专利名称：元件上的电极结构及其制造方法
技术领域：
本发明关于一种元件上的电极结构及其制造方法，尤其是光伏元件(photovoltaic device)上的正面电极结构(front electrode)及其制造方法。
背景技术：
“元件”在此指电子元件、光电元件、光伏元件等。这些“元件”的表面上皆需电极结构。以光伏元件为例，光伏元件的正表面(也就是所谓的入光面)上需形成正面电极结构，以收集电子或电洞。一般正面电极结构包含多条平行且线宽较细的指状电极(fingerelectrode)以及至少一条与指状电极垂直且线宽较粗的汇流排电极(bus bar)。汇流排电极供光伏元件本身与其他光伏元件串联时焊接用。正面电极的品质直接影响光伏元件的光电转换效率。关于制造正面电极的先前技术有应用两次网版印刷技术，印刷出宽度较窄、高度较高的汇流电极。但是，此先前技术利用两次网版印刷是印刷相同图案，会产生图案对准误差。另有先前技术利用两次网印刷制造正面电极，第一次网版印刷形成该些指状电极的底部，第二次网版印刷形成该些指状电极的顶部及该些汇流电极。然而，在这些利用两次网版印刷的先前技术中，金属浆会渗入网版上纤维与纤维的交结处，导致印刷对应正面电极的金属浆图案会产生扩墨现象。因此，利用两次网版印刷的先前技术制造正面电极，会制造单一电极的线宽粗细不均匀，导致正面电极的品质不良，尤其是线宽较细的指状电极。运用这些先前技术，若要让指状电极保有基本的导电性，则需放宽指状电极的线宽，如此作法则增加正面电极在光伏元件上的遮蔽率，也会降低光伏元件整体的光电转换效率。制造光伏元件上的正面电极的先前技术也有利用模版(stencil)，一次即印刷完成对应正面电极的图案化金属浆。模版上形成多条对应指状电极以及汇流排电极的镂空沟槽。模版上相邻两沟槽间的金属条在 模版印刷过程中有可能发生变形，导致印刷金属浆形成的导电条有可能粗细不等。因此，利用模版印刷的先前技术也有在每一沟槽内保有多个悬空的桥接部。然而，此种利用一次印刷的先前技术每次印刷，会有金属浆没有溢流至桥接部下方的情况发生，导致印刷品质不佳。此外，此先前技术运用的模版其桥接部需额外加工，导致此模版的制造成本增加。显而易见地，目前对于细长电极的制造，尤其是对光伏元件上正面电极结构的制造仍有改善的空间，特别是对应正面电极结构的图案化金属浆的印刷制造仍需改善。
发明内容
因此，本发明所欲解决的技术问题在于提供一种制造元件上的电极结构的方法，尤其是制造光伏元件的正面电极的方法。根据本发明的方法所制造的正面电极具有优良的品质，有助于提升光伏元件整体的转换效率。本发明第一技术方案提供了一种于元件的表面上制造电极结构的方法，其中该电极结构包含多条平行的条状电极以及垂直该些条状电极的至少一条汇流排电极，该方法包含下列步骤:利用具有多列平行的镂空沟槽的模版，印刷第一金属浆于该表面上，以形成多列平行的第一导电条，其中每一镂空沟槽对应一条第一导电条，该模版上同一列相邻的镂空沟槽间具有桥接部；利用具有多列平行的桥接网孔区域以及至少一行长条状网孔区域的网版，印刷第二金属浆于该表面上，以形成多列平行的桥接导电部以及至少一条第二导电条，其中每一桥接网孔区域对应一个桥接导电部，每一行长条状网孔区域对应一条第二导电条，每一桥接导电部衔接同一列两相邻的第一导电条；以及烘干并烧结该多列平行的第一导电条、该多列平行的桥接导电部以及该至少一条第二导电条，进而形成该多条平行的条状电极以及该至少一条汇流排电极，其中每一条状电极由一列烧结的第一导电条以及同一列烧结的桥接导电部所构成，每一条汇流排电极由一条烧结的第二导电条所构成。