频率可调的激光装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种频率可调或线性调频的激光装置，其包括由多个光学元件形成的激光腔。所述光学元件包括用于产生光束的激光源（20、180、222、240）、光谱调节元件（28、42、188、230、244、300）以及用于将光束导向到所述光谱调节元件（28、42、188、230、244、300）上的一个或多个其他光学元件（22、24、26、30、32、64、60、184、194、195、198、220、232、234、242、246、248）。所述多个光学元件（34、64、195、232、242）中的至少一个光学元件可在第一自由度（34；R；250）上运动；这一运动同时改变所述激光腔的有效光学路径长度和所述光谱调节元件（28、42、188、230、244、300）的调节频率。所述有效光学路径长度和所述装置的调节频率基本上对所述至少一个可动光学元件（34、64、195、232、242）在与所述第一自由度不同的自由度上的任何运动不敏感。这提供了跳模被抑制的频率调节。
【专利说明】频率可调的激光装置
[0001]本专利申请是申请号为200980150913.9 (国际申请号为PCT/GB2009/002880)、 申请人:为“瑞尼斯豪公司”、发明名称为“频率可调的激光装置”的专利申请的分案申请。
【技术领域】
[0002]本发明涉及一种频率可控的激光装置。具体而言，本发明涉及一种频率可控的激光装置，其能在高频率下对其进行调制或线性调频(chirp)。
【背景技术】
[0003]公知用于干涉测量等领域的线性调频激光装置。具体而言，公知的是提供执行所谓Littrow方案的激光装置，其中激光腔包括校准光线被引导至其上的衍射光栅。衍射光栅的倾斜使得可同时改变激光器的频率和腔长度，从而无需跳模即可产生所需的频率调节。然而，所述Littrow布置的缺点在于，必须绕预定的枢转点转动衍射光栅。因而，提供光栅运动所需精度所需要的重要稳定机械装置使得难以获得高的频率调制速度。
[0004]US6049554描述了基于上述Littrow方案以及类似的Littman方案的激光腔的各种例子。具体而言，US6049554详细描述了如何从数学上推导用于衍射光栅或镜子的枢转点以提供对激光频率和腔长度的同时改变，从而无需引入多余的跳模效应即可改变输出频率。
【发明内容】
[0005]根据本发明的第一方面，提供一种频率可调的激光装置，其包括由多个光学元件形成的激光腔，所述多个光学元件包括用于产生光束的激光源、光谱调节元件以及用于将光束导向到所述光谱调节元件上的一个或多个其它光学元件，其中，所述多个光学元件中的至少一个光学元件可在第一自由度上运动，而且所述至少一个可动光学元件在所述第一自由度上的这一运动同时改变所述激光腔的有效光学路径长度和所述光谱调节元件的调节频率，从而无需跳模即可提供频率调节，所述频率可调的激光装置的特征在于，所述有效光学路径长度和所述调节频率基本上对所述至少一个可动光学元件在与所述第一自由度不同的自由度上的任何运动不敏感。
[0006]因此本发明提供了一种频率可控制或可调节的激光装置，其中由多个光学元件形成谐振或激光腔，所述多个光学元件包括激光源(例如，激光二极管)、光谱调节元件(例如，衍射光学元件和/或标准具)以及一个或多个其他光学元件(例如，透镜、玻璃组件、带通滤光器、镜子等)。所述多个光学元件中的至少一个可在第一自由度上运动；例如，该可动的光学元件可沿着线性轴线平动,或者绕轴线转动。所述可动光学元件在所述第一自由度上的运动设置成可同时改变激光腔的有效光学路径长度以及所述光谱调节元件的调节频率，从而无需跳模即可产生频率调节。
[0007]本发明人已经意识到基于Littrow和Littman方案的现有频率可调激光器的缺点，即，必须非常精确地控制运动元件(例如，衍射光栅或控制光线入射到衍射光栅上的入射角的背反射器)的枢转运动。枢转点的引起运动元件不可控倾斜或平动的任何运动都将导致腔长度和调节频率不同步变化；这会导致在调节过程中出现不想要的跳模效应。因而，在现有技术的装置中，采用高精度(从而成本也相对较高)的运动控制装置来控制运动元件绕着枢转的点。这种运动控制设备的寿命也是有限的。
