硅片自动吹干装置制造方法

文档序号:7260085阅读:312来源:国知局
硅片自动吹干装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种吹干装置,具体涉及一种在硅片电池生产线中,对硅片表面吹干的硅片自动吹干装置,包括支撑体、设置在支撑体上对硅片进行运输的输送装置、对输送装置上的硅片进行吹气的吹气装置,及对输送装置上的硅片进行检测的检测器,以及控制吹气装置的控制器,所述检测器与控制器相连接。在硅片进入上辊轮、下辊轮之间形成输送辊道时,检测器就会对其进行检测并将检测的信号传送给控制器,控制器则控制抽风机工作,向吹风管道中送风,从上管道、下管道的出风孔中对硅片的上、下表面进行彻底的吹干,提高吹干效率。本发明能够对硅片进行彻底的吹干,并能够保证硅片不受损伤。
【专利说明】硅片自动吹干装置

【技术领域】
[0001]本发明涉及一种吹干装置,具体涉及一种在硅片电池生产线中,对硅片表面吹干的硅片自动吹干装置。

【背景技术】
[0002]目前,在硅片电池生产线中,需要对硅片进行吹干,现有的吹干方法不能够对硅片彻底的吹干,并且在吹干过程中,容易造成对硅片的损伤。


【发明内容】

[0003]针对上述技术问题,本发明提供一种硅片自动吹干装置,其能够对硅片进行彻底的吹干,并能够保证硅片不受损伤。
[0004]实现本发明的技术方案如下:
[0005]硅片自动吹干装置,包括支撑体、设置在支撑体上对硅片进行运输的输送装置、对输送装置上的硅片进行吹气的吹气装置,及对输送装置上的硅片进行检测的检测器,以及控制吹气装置的控制器,所述检测器与控制器相连接。
[0006]所述输送装置包括设置在支撑体上的上辊轴、下辊轴以及分别设置在上辊轴、下辊轴上的上辊轮、下辊轮,在上辊轮、下辊轮之间形成输送辊道。
[0007]所述吹气装置包括抽风机、吹风管道,抽风机的输出端连接吹风管道,吹风管道包括位于输送装置上、下方的上管道、下管道,所述上管道、下管道上设置有多个出风孔。
[0008]所述出风孔为锥形设计,从而增大风吹到硅片上的面积,提高了吹干效率。
[0009]所述支撑体为上端开口的槽体,槽体设计能够对吹落的杂质以及水进行收集,保证工作现场的干净整洁。
[0010]采用了上述方案,在硅片进入上辊轮、下辊轮之间形成输送辊道时,检测器就会对其进行检测并将检测的信号传送给控制器,控制器则控制抽风机工作,向吹风管道中送风,从上管道、下管道的出风孔中对硅片的上、下表面进行彻底的吹干,提高吹干效率。本发明能够对硅片进行彻底的吹干,并能够保证硅片不受损伤。

【专利附图】

【附图说明】
[0011]图1为本发明的结构示意图;
[0012]图中,1为支撑槽体,2为上辊轴,3为下辊轴,4为上辊轮,5为下辊轮,6为抽风机,7为上管道,8为下管道,9为出风孔,10为检测器,11为控制器。

【具体实施方式】
[0013]下面结合附图和具体实施例对本发明进一步说明。
[0014]参见图1,硅片自动吹干装置,包括支撑槽体1、设置在支撑槽体1上对硅片进行运输的输送装置,其输送装置包括设置在支撑槽体上的上辊轴2、下辊轴3以及分别设置在上辊轴、下辊轴上的上辊轮4、下辊轮5,在上辊轮、下辊轮之间形成输送辊道。
[0015]其中,设置在支撑槽体内对输送装置上的硅片进行吹气的吹气装置,其包括抽风机6、吹风管道,抽风机的输出端连接吹风管道,吹风管道包括位于输送装置上、下方的上管道7、下管道8,上管道7、下管道8上设置有多个出风孔9。出风孔9为锥形设计。
[0016]以及对输送装置上的硅片进行检测的检测器10,以及控制吹气装置的控制器,所述检测器与控制器11相连接。
[0017]在硅片进入上辊轮、下辊轮之间形成输送辊道时,检测器就会对其进行检测并将检测的信号传送给控制器,控制器则控制抽风机工作,向吹风管道中送风,从上管道、下管道的出风孔中对硅片的上、下表面进行彻底的吹干,提高吹干效率。
【权利要求】
1.硅片自动吹干装置,其特征在于:包括支撑体、设置在支撑体上对硅片进行运输的输送装置、对输送装置上的硅片进行吹气的吹气装置,及对输送装置上的硅片进行检测的检测器,以及控制吹气装置的控制器,所述检测器与控制器相连接。
2.根据权利要求1所述的硅片自动吹干装置,其特征在于:所述输送装置包括设置在支撑体上的上辊轴、下辊轴以及分别设置在上辊轴、下辊轴上的上辊轮、下辊轮,在上辊轮、下辊轮之间形成输送辊道。
3.根据权利要求1所述的硅片自动吹干装置,其特征在于:所述吹气装置包括抽风机、吹风管道,抽风机的输出端连接吹风管道,吹风管道包括位于输送装置上、下方的上管道、下管道,所述上管道、下管道上设置有多个出风孔。
4.根据权利要求3所述的硅片自动吹干装置,其特征在于:所述出风孔为锥形设计。
5.根据权利要求1-4任一项所述的硅片自动吹干装置,其特征在于:所述支撑体为上端开口的槽体。
【文档编号】H01L31/18GK104251611SQ201310270579
【公开日】2014年12月31日 申请日期:2013年6月30日 优先权日:2013年6月30日
【发明者】周建国, 夏利荣 申请人:常州市立威刀具有限公司
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