较佳的，该桥接部的厚度与该模版的厚度相等。较佳的，该多列平行的第一导电条是在该多列平行的桥接导电部以及该至少一条第二导电条形成之前先行形成并烘干，或者该多列平行的桥接导电部以及该至少一条第二导电条是在该多列平行的第一导电条形成之前先行形成并烘干。本发明的第二技术方案提供了一种于元件的表面上制造电极结构的方法，该方法包含下列步骤:利用具有一列镂空沟槽的模版，印刷第一金属浆于该表面上，以形成一列导电条，其中每一镂空沟槽对应一条导电条，该模版上相邻的镂空沟槽间具有桥接部；利用具有一列桥接网孔区域的网版，印刷第二金属浆于该表面上，以形成一列桥接导电部，其中每一桥接网孔区域对应一个桥接导电部，每一桥接导电部衔接两相邻的导电条；以及烘干并烧结该列导电条以及该列桥接导电部，进而形成该条状电极，其中该条状电极是由该列且烧结的导电条以及该列且烧结的桥接导电部所构成。较佳的，该桥接部·的厚度与该模版的厚度相等。较佳的，该列导电条是在该列桥接导电部形成之前先行形成并烘干，或者该列桥接导电部是在该列导电条形成之前先行形成并烘干。本发明的第三技术方案提供了一种电极结构，形成于兀件的表面上，该电极结构包含:多条条状电极，每一条状电极是由一列彼此不相连的第一导电条以及一列彼此不相连的桥接导电部所构成，每一桥接导电部衔接同一列两相邻第一导电条；以及至少一条汇流排电极，连接该些条状电极，每一条汇流排电极是由一条第二导电条所构成；其中该多列的第一导电条是利用模版印刷第一金属浆于该元件的表面上所形成；其中该至少一条第二导电条以及该多列桥接导电部是利用网版印刷第二金属浆于该元件的表面上所形成。较佳的，该多条条状电极彼此平行，该至少一条汇流排电极垂直该些条状电极。较佳的，该多列的第一导电条以及该多列桥接导电部是经烘干、烧结即成该多条条状电极，该至少一条第二导电条是经烘干、烧结即成该至少一条汇流排电极。较佳的，每一第二导电条的边缘部分覆盖在其连接的第一导电条上，每一桥接导电的边缘部分覆盖在其相邻的第一导电条上。较佳的，每一第一导电条的边缘部分覆盖在其连接的第二导电条上或相邻的桥接导电部上。本发明的第四技术方案提供一种于元件的表面上制造电极结构的方法，该电极结构包含第一条状电极、第二条状电极以及汇流排电极，该第一条状电极与该第二条状电极彼此分离，该汇流排电极连接该第一条状电极与第二条状电极，该方法包含下列步骤:制备模版，该模版具有一列第一镂空沟槽以及一列第二镂空沟槽，两相邻的第一镂空沟槽间具有第一桥接部，两相邻的第二镂空沟槽间具有第二桥接部；制备网版，该网版具有一列第一桥接网孔区域、一列第二桥接网孔区域以及一长条状网孔区域；利用该模版，印刷第一金属浆于该表面上，以形成一列第一导电条以及一列第二导电条，其中每一第一镂空沟槽对应一条第一导电条，每一第二镂空沟槽对应一条第二导电条；以及利用该网版，印刷第二金属衆于该表面上，以形成一列第一桥接导电部、一列第二桥接导电部以及一第三导电条，其中每一第一桥接网孔区域对应一个第一桥接导电部，每一第二桥接网孔区域对应一个第二桥接导电部，该长条状网孔区域对应该第三导电条，每一第一桥接导电部衔接两相邻的第一导电条，每一第二桥接导电部衔接两相邻的第二导电条；其中该第一条状电极由该列第一导电条以及该列第一桥接导电部所构成，该第二条状电极由该列第二导电条以及该列第二桥接导电部所构成，该汇流排电极由该第三导电条所构成。较佳的，该列第一导电条以及该列第一桥接导电部经烘干、烧结即成该第一条状电极，该列第二导电条以及该列第二桥接导电部经烘干、烧结即成该第二条状电极，该第三导电条经烘干、烧结即成该汇流排电极。