[0008]与现有技术的装置不同，根据本发明的激光装置设置成使得有效光学路径长度与调节频率基本上对所述至少一个可动光学元件在与所述第一自由度不同的自由度上的任何小的运动不敏感。换言之，路径长度和频率调节需要同时变化，这主要来自于光学元件在一个(即第一)自由度上的运动，而且还应对其他自由度上的任何运动具有耐受性。其优点在于:只需在所述第一自由度上实施运动控制，而且能耐受在其他自由度上的不受控运动。因而，本发明能采用复杂程度较低(较廉价)的运动控制装置，而且/或者能以较高的速度驱动运动控制装置。
[0009]本发明人在意识到上述问题并得到上述解决方案后，设计了大量的专用光学装置，在这些光学装置中，可采用针对可动光学元件的一个自由度的控制来对光谱调节元件所形成的频率调节和有效的腔长度进行控制。例如，以下参照图2至图5详细描述的实施方式涉及这样一种系统，其中光束控制镜子的第一自由度包括沿一轴线的线性平动，且镜子在其他自由度上的运动(例如，倾斜、沿其他轴线的平动等)对有效腔长度和频率调节的同时变化没有什么大影响，该变化是由光束控制镜子的线性运动引起的。这样一来就降低了所需的运动控制复杂度，相应地降低了装置成本。
[0010]值得注意的是，在机械学中，用某几个自由度来定义物体的运动是公知的。具体而言，一物体相对于静止点或另一物体的运动(例如，光学元件相对于装置的壳体或者空间中的某一固定点的运动)可采用该物体的自由度来加以描述。在三维情况下，不受约束的物体可在六个自由度上运动。这六个自由度包括三个平动自由度(即，物体可沿着三个相互垂直的线性轴线运动)和三个转动自由度(即，物体可俯仰、滚动和摆动)。在现有技术的LittIOW和Littman方案中，需要通过设置高度约束的枢转结构来对可动光学元件在所有六个自由度上的运动进行控制。与此不同的是，本发明只需在第一自由度上进行控制，这是因为在其他自由度上的运动对有效腔长度和频率调节变化的影响较小、基本无影响，或言之，影响可忽略，该变化是由在所述第一自由度上的运动引起的。
[0011]有利地，所述激光装置包括用于对所述至少一个可动光学元件在所述第一自由度上的运动进行控制的致动器。所述致动器可对所述至少一个可动光学元件在其他自由度上的运动提供有限的控制，或者不进行任何控制。可采用各种不同的致动器。例如，所述致动器可包括一个或多个压电元件以将线性运动传递至可动的光学元件和/或用于转动可动光学元件的电机。优选地，所述致动器系统简单、可靠，而且耐用。例如，所述致动器便利地包括柔性机构。尽管柔性机构对运动的控制通常较差，但是本发明的装置可接受这一点。柔性机构还具有紧凑和高可靠性的优点。致动器还可包括如以下将要详细描述的平衡振荡机械系统或音叉装置。
[0012]优选地，所述致动器使得所述至少一个可动光学元件可快速运动(例如，振动或转动)。有利的是，这一运动使得激光输出的频率调制可在高于5Hz的重复率下进行，更优选地在高于IOHz的重复率下进行，更优选地在高于50Hz的重复率下进行，更优选地在高于IOOHz的重复率下进行，更优选地在高于200Hz的重复率下进行，更优选地在高于500Hz的重复率下进行，更优选地在高于IKHz的重复率下进行。本发明由于仅需对所述至少一个可动光学元件在所述第一自由度上的运动进行控制，从而能实现这样高的重复率；随着重复率的上升，所述可动光学元件会发生在其他自由度上的不受控运动，该不受控运动对有效腔长度的改变和相关调节频率的影响很小。这样的重复率远高于现有技术的Littman或Littrow方案，在这些方案中，IHz的重复率是很难获取的。
