专利名称：一种ebr挡板的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种EBR挡板，用以EBR工艺中的清洗溶剂防溅防滴。
背景技术：
边缘光刻胶的去除(Edge Bead Removal，全文简称EBR)，指涂布光刻胶工艺在匀胶后晶圆边缘的正反两面都会有光刻胶的堆积，如果采用的是接触式曝光，那么掩模板和晶片之间就会有间隙，造成曝光出现虚影，因此要去除掉晶圆边缘的光刻胶。边缘的光刻胶一般涂布不均匀，不能得到很好的图形，且容易发生剥离(Peeling)而影响其它部分的图形。EBR方法主要有以下两种:a、化学方法(Chemical EBR)，软烘后，用丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)或乙酸-2-甲氧基乙酯(EGMEA)去边溶剂，喷出少量在正反面边缘处，并小心控制不要到达光刻胶有效区域；b、光学方法(Optical EBR)，即晶片边缘曝光(Wafer EdgeExposure,简称WEE),在完成图形的曝光后，用激光曝光晶片边缘，然后在显影或特殊溶剂中溶解。EBR工艺采用有机溶剂冲洗掉晶圆边缘的光刻胶，有机溶剂从管路中喷到晶圆上会有液滴溅起，影响晶圆内的有效管芯，以至影响制品的良率。为避免这种现象，通常在有机溶剂喷管出口处，加一块塑料挡板，避免液滴溅到晶圆内。但有机溶剂会粘附在塑料挡板上不断累积，达到一定量便会滴下，影响晶圆内管芯。发生这种状况，就需要设备维修人员加强维护，避免有效溶剂的过量累积，增加了劳动者强度。由于需要增加设备维护，机器的有效使用时间减少，使得效益也相应的下降。因此，针对上述技术问题，有必要提供一种具有改良结构的EBR挡板，以克服上述缺陷。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种新型的EBR挡板，对传统的EBR挡板结构进行改良，不仅可以对EBR清洗溶剂进行防溅，还可以防止清洗溶剂沿挡板的滴落。现有的EBR挡板仅包括一块塑料板体，可以避免有机溶剂液滴溅到晶圆内。但有机溶剂会粘附在塑料挡板上不断累积，达到一定量便会滴下，影响晶圆内管芯。导流槽在很多设备中被应用，并取得了不错的引导液体流向的效果，考虑将导流槽借鉴到现有的EBR挡板上，通过合理的设计和组合，将有机溶剂液滴收集并导流出去，便不会有滴落现象发生。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:一种EBR挡板，包括一板体和设于所述板体同一侧面的至少一条导流槽。优选的，所述板体侧面底部设有一条导流槽。 所述的导流槽横截面为U字型或V字形。[0012]所述的导流槽横截面为U字型，更有利于有机溶剂液滴汇聚后的流动。所述的导流槽纵切面为“一”字型或“人”字型。所述的导流槽纵切面为“人”字型。中部段高，两边端低的“人”字型结构，更方便有机溶剂液滴依靠自身的重力沿导流槽下落，不至于会有部分有机溶剂液滴长期停留在导流槽内。进一步的，所述EBR挡板由氟塑料制成，可以防止清洗用有机溶剂对挡板的腐蚀。特别的，还可以在所述板体设有导流槽的一面设置吸附材料，进一步提高EBR挡板的防溅效果。本实用新型还提供了一种EBR清洗装置，包括溶剂喷嘴、支架和所述的EBR挡板，所述EBR挡板倾斜安装在支架上。特别的，所述EBR挡板倾斜30度安装在支架上。从上述技术方案可以看出，本实用新型的EBR挡板，通过增加导流槽，将设有导流槽的EBR挡板侧面置于清洗溶剂喷嘴侧，便于回溅的有机溶剂向晶圆外流，杜绝了有机溶剂对圆晶的污染，省却了设备维护，保证了生产效率。
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的有关本实用新型的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本实用新型的EBR挡板的结构示意图；图2是本实用新型的EBR挡板的导流槽纵切面为“人”字型的剖面图；图3是安装有本实用新型的EBR挡板的EBR清洗装置结构示意图。
具体实施方式
