保持裸片22。需要说明的是，在各空气通路66设有用于检测在各空气通路66的内部流动的空气的流量的流量传感器69。
[0032]另外，如图2所示，大致呈轴状的保持杆62以轴向成为垂直的状态保持于杆保持体64，且能够沿上下方向移动。并且，保持杆62的下端部从杆保持体64的下表面朝向下方延伸出。拾取头36具有杆升降机构70，能够通过该杆升降机构70的操作块72的升降，使4个保持杆62同时升降，或者使各保持杆62单独地升降。
[0033]拾取头36还具有使杆保持体64沿上下方向翻转的翻转机构74，能够通过翻转机构74的工作,使由杆保持体64保持的保持杆62的上下颠倒。详细而言,杆保持体64通过大致沿水平方向延伸的支撑轴76,以能够转动的方式支撑于拾取头36的主体部78。翻转机构74具有:与支撑轴76同轴地固定于杆保持体64的小齿轮80 ;和与该小齿轮80啮合的齿条82,通过齿条82的移动而使小齿轮80旋转，杆保持体64如图中的箭头所示，以支撑轴76为中心翻转。由此，能够使由杆保持体64保持的保持杆62翻转，使吸嘴60以吸嘴口朝上的状态位于保持杆62的上端部。
[0034]另外，如图1所示，头移动装置38是XY机器人型的移动装置，能够使拾取头36向主框架30上的任意位置移动。详细而言，头移动装置38具备:用于使拾取头36沿X方向移动的X方向滑动机构84 ;和用于使拾取头36沿Y方向移动的Y方向滑动机构86。X方向滑动机构84具有以能够沿X方向移动的方式设在主框架30上的X方向滑动件88和电磁马达(参照图4) 90，通过该电磁马达90，能够使X方向滑动件88向X方向上的任意位置移动。另外，Y方向滑动机构86具有以能够沿Y方向移动的方式设在X方向滑动件88的侧面上的Y方向滑动件92和电磁马达(参照图4) 94，通过该电磁马达94，能够使Y方向滑动件92向Y方向上的任意位置移动。并且，通过在该Y方向滑动件92安装拾取头36，拾取头36能够借助头移动装置38而向主框架30上的任意位置移动。
[0035]另外，在头移动装置38的X方向滑动件88的背面安装有用于把持裸片集合体20的夹具98。夹具98在将裸片集合体20从裸片集合体收容装置32向裸片集合体保持装置34的保持框架52拉出时把持裸片集合体20，通过使安装有夹具98的X方向滑动件88沿X方向移动，能够使由夹具98把持的裸片集合体20沿X方向移动。
[0036]另外，裸片供给机10具备配置于裸片集合体保持装置34的下方的裸片顶起装置(参照图4) 100。裸片顶起装置100具有将由裸片集合体保持装置34保持的裸片集合体20的裸片22从背面顶起的顶起件(省略图示)、使该顶起件沿上下方向升降的顶起件升降机构(参照图4) 102、使顶起件向裸片集合体20的下方的任意位置移动的顶起件移动机构(参照图4) 104，对由拾取头36进行的裸片22的拾取进行支援。详细而言，使顶起件移动到由拾取头36拾取的裸片22的下方，在该位置处，使顶起件上升。由此，裸片22被抬起，该被抬起的裸片22由拾取头36的吸嘴60吸附。
[0037]另外，裸片供给机10具备裸片相机106。裸片相机106以朝向下方的状态固定于Y方向滑动件92，借助头移动装置38而移动，由此能够在任意位置处拍摄由裸片集合体保持装置34保持的裸片集合体20。通过裸片相机106得到的图像数据在图像处理装置(参照图4) 108中被处理，能够根据图像数据来取得各种信息。