较佳的，每一第一桥接部与每一第二桥接部的厚度与该模版的厚度相等。较佳的，该列第一导电条以及该列第二导电条是在该列第一桥接导电部、该列第二桥接导电部以及该第三导电条形成之前先行形成并烘干。较佳的，该列第一桥接导电部、该列第二桥接导电部以及该第三导电条是在该列第一导电条以及该列第二导电条形成之前先行形成并烘干。较佳的，利用该模版的印刷制程是在利用该网版的印刷制程之前执行，致使该第三导电条的边缘部分覆盖在其连接的第一导电条以及其连接的第二导电条上，每一第一桥接导电部的边缘部分覆盖在其相 邻的第一导电条上，每一第二桥接导电部的边缘部分覆盖在其相邻的第二导电条上。较佳的，利用该网版的印刷制程是在利用该模版的印刷制程之前执行，致使每一第一导电条的边缘部分覆盖在其连接的第三导电条上或其相邻的第一桥接导电部上，每一第二导电条的边缘部分覆盖在其连接的第三导电条上或其相邻的第二桥接导电部上。较佳的，该列第一镂空沟槽以及该列第二镂空沟槽均平行于一预定方向排列，该列第一桥接部与该列第二桥接部在该预定方向上的投影对齐或交错。与先前技术相较，根据本发明的方法所制造的电极结构具有良好的解析度以及良好的品质。关于本发明的优点与精神可以藉由以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。
图1为本发明第一较佳具体实施例的方法所采用的模版的顶视图。图2为元件经本发明第一较佳具体实施例的方法利用模版印刷后的顶视图。图3为本发明第一较佳具体实施例的方法所采用的网版的顶视图。图4为元件经本发明的第一较佳具体实施例的方法利用模版印刷及网版印刷后的顶视图。
图5为图4中元件沿A-A线的局部剖面视图。图6为元件经本发明第一较佳具体实施例的方法利用模版印刷及网版印刷后再经烧结后的顶视图。图7为元件经本发明第二较佳具体实施例方法的网板印刷后的顶视图。图8为元件经本发明第二较佳具体实施例方法的网板印刷和金属板印刷后，沿如图4中A-A线的局部剖面视图。图9为本发明第三较佳具体实施例的方法所采用的模版的顶视图。图10为元件经本发明第三较佳具体实施例的方法利用模版印刷后的顶视图。图11为本发明第三较佳具体实施例的方法所采用的网版的顶视图。图12为元件经本发明第三较佳具体实施例的方法利用模版印刷及网版印刷后的顶视图。图13为元件经本发明第三较佳具体实施例的方法利用模版印刷及网版印刷后再经烧结后的顶视图。图14为元件先经本发明第三较佳具体实施例的网版印刷后的顶视图。图15为本发明第四较佳具体实施例的方法所采用的模版的顶视图。图16为本发明第四较佳具体实施例的方法所采用的网版的顶视图。图17为元件经本发明第`四较佳具体实施例的方法利用模版印刷及网版印刷后再经烧结后的顶视图。
具体实施例方式为使对本发明的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。请参阅图1至图6，本发明第一较佳具体实施例的方法的各步骤以及采用工具示意地绘示于该些图式中。如图6所示，元件2表面20上的电极结构27为本发明第一较佳具体实施例方法的最后制成品。电极结构27包含多条平行的条状电极26以及垂直该些条状电极26的至少一条汇流排电极28。元件2可以是电子元件、光电元件或光伏元件等。当元件2为光伏元件且元件2的表面20为入光面时，电极结构27即为正面电极结构，条状电极26即为指状电极。