一种半导体熔炉加热器固定装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种半导体熔炉加热器固定装置，其设置在熔炉内部，所述的熔炉内壁沿轴向间隔安装有若干圈加热线路，该装置包含：若干支支撑杆，其分别固定设置在所述加热线路上；支撑杆包含若干依次相连的第一支撑体及若干依次相连的第二支撑体，每个第一支撑体分别对应拼接在第二支撑体上。支撑杆数量至少为16支。该固定装置采用两块独立的支撑体固定加热线路，加强了支撑杆的承受强度，同时增加支撑杆数量，减小了加热线路扭曲及触碰的故障率。
【专利说明】一种半导体熔炉加热器固定装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体加热领域，特别涉及一种半导体熔炉加热器固定装置。
【背景技术】
[0002]如图1、图2所示，现有技术中半导体熔炉加热器采用12个支撑杆3’环绕设置在熔炉1’内壁上，每个支撑杆3’采用若干个支撑体31’相连而成，此种结构支撑杆容易断裂，从而造成加热线路2’扭曲导致短路，使得熔炉加热器有着很高的损坏率。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是提供一种半导体熔炉加热器固定装置，该固定装置采用两块独立的支撑体固定加热线路，加强了支撑杆的承受强度，同时增加支撑杆数量，减小了加热线路扭曲及触碰的故障率。
[0004]为了实现以上目的，本发明是通过以下技术方案实现的:
一种半导体熔炉加热器固定装置，其设置在熔炉内部，所述的熔炉内壁沿轴向间隔安装有若干圈加热线路，其特点是，该装置包含:若干支支撑杆，其分别固定设置在所述加热线路上；
所述的支撑杆包含若干依次相连的第一支撑体及若干依次相连的第二支撑体，每个所述的第一支撑体分别对应拼接在第二支撑体上。
[0005]所述的支撑杆数量至少为16支。
[0006]本发明与现有技术相比，具有以下优点:
本发明采用两块独立的支撑体固定加热线路，加强了支撑杆的承受强度，同时增加支撑杆数量，减小了加热线路扭曲及触碰的故障率。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]图1为现有技术中熔炉加热器固定装置主视图；
图2为现有技术中熔炉加热器固定装置俯视图；
图3为本发明一种半导体熔炉加热器固定装置的主视图；
图4为本发明一种半导体熔炉加热器固定装置的俯视图；
图5为本发明一种半导体熔炉加热器固定装置的第一支撑体的结构图；
图6为本发明一种半导体熔炉加热器固定装置的第二支撑体的结构图。
【具体实施方式】
[0008]以下结合附图，通过详细说明一个较佳的具体实施例，对本发明做进一步阐述。
[0009]如图3、图4、图5及图6所示，一种半导体熔炉加热器固定装置，其设置在熔炉1内部，所述的熔炉1内壁沿轴向间隔安装有若干圈加热线路2，该装置包含:若干支支撑杆3，其分别固定设置在所述加热线路2上；所述的支撑杆3包含若干依次相连的第一支撑体31及若干依次相连的第二支撑体32，每个所述的第一支撑体31分别对应拼接在第二支撑体32上。支撑杆3数量至少为16支(本实施例中支撑杆数量为16支)。
[0010]本发明采用第一支撑体31及第二支撑体32固定加热线路2，同时第一支撑体31可以与第二支撑体32拼接在一起，这样的结构增加了支撑杆的承受强度，减小支撑杆损坏的故障率，有效的防止加热线路2扭曲及触碰。应用实际效果表明，原有的加热器寿命大约为20个月，该改进后的加热器寿命能达到30个月，提高了经济效益。
[0011]综上所述，本发明一种半导体熔炉加热器固定装置，该固定装置采用两块独立的支撑体固定加热线路，加强了支撑杆的承受强度，同时增加支撑杆数量，减小了加热线路扭曲及触碰的故障率。
[0012]尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。
【权利要求】
1.一种半导体熔炉加热器固定装置，其设置在熔炉(I)内部，所述的熔炉(I)内壁沿轴向间隔安装有若干圈加热线路(2)，其特征在于，该装置包含:若干支支撑杆(3)，其分别固定设置在所述加热线路(2)上； 所述的支撑杆(3)包含若干依次相连的第一支撑体(31)及若干依次相连的第二支撑体(32 )，每个所述的第一支撑体(31)分别对应拼接在第二支撑体(32 )上。
2.如权利要求1所述的半导体熔炉加热器固定装置，其特征在于，所述的支撑杆(3)数量至少为16支。
【文档编号】H01L21/67GK104253064SQ201310266340
【公开日】2014年12月31日 申请日期:2013年6月28日 优先权日:2013年6月28日
【发明者】潘琦, 李占斌, 王强 申请人:上海华虹宏力半导体制造有限公司