[0038]而且，如图4所示，裸片供给机10具备控制装置110。控制装置110具备:以具备CPU、ROM、RAM等的计算机为主体的控制器112 ;及与上述台升降机构44、框架移动机构54、裸片集合体固定机构56、泵68、杆升降机构70、翻转机构74、电磁马达90、94分别对应的多个驱动电路114。另外，在控制器112上经由各驱动电路114连接有裸片集合体收容装置、保持装置等的驱动源，能够控制裸片集合体收容装置、保持装置等的工作。另外，在控制器112连接有:对通过裸片相机106得到的图像数据进行处理的图像处理装置108 ;及用于检测在空气通路66中流动的空气的流量的流量传感器69。
[0039]<由裸片供给机进行的裸片的供给〉
[0040]在裸片供给机10中，通过上述的结构，能够从裸片集合体20拾取裸片22，并供给所拾取的裸片22。具体而言，首先，通过框架移动机构54，使未载置裸片集合体20的保持框架52向裸片集合体收容装置32侧、即后方侧移动。并且，通过台升降机构44，使层叠的状态的多个裸片集合体20升降，使这些多个裸片集合体20中的I张裸片集合体20向预定的高度移动。
[0041 ] 接着，通过使X方向滑动件88借助X方向滑动机构84而向后方侧移动，移动到预定的高度的裸片集合体20由安装于X方向滑动件88的夹具98把持。并且，通过使X方向滑动件88借助X方向滑动机构84而向前方侧移动,把持于夹具98的裸片集合体20被载置在保持框架52上。被载置在保持框架52上的裸片集合体20借助裸片集合体固定机构56而固定在保持框架52上，该保持框架52借助框架移动机构54而向前方侧移动。由此，由保持框架52固定地保持的裸片集合体20位于预定的作业位置(图1中示出保持于保持框架52的裸片集合体20的位置)。
[0042]当裸片集合体20移动到作业位置时，裸片相机106借助头移动装置38而移动到所拾取的裸片22的上方。并且，通过裸片相机106来拍摄裸片22，通过该拍摄来取得裸片22的位置信息。需要说明的是，在通过4个吸嘴60来吸附4个裸片22时，取得4个裸片22的位置信息。
[0043]接着，基于通过拍摄裸片22而取得到的裸片22的位置信息，使拾取头36借助头移动装置38而移动到所拾取的裸片22的上方。并且，I个保持杆62借助杆升降机构70而下降。在保持杆62下降时，空气通路66内的空气由泵68抽吸，从保持于保持杆62的下端部的吸嘴60的吸嘴口抽吸空气。由此，通过吸嘴60来吸附保持裸片22，而从裸片集合体20进行拾取。
[0044]另外，在由吸嘴60拾取裸片22时，该所拾取的裸片22由裸片顶起装置100的顶起件向上方顶起，支援裸片22的拾取。并且，对4个保持杆62中的每个保持杆分别进行上述裸片22的拾取动作，由此通过4个吸嘴60同时吸附保持4个裸片22，4个裸片22的拾取完成。需要说明的是，在拾取头36中，通过杆升降机构70，能够使4个保持杆62同时升降,也能够使4个保持杆62同时下降而同时拾取4个裸片22。
[0045]当4个裸片22的拾取完成时，拾取头36通过头移动装置38而移动到主框架30上的任意位置，在该位置处，4个保持杆62借助翻转机构74而上下颠倒。由此，各保持杆62的吸嘴60位于各保持杆62的上端，在该位置处，供给被吸附保持于各吸嘴60的裸片22。在该位置处供给的裸片22被保持于对基板作业机等的安装头，用于向电路基板的安装作业。
[0046]<吸嘴有无吸附裸片的检测>
[0047]如上所述，在裸片供给机10中，能够通过4个吸嘴60同时吸附保持4个裸片22，并供给4个裸片22。然而，由于吸附错误等，还存在未由4个吸嘴60进行4个裸片22的吸附保持的情况，在通过拾取头36供给裸片22时，需要确认吸嘴60有无吸附裸片22。因此，在裸片供给机10中，基于与各吸嘴60连接的空气通路66的空气的流量，检测吸嘴60有无吸附裸片22。以下，详细说明检测吸嘴60有无吸附裸片22的方法。