于另一具体实施例中，元件2若是光伏元件，则光伏元件2可以是单晶硅光伏元件、多晶硅光伏元件、非晶硅薄膜光伏元件、微晶硅薄膜光伏元件、硫化镉(CdS)薄膜光伏元件、铺化镉(CdTe)薄膜光伏元件、铜铟硒化物(CuInSe2, CIS)薄膜光伏元件、铜铟镓硒化物(Cu (In，Ga)Se2,CIGS)薄膜光伏元件、染料敏化(DSSC)薄膜光伏元件、砷化镓光伏元件，等各类型的光伏元件。本发明第一较佳具体实施例的方法包含:如图1所示，制备具有多列平行镂空沟槽12的模版1，且模版I具有桥接部14位在同一列相邻的两镂空沟槽12之间。该多列平行镂空沟槽12实质上均以平行于如图1中X轴方向排列，且多列桥接部14在X轴方向上的投影均对齐，也就是说，相邻列桥接部14实质上均以平行于如图1中Y轴方向排列。模版I的材料可以选用金属板材。如图2所示，利用模版I印刷第一金属浆于元件2的表面20上，以形成多列平行的第一导电条22。每一镂空沟槽12对应产生一条第一导电条22。接着，烘干多列平行的第一导电条22。如图3所示，制备具有多列平行的桥接网孔区域32以及至少一行长条状网孔区域34的网版3。然后，如图4所示，利用网版3印刷第二金属浆于元件2的表面20上，以形成多列平行的桥接导电部23以及至少一条第二导电条24。每一桥接网孔区域32对应产生一个桥接导电部23。每一行长条状网孔区域34对应产生一条第二导电条24。每一桥接导电部23衔接同一列两相邻的第一导电条22。接着，烘干多列平行的桥接导电部23以及至少一条第二导电条24。请参阅图5，图5为图4中元件2沿A-A线的局部剖面视图。图5显示上述:先利用模版I印刷第一金属浆所形成的第一导电条22，再利用网版3印刷第二金属浆所形成的桥接导电部23以及第二导电条24。桥接导电部23填满两相邻第一导电条22之间的空隙，并且桥接导电部23的边缘覆盖第一导电条22的边缘。第二导电条24与第一导电条22间也毫无空隙，并且第二导电条24的边缘覆盖第一导电条22的边缘。如图6所示，本发明第一较佳具体实施例的方法最后为烧结多列平行的第一导电条22、多列平行的桥接导电部23以及至少一条第二导电条24，进而形成多条平行的条状电极26以及至少一条汇流排电极28。每一条状电极26系由一列烧结的第一导电条22以及同一列烧结的桥接导电部23所构成。每一条汇流排电极28是由一条烧结的第二导电条24所构成。如图6所示，本发明的较佳具体实施例的电极结构27，形成于元件2的表面20上。本发明的电极结构27包含多条彼此平行的条状电极26以及至少一条垂直交会连接的汇流排电极28。每一条状电极26由一列彼此不相连的第一导电条22以及一列彼此 不相连的桥接导电部23所构成,并且每一桥接导电部23衔接同一列两相邻的第一导电条22。每一条汇流排电极28由一条第二导电条24所构成，且该汇流排电极28垂直连接多条条状电极26。该电极结构27的制造方法为:(I)利用如图1所示的模版1，印刷第一金属浆于元件2的表面20上以形成多列第一导电条22。(2)利用如图3所示的网版3，印刷第二金属浆于元件2的表面20上以形成至少一条第二导电条24以及该多列桥接导电部23。于另一具体实施例中，多列的第一导电条22以及多列桥接导电部23是经烘干、烧结即成多条条状电极27。至少一条第二导电条24是经烘干、烧结即成至少一条汇流排电极28。本发明第二较佳具体实施例的做法:(I)先利用如图3所示的网版3印刷第二金属浆，先在元件2的表面20上形成多列平行的桥接导电部23以及至少一条第二导电条24，并加以烘干，如此先得到如图7所示的半成品；(2)稍后再利用如图1所示之模版I印刷第一金属衆，在兀件2的表面20形成多列平行的第一导电条22,并加以烘干、烧结后，即成外观类似图6的最后成品。