[0013]有利的是，所述一个或多个其他光学元件包括一个或多个可动光束控制元件。所述一个或多个可动光束控制元件可以是反射的(例如，它们可包括可动的镜子)和/或透射的(例如，它们可包括透镜、玻璃板等)。优选地，每一可动光束控制元件可在第一自由度上运动；例如，每一可动光束控制元件可在致动器的驱动下在第一自由度上运动。所述至少一个可动光学元件的所述第一运动自由度可以是沿着一线性轴线的平动，或者是绕一轴线的转动。应指出的是，如果设置有多于一个的可动光束控制元件，则不同可动光束控制元件的所述第一运动自由度可以是不同的。有利的是，所述一个或多个可动光束控制元件在所述第一自由度上的运动改变光束入射到所述光谱调节元件上的入射角。所述一个或多个可动光束控制元件在所述第一自由度上的运动还改变激光腔的有效路径长度；这可通过增加光束路径的物理长度和/或通过沿光束路径改变折射率(例如，通过改变光束入射到诸如玻璃板的光学元件上的入射角)而实现。
[0014]有利的是，所述一个或多个可动光束控制元件包括可在第一自由度上运动的第一可动光束控制元件。优选地，仅仅所述第一可动光束控制元件的运动即可同时改变有效光学路径长度和调节频率。在这一实施例中，所述第一可动光束控制元件可以是激光装置中的唯一运动部件或可动光学元件。如以下将要描述的那样，所述第一可动光束控制元件可以是可线性平动的镜子或可沿光束转动的透射(例如，玻璃)板。
[0015]优选地，激光装置的所述一个或多个其他光学元件包括至少一个透镜。如果设有第一可动光束控制元件，所述第一可动光束控制元件有利地位于所述至少一个透镜的焦点深度内(例如，位于焦点处或位于焦点附近)。有利的是，所述激光装置的所述一个或多个其他光学元件包括一对透镜。于是所述光束控制元件可位于所述对透镜之间，优选位于每一透镜的焦点深度内(例如，大致位于焦点处，或位于焦点附近)。将光束聚焦到光束控制元件上，而不是将校准光束引导至光束控制元件上，优点在于可进一步降低所述光束控制元件在与所述第一自由度不同的自由度上的不受控运动的影响。
[0016]所述一个或多个可动光束控制元件可为反射式光束控制元件。有利的是，所述一个或多个可动光束控制元件中的每一个包括可动镜子。有利的是，光束以斜角(即，从与镜子的表面法线不平行的方向)入射到所述一个或多个可动光束控制元件中的每一个的可动镜子上。例如，可以与镜子的表面法线呈45度的角将光线引导到每个可动镜子上，这样入射和反射光束大致相互垂直。可选择光线到这一可动镜子上的入射角，以使有效光路径长度和调节频率能进行所需的同时变化，从而无需跳模即可实现频率调节。
[0017]如果设置了反射式可动光束控制元件，则所述可动镜子的第一运动自由度优选包括所述可动镜子沿着线性轴线的平动。优选地，所述可动镜子运动所沿的线性轴线平行于所述镜子的表面法线。例如，可通过包括柔性和/或压电元件的致动器来提供这样的线性运动。可选地，镜子可绕与镜子的表面法线不重合的轴线转动，这使得镜子在转动期间有效地线性平动。[0018]可设置透射式可动光束控制元件。所述透射式可动光束控制元件可包括折射率与空气不同的板或透镜。例如，可设置玻璃板或透镜。优选地，每个透射元件的第一运动自由度为绕一转动轴线的转动，该转动轴线有一个基本位于表面所在平面内的分量。可选的是，例如透射式透镜的线性平动可以是所述第一自由度。
[0019]光谱调节元件可包括衍射式光学元件，例如衍射光栅。所述光谱调节元件可包括标准具。所述光谱调节元件也可既包括衍射光栅也包括标准具。除所述光谱调节元件之外的一个或多个光学元件可以是可动的。有利的是，所述光谱调节元件是基本静止的；例如，其相对于装置壳体或外壳的位置是基本不变的。优选的是，所述一个或多个其他光学元件可包括一个或多个透镜，用于校准入射到所述光谱调节元件上的光束。所述激光装置的所述一个或多个其他光学元件可包括光学滤光器，例如波长选择涂层或滤光器。如果设置标准具作为光谱调节元件，则也可包括起到可变波长选择滤光器的衍射元件，这在下面将详细加以描述。
[0020]根据本发明的第二方面，提供一种频率可控的激光装置，其包括:用于产生光束的激光源；光谱调节元件；可动光束控制元件，其用于改变入射到所述光谱调节元件上的光束的入射角；以及至少一个透镜；所述激光装置的特征在于，所述可动光束控制元件位于所述至少一个透镜的焦点深度内(例如，大致位于其焦点处)。所述至少一个透镜可以是透射式或反射式。优选地，所述可动光束控制元件的运动同时改变激光腔的有效光学路径长度和所述光谱调节元件的调节频率，从而无需跳模即可提供频率调节。