[0048]在通过吸嘴60来拾取裸片22时，如上所述，由泵68抽吸空气通路66内的空气。因此，在裸片22吸附于吸嘴60之前，即，在吸嘴60的吸嘴口由裸片22堵塞之前，空气在空气通路66内流动，设于空气通路66的流量传感器69的检测值变高。另一方面，在裸片22吸附于吸嘴60之后，即，在吸嘴60的吸嘴口由裸片22堵塞之后，空气在空气通路66内几乎不流动，流量传感器69的检测值变低。即，在由泵68抽吸空气通路66内的空气时，在流量传感器69的检测值低一定程度的情况下，通过吸嘴60吸附有裸片22，在流量传感器69的检测值未变低的情况下，未通过吸嘴60吸附裸片22。
[0049]因此，在裸片供给机10中，在流量传感器69的检测值超过预定的阈值的情况下认定为未通过吸嘴60吸附裸片22，在流量传感器69的检测值成为预定的阈值以下的情况下认定为通过吸嘴60吸附有裸片22。但是，根据吸嘴60的吸嘴直径的大小，从吸嘴60的吸嘴口抽吸的每单位时间的空气的量、即在空气通路66中流动的每单位时间的空气的流量较大地不同，因此根据吸嘴60的吸嘴直径的大小来设定用于判定吸嘴60有无吸附裸片22的阈值。
[0050]详细而言，保持于保持杆62的吸嘴60相对于保持杆62能够拆装，吸嘴60根据所吸附保持的裸片22的大小而采用吸嘴直径不同的多个种类的吸嘴。具体而言，如图3所示，在拾取头36中采用:吸附保持较大的裸片22时使用的较大的吸嘴直径的吸嘴60a、吸附保持较小的裸片22时使用的较小的吸嘴直径的吸嘴60b、这2个吸嘴60a、b之间的吸嘴直径的吸嘴60c，在2个保持杆62上安装有吸嘴60c，在I个保持杆62上安装有吸嘴60a，在I个保持杆62上安装有吸嘴60b。
[0051]如从图可知的那样，吸嘴60a的吸嘴直径为吸嘴60b的吸嘴直径的几倍以上，从吸嘴60a抽吸的空气的量成为从吸嘴60b抽吸的空气的量的几倍以上。即，在吸嘴60a吸附有裸片22时从吸嘴口与裸片22之间的间隙抽吸的空气的量也成为在吸嘴60b吸附有裸片22时从吸嘴口与裸片22之间的间隙抽吸的空气的量的几倍以上。因此，在裸片供给机10中，对于较大的吸嘴直径的吸嘴60a，设定比较大的值的阈值A ;对于较小的吸嘴直径的吸嘴60b，设定比较小的值的阈值B (B〈A)。另外，对于中间的吸嘴直径的吸嘴60c，设定对于吸嘴60a的阈值A与对于吸嘴60b的阈值B之间的大小的阈值C (B〈C〈A)。由此，无论吸嘴60的吸嘴直径的大小如何，都能够适当地判定吸嘴60有无吸附裸片22。
[0052]顺便提及，吸嘴60a、b、c与阈值A、B、C的关系通过映射数据而存储于控制装置110，向控制装置110输入被安装于保持杆62的吸嘴60的种类。由此，根据被安装于保持杆62的吸嘴60，自动地设定阈值，每当吸嘴60被安装于保持杆62或从保持杆62被拆卸时，即再次设定阈值。需要说明的是，吸嘴60的种类向控制装置110的输入可以是基于操作者的输入，也可以是基于控制装置110的自我判定。
[0053]需要说明的是，用于设定与吸嘴60的吸嘴直径对应的阈值的工序成为设定工序，用于判定流量传感器69的检测值是否超过在设定工序中设定的阈值的工序成为判定工序。另外，用于在判定为流量传感器69的检测值超过阈值的情况下认定为吸嘴60未吸附裸片22、在判定为流量传感器69的检测值在阈值以下的情况下认定为吸嘴60吸附有裸片22的工序成为认定工序。而且，作为用于执行各工序的功能部，如图4所示，在控制装置110的控制器112设有阈值设定部120、流量判定部122和裸片有无认定部124。