请参阅图8，图8为第二较佳具体实施例作法中元件2先经网版3印刷再经模版I印刷后且沿图4中A-A线的局部剖面视图。图8显示上述先利用网版3印刷第二金属浆所形成的桥接导电部23和第二导电条24，及稍后再利用模版I印刷第一金属浆所形成的第一导电条22。桥接导电部23妥善地衔接两相邻第一导电条22，并且第一导电条22的边缘覆盖桥接导电部23的边缘。第二导电条24与第一导电条22间也毫无空隙，并且第一导电条22的边缘覆盖第二导电条24的边缘。如此第二较佳具体实施例的方法的最后成品外观虽然类似图6所示第一较佳具体实施例的方法的最后成品，但图8显示第二较佳具体实施例的具体结构和图5显示第一较佳具体实施例的具体结构不同。请参阅图9至图13，本发明第三较佳具体实施例的方法的各步骤以及采用工具均示意地绘示于该些图式中。本发明第三较佳具体实施例的方法是于元件5的表面50上制造条状电极56。元件5可以是电子元件、光电元件或光伏元件等。如图9所示，本发明第三较佳具体实施例的方法是利用具有一列平行的镂空沟槽42的模版4,印刷第一金属衆于兀件5的表面50上，以形成一列平行的导电条52,如图10所示。每一镂空沟槽42对应一条导电条52。模版4上位在相邻的镂空沟槽42间具有桥接部44。接着，本发明第三较佳具体实施例的方法为烘干该列平行的导电条52。接着，如图11所示，利用具有一列桥接网孔区域62之网版6，印刷第二金属浆于元件5的表面50上，以形成一列桥接导电部53,如图12所不。每一桥接网孔区域62对应一个桥接导电部53。每一桥接导电部53衔接两相邻的导电条52。接着，烘干该列平行的桥接导电部53。最后，本发明第三较佳具体实施例的方法为烧结该列平行的导电条52以及该列桥接导电部53，进而形成条状电极56，如图13所示。条状电极56是由该列且烧结的导电条52以及该列且烧结的桥接导电部53所构成。根据本发明第三较佳具体实施例之不同做法，在该列导电条52形成之前，该列桥接导电部53是利用如图11所示的网版6印刷第二金属浆，先行形成在元件5的表面50上，并且烘干，如图14所示。该列导电条52再行利用如图9所示的模版4印刷第一金属浆，形成在元件5的表面50上，并且烘干，即成如图12所示的结构。请参阅图15至图 17，本发明第四较佳具体实施例的方法的各步骤以及采用工具均示意地绘示于该些图式中。本发明第四较佳具体实施例的方法是于元件9的表面90上制造电极结构99。如图17所示，元件9表面90上的电极结构99为本发明第四较佳具体实施例方法的最后制成品。电极结构99包含多列第一条状电极96、多列第二条状电极97以及至少一条汇流排电极98，并且第一条状电极96与第二条状电极97彼此分离。每一条汇流排电极98连接第一条状电极96与第二条状电极97。元件9可以是电子元件、光电元件或光伏元件等。本发明第四较佳具体实施例的方法包含:如图15所示，制备模版7。模版7具有多列第一镂空沟槽72以及多列第二镂空沟槽76。两相邻的第一镂空沟槽72间具有第一桥接部74。两相邻的第二镂空沟槽76间具有第二桥接部78。于此较佳具体实施例中，每一列第一镂空沟槽72以及每一列第二镂空沟槽76均以平行于如图15中X轴方向排列，且多列第一桥接部74与多列第二桥接部78在X轴方向上的投影交错。于另一实施例中，多列第一桥接部74与多列第二桥接部78在X轴方向上的投影对齐，类似如图1所示模版I的相邻列桥接部14均以平行于如图1中Y轴方向排列。模版7的材料可以选用金属板材。如图16，制备网版8。网版8具有多列第一桥接网孔区域82、多列第二桥接网孔区域84以及至少一条长条状网孔区域86。