[0021]优选地，所述可动光束控制元件包括可沿着线性轴线平动的镜子。可选地，所述可动光束控制元件包括(例如，倾斜的)透射元件。便利的是，(例如通过至少一个透镜)校准入射到所述光谱调节元件上的光束。所述光谱调节元件优选包括标准具和/或衍射光学元件。
[0022]根据本发明的第三方面，提供一种频率可调的激光装置，其包括:标准具；以及激光二极管，该激光二极管用于产生入射到所述标准具上的光束；其中，所述标准具基本静止地保持在所述激光装置中，且入射到所述标准具上的所述光束的入射角是可改变的，其中，在改变入射至所述标准具上的所述光束的所述入射角时，所述激光装置的所述腔长度以及所述标准具的所述通过频率都发生变化，从而大致抑制了所述激光装置的跳模。
[0023]有利的是，所述装置包括一个或多个附加光学元件，以控制所述光束入射到所述标准具的入射角以及所述腔的光学路径长度。
[0024]这里因而描述了一种频率可调的激光装置，其包括标准具和用于产生入射到所述标准具上的光束的激光二极管，其中，所述光束入射到所述标准具上的入射角是可改变的。优选地，改变所述光束入射到所述标准具上的入射角也改变了所述激光装置的腔长度。便利的是，在改变所述光束入射到所述标准具的入射角的同时，也改变了所述激光装置的腔长度和所述标准具的通过频率，从而大致抑制了所述激光装置的跳模。
[0025]优选地,所述标准具基本静止地保持在所述激光装置内。例如,所述标准具相对于所述频率可调激光装置的壳体是固定的或静止的。所述激光二极管可以是静止的，或者可使其移动以改变入射到所述标准具上的光束的入射角。
[0026]有利的是，所述装置包括一个或多个附加光学元件，以控制所述光束入射到所述标准具上的入射角以及/或者所述腔的光学路径长度。所述一个或多个附加光学元件可包括一个或多个可动的透射元件(例如棱镜或楔形镜)以控制光束。有利的是，所述装置包括用于控制光束的可动镜子。例如，可设置可线性平动的镜子来改变光束入射到所述标准具上的入射角。有利的是，可设置一对(例如平行的)可动镜子(例如，安装到可动壳体上)。
[0027]有利的是，在操作所述装置的过程中，入射到所述标准具上的光束的入射角连续改变，从而提供所需的线性调频输出。例如，所述一个或多个附加光学元件可快速转动或震荡，从而提供线性调频输出。
[0028]这里也描述了一种具有楔形(不平行)内表面的标准具。有利的是，这样的标准具可设置在如这里描述的频率可调激光装置的控频激光器的腔体内。优选的是，所述标准具的内表面至少部分是镜面的。在这一实施例中，所述标准具可相对于入射到其上的光束运动。优选地，所述标准具的这一相对运动是线性的(例如，沿着线性轴线平动)。有利的是，所述标准具的相对运动有一分量沿着与光束传播轴线相垂直的方向。有利的是，所述标准具可相对于静止光束运动，反之亦然。根据需要，所述标准具可包括至少一个或多个光学元件或基底。
[0029]优选地，所述标准具的光学元件具有一定构形(例如为楔形)。优选地，选择所述光学元件的形状，以使得在所述标准具相对于所述入射光束运动时，所述激光器腔的路径长度发生变化。便利的是，所述光学元件的形状选择成能实现双程光学路径长度，从而无需跳模即可提供激光波长(频率)调节。
[0030]这里也描述了一种频率可调的激光装置，其包括频率选择元件和用于产生光束的激光二极管，其中，光束经由至少一个可动反射元件从激光二极管传到所述频率选择元件。有利的是，所述至少一个可动反射元件包括镜子。便利的是，所述镜子可沿着一线性轴线平动。优选地，所述镜子位于设置在光学路径上的一对透镜的焦距范围内。在这一结构中，无需现有技术所要求的那样对枢转运动进行精确控制。优选地，所述至少一个可动反射元件的运动改变光线入射到所述频率选择元件上的入射角。所述频率选择元件可包括标准具(例如，如上所述的标准具)、(透射式或反射式)光栅、多层涂层、或者任何其他的波长选择元件。