[0054]另外，在裸片供给机10中，对于在设定工序中设定的阈值进行校准。具体而言，例如，在安装于2个保持杆62的2个吸嘴60c为相同种类，因此设定为相同阈值。但是，由于吸嘴直径的形成误差等，在2个吸嘴60c之间存在每单位时间的空气的流量不同的情况。另夕卜，在I个吸嘴60中，由于计时劣化、吸嘴堵塞等，也存在吸嘴60的空气的流量下降、实际的空气的流量少于与吸嘴直径对应的空气的流量的情况。
[0055]鉴于这样的情况，在未由拾取头36进行拾取作业的状况下，通过泵68从空气通路66抽吸空气，通过流量传感器69测定抽吸空气时的空气的流量。并且，基于所测定的空气的流量来校正阈值。具体而言，例如，在将校准时的空气流量的测定值设为LC且将空气流量的初期值为LS时的阈值A的校正根据以下的式子进行。
[0056]A ‘=A+K.(LC-LS)
[0057]在此,A ‘为校正后的阈值,K为增益。通过如此校正阈值,能够基于也考虑了吸嘴直径的形成误差、吸嘴堵塞等的阈值，更适当地判定吸嘴60有无吸附裸片22。
[0058]需要说明的是，用于对设定工序中设定的阈值进行校正的工序成为校正工序，作为用于执行该校正工序的功能部，如图4所示，在控制装置110的控制器112设有阈值校正部 126。
[0059]顺便提及，在上述实施例中，裸片供给机10是裸片供给机的一例，构成裸片供给机10的裸片集合体保持装置34、拾取头36、控制装置110是裸片集合体保持装置、电子元件保持头、电子元件检测装置的一例。构成拾取头36的吸嘴60、空气通路66、泵68、流量传感器69是吸嘴、空气通路、空气抽吸装置、流量传感器的一例。构成控制装置110的阈值设定部120、流量判定部122、裸片有无认定部124、阈值校正部126是设定部、判定部、认定部、校正部的一例。另外，裸片22是电子元件的一例，检测吸嘴60有无吸附裸片22的方法是电子元件检测方法的一例。
[0060]需要说明的是，本发明并不限定于上述实施例，能够基于本领域技术人员的知识，以实施了各种变更、改良后的各种方式进行实施。具体而言，例如，在上述实施例中，作为电子元件保持头，采用了裸片供给机10所具备的拾取头36，但能够采用用于保持电子元件的各种作业头。具体而言，例如，能够采用用于将电子元件安装于电路基板的电子元件安装机所具备的安装头等作为本发明的电子元件保持头。
[0061]另外，在上述实施例中，用于判定吸嘴60有无吸附裸片22的阈值根据吸嘴60的吸嘴直径的大小而预先设定，但也可以基于未吸附裸片22的状态下的流量传感器69的检测值来设定阈值。即，阈值设定部120也可以构成为，基于在未由拾取头36进行拾取作业的状况下由泵68抽吸空气时的多个流量传感器69中的各个流量传感器的检测值，分别根据各个流量传感器的检测值来设定阈值。
[0062]附图标记说明
[0063]10:裸片供给机20:裸片集合体22:裸片34:裸片集合体保持装置36:拾取头(电子元件保持头)60:吸嘴66:空气通路68:泵(空气抽吸装置)69:流量传感器110:控制装置(电子元件检测装置)120:阈值设定部(设定部)122:流量判定部(判定部)124:裸片有无认定部(认定部)126:阈值校正部(校正部)
【权利要求】