为了配合如图15所示的模版7，多列第一桥接网孔区域82与多列第二桥接网孔区域84在X轴方向上的投影交错。于另一实施例中，多列第一桥接网孔区域82与多列第二桥接网孔区域84在X轴方向上的投影对齐，类似如图3所示网版3的相邻列桥接网孔区域32均平行于如图3中Y轴方向排列。利用模版7印刷第一金属衆于兀件9的表面90上，以形成多列第一导电条91以及多列第二导电条93。每一第一镂空沟槽72对应一条第一导电条91，每一第二镂空沟槽76对应一条第二导电条93。利用网版8,印刷第二金属衆于兀件9的表面90上，以形成多列第一桥接导电部92、多列第二桥接导电部94以及至少一条第三导电条95。每一第一桥接网孔区域82对应一个第一桥接导电部92，每一第二桥接网孔区域84对应一个第二桥接导电部94。每一长条状网孔区域86对应一条第三导电条95。每一第一桥接导电部92衔接两相邻的第一导电条91，每一第二桥接导电部94衔接两相邻的第二导电条93。多列第一导电条91以及多列第一桥接导电部92是经烘干、烧结即成多列第一条状电极96。多列第二导电条93以及多列第二桥接导电部94是经烘干、烧结即成多列第二条状电极97。至少一条第三导电条95是经烘干、烧结即成至少一条汇流排电极98，最后即成如图17所示之结构。于具体实施例中，利用模版7的印刷制程是在利用网版8的印刷制程之前执行，致使每一条第三导电条95的边缘部分覆盖在其连接的第一导电条91以及其连接的第二导电条93上。每一第一桥接导电部92的边缘部分覆盖在其相邻的第一导电条91上。每一第二桥接导电部94 的边缘部分覆盖在其相邻的第二导电条93上。于另一具体实施例中，利用网版8的印刷制程是在利用模版7的印刷制成之前执行，致使每一第一导电条91的边缘部分覆盖在其连接的第三导电条95上或其相邻的第一桥接导电部92上。每一第二导电条93的边缘部分覆盖在其连接的第三导电条95上或其相邻的第二桥接导电部94上。根据本发明的各较佳实施例的方法所制造的条状电极(26、56、96、97)的线宽解析度范围为约10 45 μ m,并且粗细均匀，具有良好品质。于各实施例中，每一桥接部(14、44、74、78)的厚度与模版(1、4、7)的厚度相等。也就是说，每一桥接部(14、44、74、78)不须额外加工处理打薄。因此，与先前技术相较，本发明的方法所采用的模版(1、4、7)其成本较低。于各实施例中，第一金属浆及第二金属浆可以是由铝、银、铜、金、钼、钯、铝合金、银合金、铜合金、金合金、钼合金、钯合金或其混合物形成之粉末混合成的导电浆，或其他商用导电金属衆料。于实际应用中，第一金属衆与第二金属衆为同一金属衆。本发明已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本发明的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本发明的范围。相反地，在不脱离本发明的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本发明的专利保护范围。
权利要求