[0031]这里也描述了这样一种具有激光腔的频率可控激光装置，其包括频率选择元件、激光二极管、以及至少一个可动反射元件，其中，所述至少一个可动反射装置可沿线性轴线平动。有利的是，所述至少一个可动反射装置的平动改变所述频率选择元件的通过频率和所述腔长度。
[0032]应指出的是，在上述装置内设置有标准具的情况下，优选的是也设置标准具模式选择滤光器。这一标准具模式选择滤光器优选具有等于或小于标准具光谱范围的通过带宽。这有利于激光器的单模式操作，但这不是必须的。
【专利附图】
【附图说明】
[0033]下面将参照附图仅以示例的方式描述本发明，附图中:
[0034]图1示出了根据现有技术的Littrow方式构造的激光器，
[0035]图2示出了本发明的线性调频激光器，其包括标准具和可线性平动的镜子，
[0036]图3示出了作为图2所示装置的替换例的线性调频激光器，其包括衍射光栅，
[0037]图4示出了镜子如何能通过离轴转动而有效地线性平动，[0038]图5不出了用来使镜子运动的平衡振荡机构，
[0039]图6示出了另一种线性调频激光器，其包括标准具和可动的玻璃板，
[0040]图7示出了折叠光束路径激光装置，其结合有可绕一轴线转动的镜子，
[0041]图8示出了具有另一种折叠光束构造的激光装置，
[0042]图9示出了具有可线性平动透镜的线性调频激光器，
[0043]图10示出了具有标准具和衍射光栅的线性调频激光装置，
[0044]图11示出了另一种具有静止标准具的激光器设置，
[0045]图12示出了另一种线性调频激光器，其包括静止衍射光栅或标准具以及可倾斜的玻璃棱镜，
[0046]图13示出了具有静止标准具和一对可倾斜玻璃棱镜的线性调频激光器，
[0047]图14示出了具有静止标准具和一对玻璃棱镜的线性调频激光器，所述一对玻璃棱镜可绕与光轴不重合的轴线转动，
[0048]图15示出了另一种线性调频激光装置，其包括静止标准具和一对由外壳承载的镜子，
[0049]图16示出了另一种线性调频激光器，其包括一对铰接的镜子和一静止的标准具，
[0050]图17示出了另一种线性调频激光器，其包括位于一对由调节叉振荡结构承载的可移动棱镜之间的静止标准具，
[0051]图18示出了图17所示装置的变型例，其包括与静止的标准具相结合的衍射光栅，
[0052]图19示出了卷筒装置，其具有一对控制通过静止标准具的光路的一对反射表面，
[0053]图20示出了具有可转动的楔形标准具的线性调频激光器，而且
[0054]图21示出了具有可线性移动的楔形标准具的线性调频激光器。
【具体实施方式】
[0055]参见图1，其示出了现有技术的线性调频激光装置，该线性调频激光装置实施的是所谓Littrow方案，以提供外激光器腔。来自激光器二极管2的光被透镜6校准到衍射光栅4上。衍射光栅起到了波长选择元件的作用。绕限定的枢转点8枢转衍射光栅4使得可同时改变通过频率和腔长度，从而无需跳模即可改变激光器装置的输出频率。前后枢转衍射光栅从而可对从腔输出的光线的频率进行线性调频。
[0056]利用现有技术的Littrow方式实施的线性调频激光装置具有一些缺点。例如，必须精确地控制衍射光栅4绕枢转点8的枢转运动。具体而言，衍射光栅必须在附图所在平面内绕枢转点8前后枢转，而不能有任何倾斜运动或平动运动。任何这样的倾斜或平动运动会由于激光器腔光路长度与衍射光栅的光谱调节性质不同步地变化而引入跳模效应。此外，衍射光栅运动所需要的半径较长，这限制了可实现频率变化的速率，从而限制了装置能进行线性调频的最大频率。
[0057]本发明人意识到无跳模外腔可调节激光器方案需要同时调节激光腔光路径长度和光谱调节元件。第m。个激光腔模式的波长λ为:
[0058]Λ= ——-—-(I)
mC
[0059]其中，η;。为通过激光腔的有效光学路径，mc为整数。[0060]如果光谱调节元件是Littrow结构中的衍射光栅，则沿着入射光束路径衍射回的第一阶的波长为:
[0061]λ = 2ngpgSin ( Θ g) (2)