1.一种电子元件保持头，具备: 多个吸嘴，用于吸附保持电子元件； 多个空气通路，与所述多个吸嘴对应地设置，并连接于所述多个吸嘴中的与自身对应的吸嘴； 空气抽吸装置，与所述多个空气通路连接，并从所述多个空气通路内抽吸空气 '及多个流量传感器，与所述多个空气通路对应地设置，检测在所述多个空气通路中的与自身对应的空气通路的内部流动的空气的流量， 所述电子元件保持头能够通过所述多个吸嘴来同时吸附保持多个电子元件， 所述电子元件保持头中， 该电子元件保持头具备电子元件检测装置，所述电子元件检测装置检测通过所述空气抽吸装置抽吸空气时所述吸嘴有无吸附电子元件， 该电子元件检测装置具有: 设定部，对于所述多个流量传感器中的各个流量传感器，分别根据与设有所述各个流量传感器的所述空气通路连接的所述吸嘴的吸嘴直径来设定阈值； 判定部，判定通过所述空气抽吸装置抽吸空气时的所述多个流量传感器中的各个流量传感器的检测值是否超过所述设定部分别根据所述各个流量传感器而设定的阈值；及认定部，对于与所述多个流量传感器中的被判定为检测值超过阈值的流量传感器对应的所述吸嘴，认定为未吸附电子元件；对于与被判定为检测值在阈值以下的流量传感器对应的所述吸嘴，认定为吸附有电子元件。
2.根据权利要求1所述的电子元件保持头，其中， 所述电子元件检测装置具有校正部，所述校正部基于在未由该电子元件保持头进行保持作业的状况下通过所述空气抽吸装置抽吸空气时的所述多个流量传感器中的各个流量传感器的检测值，校正所述设定部分别根据所述各个流量传感器而设定的阈值。
3.根据权利要求1或2所述的电子元件保持头，其中， 所述吸嘴以能够拆装的方式与所述空气通路连接， 所述设定部构成为，每当所述吸嘴被安装于所述空气通路或从所述空气通路被拆卸时，即设定阈值。
4.一种电子元件检测方法，在电子元件保持头中检测通过空气抽吸装置抽吸空气时吸嘴有无吸附电子元件， 所述电子元件保持头具备: 多个吸嘴，用于吸附保持电子元件； 多个空气通路，与所述多个吸嘴对应地设置，并连接于所述多个吸嘴中的与自身对应的吸嘴； 空气抽吸装置，与所述多个空气通路连接，并从所述多个空气通路内抽吸空气 '及多个流量传感器，与所述多个空气通路对应地设置，检测在所述多个空气通路中的与自身对应的空气通路的内部流动的空气的流量， 所述电子元件保持头能够通过所述多个吸嘴来同时吸附保持多个电子元件， 所述电子元件检测方法包括: 设定工序，对于所述多个流量传感器中的各个流量传感器，分别根据与设有所述各个流量传感器的所述空气通路连接的所述吸嘴的吸嘴直径来设定阈值； 判定工序，判定通过所述空气抽吸装置抽吸空气时的所述多个流量传感器中的各个流量传感器的检测值是否超过所述设定工序中分别根据所述各个流量传感器而设定的阈值；及 认定工序，对于与所述多个流量传感器中的被判定为检测值超过阈值的流量传感器对应的所述吸嘴，认定为未吸附电子元件；对于与被判定为检测值在阈值以下的流量传感器对应的所述吸嘴，认定为吸附有电子元件。
5.根据权利要求4所述的电子元件检测方法，其中， 该电子元件检测方法包括校正工序， 所述校正工序中，基于在未由该电子元件保持头进行保持作业的状况下通过所述空气抽吸装置抽吸空气时的所述多个流量传感器中的各个流量传感器的检测值，来校正所述设定工序中分别根据所述各个流量传感器而设定的阈值。
6.根据权利要求4或5所述的电子元件检测方法，其中， 所述吸嘴以能够拆装的方式与所述空气通路连接， 所述设定工序中，每当所述吸嘴被安装于所述空气通路或从所述空气通路被拆卸时，即设定阈值。
7.一种裸片供给机，具备: 权利要求1?6中任一项所述的电子元件保持头；及 保持对晶片进行切割而成的裸片集合体的裸片集合体保持装置， 所述裸片供给机在所述电子元件保持头从裸片集合体同时吸附保持有多个裸片的状态下，供给所述多个裸片。
【文档编号】H01L21/67GK104271323SQ201280073084
【公开日】2015年1月7日 申请日期:2012年5月11日 优先权日:2012年5月11日
【发明者】清水利律, 大桥广康, 山崎敏彦, 村井正树 申请人:富士机械制造株式会社