1.一种于元件的表面上制造电极结构的方法，其中该电极结构包含多条平行的条状电极以及垂直该些条状电极的至少一条汇流排电极，其特征在于，该方法包含下列步骤: 利用具有多列平行的镂空沟槽的模版，印刷第一金属浆于该表面上，以形成多列平行的第一导电条，其中每一镂空沟槽对应一条第一导电条，该模版上同一列相邻的镂空沟槽间具有桥接部； 利用具有多列平行的桥接网孔区域以及至少一行长条状网孔区域的网版，印刷第二金属浆于该表面上，以形成多列平行的桥接导电部以及至少一条第二导电条，其中每一桥接网孔区域对应一个桥接导电部，每一行长条状网孔区域对应一条第二导电条，每一桥接导电部衔接同一列两相邻的第一导电条；以及 烘干并烧结该多列平行的第一导电条、该多列平行的桥接导电部以及该至少一条第二导电条，进而形成该多条平行的条状电极以及该至少一条汇流排电极，其中每一条状电极由一列烧结的第一导电条以及同一列烧结的桥接导电部所构成，每一条汇流排电极由一条烧结的第二导电条所构成。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该桥接部的厚度与该模版的厚度相等。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该多列平行的第一导电条是在该多列平行的桥接导电部以及该至少一条第二导电条形成之前先行形成并烘干，或者该多列平行的桥接导电部以及该至少一条第二导电条是在该多列平行的第一导电条形成之前先行形成并烘干。
4.一种于元件的表面上制造电极结构的方法，其特征在于，该方法包含下列步骤: 利用具有一列镂空沟槽的模版，印刷第一金属衆于该表面上，以形成一列导电条，其中每一镂空沟槽对应一条导电条，该模版上相邻的镂空沟槽间具有桥接部； 利用具有一列桥接网孔区域的网版，印刷第二金属浆于该表面上，以形成一列桥接导电部，其中每一桥接网孔区域对应一个桥接导电部，每一桥接导电部衔接两相邻的导电条；以及 烘干并烧结该列导电条以及该列桥接导电部，进而形成该条状电极，其中该条状电极是由该列且烧结的导电条以及该列且烧结的桥接导电部所构成。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，该桥接部的厚度与该模版的厚度相等。
6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，该列导电条是在该列桥接导电部形成之前先行形成并烘干，或者该列桥接导电部是在该列导电条形成之前先行形成并烘干。
7.—种电极结构,形成于兀件的表面上,其特征在于,该电极结构包含: 多条条状电极，每一条状电极是由一列彼此不相连的第一导电条以及一列彼此不相连的桥接导电部所构成，每一桥接导电部衔接同一列两相邻第一导电条；以及 至少一条汇流排电极，连接该些条状电极，每一条汇流排电极是由一条第二导电条所构成； 其中该多列的第一导电条是利用模版印刷第一金属浆于该元件的表面上所形成； 其中该至少一条第二导电条以及该多列桥接导电部是利用网版印刷第二金属浆于该元件的表面上所形成。
8.如权利要求7所述的电极结构， 其特征在于，该多条条状电极彼此平行，该至少一条汇流排电极垂直该些条状电极。
9.如权利要求7所述的电极结构，其特征在于，该多列的第一导电条以及该多列桥接导电部是经烘干、烧结即成该多条条状电极，该至少一条第二导电条是经烘干、烧结即成该至少一条汇流排电极。
10.如权利要求7所述的电极结构，其特征在于，每一第二导电条的边缘部分覆盖在其连接的第一导电条上，每一桥接导电的边缘部分覆盖在其相邻的第一导电条上。
11.如权利要求7所述的电极结构，其特征在于，每一第一导电条的边缘部分覆盖在其连接的第二导电条上或相邻的桥接导电部上。