本实用新型公开了一种EBR挡板，包括一板体和设于所述板体同一侧面的至少一条导流槽。优选的，所述板体侧面底部设有一条导流槽。所述的导流槽横截面为U字型或V字形。所述的导流槽纵切面为“一”字型或“人”字型。进一步的，所述EBR挡板由氟塑料制成。特别的，还可以在所述板体设有导流槽的一面设置吸附材料。本实用新型还提供了一种EBR清洗装置，包括溶剂喷嘴、支架和所述的EBR挡板，所述EBR挡板倾斜安装在支架上。 特别的，所述EBR挡板倾斜30度安装在支架上。下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。[0033]如图1所示，本实用新型提供的一种EBR挡板，包括一块板体I和设于所述板体I同一侧面的三条导流槽2。三条导流槽2均呈“一”字型，并水平的平行排列分布。板体I和设于其上的三条导流槽2均采用杜邦公司的特氟龙(Teflon)材料制成，由于氟塑料材料具有优异的化学性能，尤其是耐腐蚀性能，对EBR工艺中所用的去边清洗溶剂丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)或乙酸-2-甲氧基乙酯(EGMEA)具有极佳的稳定性。图1以设有三条“一”字型导流槽为例，导流槽的数量不限于三条，只要在塑料板体的一边的底部设有一条导流槽，便可以实现将回溅的有机溶剂收集并引导向晶圆外流的基本功能和效果，根据回溅的有机溶剂实际情况，为保证效果，也可以设置多条导流槽。导流槽2横截面通常为U字型或V字形，横截面为U字型，更有利于有机溶剂液滴汇聚后的流动。如图2所示，本实用新型提供的另一种EBR挡板，包括一板体I和设于所述板体I同一侧面的三条导流槽2。三条导流槽2均呈“人”字型。中部段高，两边端低的“人”字型结构，更方便有机溶剂液滴依靠自身的重力沿导流槽下落，不至于会有部分有机溶剂液滴长期停留在导流槽内。是对图1所示的EBR挡板的进一步优化。特别的，还可以在所述的板体导流槽侧设置吸附材料，进一步提高EBR挡板的防溅效果。本实用新型的EBR挡板，板体和导流槽可以一体成型，也可以先制得板体，通过外设的方式固定导流槽到板体的同一侧面。一体成型的EBR挡板在使用时整体更换，外设方式的EBR挡板可以根据需要在EBR工艺中增加或减少导流槽的数量。如图3所示，本实用新型的EBR清洗装置，包括溶剂喷嘴01、支架02和所述的EBR挡板03，所述的EBR挡板03倾斜安装在支架上，在使用过程中，EBR挡板03边缘向外倾斜的安装在支架02上，更有利于将回溅的有机溶剂收集并引导向晶圆外流，倾斜的角度根据机台和待清洗的圆晶的尺寸等情况综合考虑决定，根据经验通常在倾斜30度左右效果最佳。使用过程中，导流槽两端也可以外接导流管，将回溅的有机溶剂收集并引导到收集装置中，收集装置可以是收集盘或收集瓶等，也方便了有机溶剂的回收利用，减少了有机溶剂的挥发及其对操作人员的危害。综上所述，本实用新型的EBR挡板，通过增加导流槽，将设有导流槽的EBR挡板侧面置于清洗溶剂喷嘴侧，便于回溅的有机溶剂向晶圆外流，杜绝了有机溶剂对圆晶的污染，省却了设备维护，保证了生产效率。对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
权利要求1.一种EBR挡板，其特征在于:包括一板体(I)和设于所述板体(I)同一侧面的至少一条导流槽(2)。
2.根据权利要求1所述的EBR挡板，其特征在于:所述的板体(I)侧面底部设有一条导流槽(2)。
3.根据权利要求1所述的EBR挡板，其特征在于:所述的导流槽(2)横截面为U字型或V字形。
4.根据权利要求1所述的EBR挡板，其特征在于:所述的导流槽(2)纵切面为“一”字型或“人”字型。
5.根据权利要求1所述的EBR挡板，其特征在于:所述的EBR挡板由氟塑料制成。
6.根据权利要求1所述的EBR挡板，其特征在于:在所述的板体(I)设有导流槽(2)的一面设有吸附材料。
7.一种EBR清洗装置，包括溶剂喷嘴(01 )、支架(02)和权利要求1飞任一项所述的EBR挡板(03 )，所述的EBR挡板(03 )倾斜安装在支架(02 )上。
8.根据权利要求7所述的EBR清洗装置，其特征在于:所述的EBR挡板(03)倾斜30度安装在支架(02)上。
专利摘要本实用新型公开了一种EBR挡板，包括一板体和设于所述板体同一侧面的至少一条导流槽，不仅可以对EBR清洗溶剂进行防溅，还可以防止清洗溶剂沿挡板的滴落。本实用新型的EBR挡板，通过增加导流槽，将设有导流槽的EBR挡板侧面置于清洗溶剂喷嘴侧，便于回溅的有机溶剂向晶圆外流，杜绝了有机溶剂对圆晶的污染，省却了设备维护，保证了生产效率。
文档编号H01L21/67GK203037997SQ20132001786
公开日2013年7月3日 申请日期2013年1月14日 优先权日2013年1月14日
发明者李玉华 申请人:无锡华润上华科技有限公司