[0062]其中，ng为光栅前介质的折射率，Pg为光栅周期，Θ g为激光光线在光栅处的入射角。
[0063]如果光谱调节元件为标准具而非衍射光栅，则第个标准具模式的波长为
【权利要求】
1.一种频率可调的激光装置，其包括: 标准具；以及 激光源，用于产生入射到所述标准具上的光束； 其中，所述标准具基本静止地保持在所述激光装置中，并且入射到所述标准具上的所述光束的入射角是可改变的，其中，在改变入射至所述标准具上的所述光束的所述入射角时，所述激光装置的腔长度以及所述标准具的通过频率都发生变化，从而提供其中跳模被抑制的所述激光装置的频率调节。
2.根据权利要求1所述的激光装置，包括用于对所述光束入射到所述标准具的入射角以及所述腔的有效光学路径长度进行控制的至少一个另外的光学部件。
3.根据权利要求2所述的激光装置，其中，所述至少一个另外的光学部件包括至少一个分别可在第一自由度上运动的可动光束控制元件，其中，所述至少一个可动光束控制元件在所述第一自由度上的运动改变光束入射到所述标准具上的入射角。
4.根据权利要求3所述的激光装置，其中，所述至少一个可动光束控制元件包括可在所述第一自由度上运动的第一可动光束控制元件，其中仅仅所述第一可动光束控制元件的运动即可同时所述改变有效光学路径长度和调节频率。
5.根据权利要求4所述的激光装置，其中，所述至少一个另外的光学部件包括至少一个透镜，其中所述第一可动光束控制元件位于所述至少一个透镜的焦点深度内。
6.根据权利要求4所 述的激光装置，其中，所述第一可动光束控制元件包括可动镜子，其中光束以斜角入射到所述可动镜子上。
7.根据权利要求4所述的激光装置，其中，所述第一可动光束控制元件包括诸如玻璃板或透镜的透射元件。
8.根据权利要求3所述的激光装置，其中，所述至少一个光束控制元件的所述第一运动自由度是沿着线性轴线平移。
9.根据权利要求3所述的激光装置，其中，所述至少一个光束控制元件的所述第一运动自由度是绕轴线的旋转。
10.根据权利要求3所述的激光装置，其中，所述至少一个可动光束控制元件包括均能够在第一自由度上运动的第一和第二可动光束控制元件。
11.根据权利要求10所述的激光装置，其中，所述第一和第二可动光束控制元件由可在第一自由度上运动的可动部件承载。
12.根据权利要求10所述的激光装置，其中，所述标准具在所述第一和第二可动光束控制元件之间位于所述激光装置的光学路径中。
13.根据权利要求10所述的激光装置，其中，所述第一和第二可动光束控制元件分别是第一和第二可动镜子。
14.根据权利要求13所述的激光装置，其中，所述第一和第二可动镜子具有相对于彼此的固定位置并具有向内反射表面。
15.根据权利要求14所述的激光装置，其中，所述向内反射表面大致平行。
16.根据权利要求1所述的激光装置，包括用于控制光束入射到所述标准具上的入射角以及所述腔的有效光学路径长度的第一和第二可动镜子，所述第一和第二可动镜子由可围绕一轴线旋转的可动部件承载，所述第一和第二可动镜子具有相对于彼此的固定位置以及具有大致平行的向内反射表面，所述标准具在第一和第二可动镜子之间位于所述激光装置的光学路径中，并且所述可动部件围绕所述轴线的旋转改变所述光束入射到所述标准具上的入射角。
17.根据权利要求1所述的激光装置，包括用于控制光束入射到所述标准具上的入射角以及所述腔的有效光学路径长度的第一和第二可动镜子，所述第一和第二可动镜子均可通过可动部件围绕一轴线旋转，所述第一和第二可动镜子具有大致平行的向内反射表面，所述标准具在第一和第二可动镜子之间位于所述激光装置的光学路径中，并且所述可动部件的运动改变所述光束入射到所述标准具上的入射角。
18.根 据权利要求1所述的激光装置，其中，所述激光源包括激光二极管。
【文档编号】H01S5/10GK103762499SQ201310692881
【公开日】2014年4月30日 申请日期:2009年12月16日 优先权日:2008年12月18日
【发明者】戴维·罗伯茨·麦克默特里, 艾伦·詹姆斯·霍洛韦 申请人:瑞尼斯豪公司