12.—种于兀件的表面上制造电极结构的方法,其中该电极结构包含第一条状电极、第二条状电极以及汇流排电极，该第一条状电极与该第二条状电极彼此分离，该汇流排电极连接该第一条状电极与第二条状电极，其特征在于，该方法包含下列步骤: 制备模版，该模版具有一列第一镂空沟槽以及一列第二镂空沟槽，两相邻的第一镂空沟槽间具有第一桥接部，两相邻的第二镂空沟槽间具有第二桥接部； 制备网版，该网版具有一列第一桥接网孔区域、一列第二桥接网孔区域以及一长条状网孔区域； 利用该模版，印刷第一金属衆于该表面上，以形成一列第一导电条以及一列第二导电条，其中每一第一镂空沟槽对应一条第一导电条，每一第二镂空沟槽对应一条第二导电条；以及 利用该网版，印刷第二金属浆于该表面上，以形成一列第一桥接导电部、一列第二桥接导电部以及一第三导电条，其中每一第一桥接网孔区域对应一个第一桥接导电部，每一第二桥接网孔区域对应一个第二桥接 导电部，该长条状网孔区域对应该第三导电条，每一第一桥接导电部衔接两相邻的第一导电条，每一第二桥接导电部衔接两相邻的第二导电条； 其中该第一条状电极由该列第一导电条以及该列第一桥接导电部所构成，该第二条状电极由该列第二导电条以及该列第二桥接导电部所构成，该汇流排电极由该第三导电条所构成。
13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，该列第一导电条以及该列第一桥接导电部经烘干、烧结即成该第一条状电极，该列第二导电条以及该列第二桥接导电部经烘干、烧结即成该第二条状电极，该第三导电条经烘干、烧结即成该汇流排电极。
14.如权利要求12所述的方法，其特征在于，每一第一桥接部与每一第二桥接部的厚度与该模版的厚度相等。
15.如权利要求12所述的方法，其特征在于，该列第一导电条以及该列第二导电条是在该列第一桥接导电部、该列第二桥接导电部以及该第三导电条形成之前先行形成并烘干。
16.如权利要求12所述的方法，其特征在于，该列第一桥接导电部、该列第二桥接导电部以及该第三导电条是在该列第一导电条以及该列第二导电条形成之前先行形成并烘干。
17.如权利要求12所述的方法，其特征在于，利用该模版的印刷制程是在利用该网版的印刷制程之前执行，致使该第三导电条的边缘部分覆盖在其连接的第一导电条以及其连接的第二导电条上，每一第一桥接导电部的边缘部分覆盖在其相邻的第一导电条上，每一第二桥接导电部的边缘部分覆盖在其相邻的第二导电条上。
18.如权利要求12所述的方法，其特征在于，利用该网版的印刷制程是在利用该模版的印刷制程之前执行，致使每一第一导电条的边缘部分覆盖在其连接的第三导电条上或其相邻的第一桥接导电部上，每一第二导电条的边缘部分覆盖在其连接的第三导电条上或其相邻的第二桥接导电部上。
19.如权利要求12所述的方法，其特征在于，该列第一镂空沟槽以及该列第二镂空沟槽均平行于一预定方向 排列，该列第一桥接部与该列第二桥接部在该预定方向上的投影对齐或交错。
全文摘要
本发明提供一种元件上的电极及其制造方法，该电极结构包含多条平行的条状电极以及垂直该些条状电极的至少一条汇流排电极，该方法包含下列步骤利用具有多列平行的镂空沟槽的模版，印刷第一金属浆于该表面上，以形成多列平行的第一导电条；利用具有多列平行的桥接网孔区域以及至少一行长条状网孔区域的网版，印刷第二金属浆于该表面上，以形成多列平行的桥接导电部以及至少一条第二导电条，其中每一桥接网孔区域对应一个桥接导电部，每一行长条状网孔区域对应一条第二导电条，每一桥接导电部衔接同一列两相邻的第一导电条；以及烘干并烧结该多列平行的第一导电条、该多列平行的桥接导电部以及该至少一条第二导电条。
文档编号H01L31/0224GK103236465SQ20131011645
公开日2013年8月7日 申请日期2013年4月3日 优先权日2013年4月3日
发明者石正玲, 陈威廷, 许坤章 申请人:苏州达方电子有限公司, 达泰科技股份有限公司