晶圆平坦区排列装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种晶圆平坦区排列装置，属于晶圆生产设备【技术领域】；在原有结构的基础上，增加了调整螺栓（4）、螺丝轴（5）、调整底座（6）、发光体和控制开关（8）；其中，调整底座（6）右端与主机底座（3）右端铰接，左端通过螺丝轴（5）与主机底座（3）左端连接；螺丝轴（5）下端通过紧固件与调整底座（6）连接，螺丝轴（5）上开有长条形圆孔，长条形圆孔中设置有调整螺栓（4），通过调整螺栓（4）与主机底座（3）连接；发光体设置在旋转轴（10）中，控制开关（8）设置在旋转开关（7）上，通过电线与发光体连接。本实用新型对晶圆进行排列的过程中同时实现晶圆装载作业，减少作业的时间，提高作业的精确度。
【专利说明】晶圆平坦区排列装置【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种排列装置，具体是一种晶圆平坦区排列装置，属于晶圆生产设备【技术领域】。
【背景技术】
[0002]晶圆平坦区排列装置是一种利用晶圆圆周中弧度被切断的平坦区将晶圆按照一致方向进行排列的装置。
[0003]晶圆平坦区排列装置由可承载多片晶圆的运送装置及和运送装置结合的主机构成，主机内装有和多片晶圆圆周弧度接触的转动轴。转动轴从外界接受驱动力并进行旋转，晶圆的圆弧部位和转动轴接触的状态下不断旋转，当平坦区达到特定位置后晶圆停止转动并进行排列，最终实现多片晶圆在运送装置内部平坦区按照同一方向进行排列。但现有的排列设备中，晶圆的排列作业和装载作业在不同空间分开进行，排列完成后还需要转换地方进行可作业位置的调整，延长了作业的时间的同时，在位置转移的过程中降低了作业的精确度。
【发明内容】
[0004]针对上述问题，本实用新型提供一种晶圆平坦区排列装置，对晶圆进行排列的过程中同时实现晶圆装载作业，减少作业的时间，提高作业的精确度。
[0005]为实现上述目的，本实用新型包括主机和主机底座，主机通过紧固螺栓安装主机底座上，主机包括机箱、旋转轴和旋转开关，旋转轴设置在机箱内，旋转开关设置在机箱外侦U，与旋转轴的一端连接；
[0006]在上述结构的基础上，还包括调整螺栓、螺丝轴、调整底座、发光体和控制开关；其中，调整底座右端与主机底`座右端铰接，左端通过螺丝轴与主机底座左端连接；螺丝轴下端通过紧固件与调整底座连接，螺丝轴上开有长条形圆孔，长条形圆孔中设置有调整螺栓，通过调整螺栓与主机底座连接。
[0007]进一步，还包括发光体和控制开关，发光体设置在旋转轴中，控制开关设置在旋转开关上，通过电线与发光体连接。
[0008]进一步，旋转轴设置一根以上，并排安装在机箱内。
[0009]进一步，发光体为LED灯。
[0010]工作原理:在结构上，将晶圆平坦区排列装置的主机安装在主机底座上并用紧固螺栓进行固定，同时，设置调整底座右端与主机底座右端铰接，左端通过螺丝轴与主机底座左端连接；在工作时，进行正常的晶圆平坦区排列作业的同时，通过控制开关打开发光体，对晶圆表面的进行检测，发现异常情况后随时进行调整，同时通过主机底座和调整底座间的螺丝轴进行转动，对调整螺栓进行调整，从而带动整个晶圆平坦区排列装置的主机的角度进行调整，实现及时装载晶圆。
[0011]有益效果:结合工作原理，并对比现有的晶圆平坦区排列装置，本实用新型在同一装置上实现对晶圆进行排列的过程中同时实现晶圆装载作业，减少了作业的时间，提高了作业的精确度。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型的结构示意图；
[0013]图2是主机的结构示意图。
[0014]图中:1、主机，2、紧固螺栓，3、主机底座，4、调整螺栓，5、螺丝轴，6、调整底座，7、旋转开关，8、控制开关，9、机箱，10、旋转轴。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本实用新型做进一步说明。
[0016]如图1，一种晶圆平坦区排列装置，包括主机I和主机底座3，主机I通过紧固螺栓2安装主机底座3上，主机I包括机箱9、旋转轴10和旋转开关7，旋转轴10设置在机箱9内，旋转开关7设置在机箱9外侧，与旋转轴10的一端连接；
[0017]在上述结构的基础上，还包括调整螺栓4、螺丝轴5、调整底座6、发光体和控制开关8 ;其中，调整底座6右端与主机底座3右端铰接，左端通过螺丝轴5与主机底座3左端连接；螺丝轴5下端通过紧固件与调整底座6连接，螺丝轴5上开有长条形圆孔，长条形圆孔中设置有调整螺栓4，通过调整螺栓4与主机底座3连接；如图2所示，发光体设置在旋转轴10中，控制开关8设置在旋转开关7上，通过电线与发光体连接。
[0018]作为本实用新型进一步的改进，旋转轴10设置一根以上，并排安装在机箱9内，提高工作效率。
`[0019]作为本实用新型进一步的改进，发光体为LED灯，提高检测时的亮度。
[0020]使用时，进行正常的晶圆平坦区排列作业的同时，通过控制开关8打开发光体，对晶圆表面的进行检测，发现异常情况后随时进行调整，同时通过主机底座3和调整底座6间的螺丝轴5进行转动，对调整螺栓4进行调整，从而带动整个晶圆平坦区排列装置的主机I的角度进行调整，实现及时装载晶圆。
[0021]并对比现有的晶圆平坦区排列装置，本实用新型在同一装置上实现对晶圆进行排列的过程中同时实现晶圆装载作业，减少了作业的时间，提高了作业的精确度，具有广泛的市场前景。
【权利要求】
1.一种晶圆平坦区排列装置，包括主机（I)和主机底座（3)，主机（I)通过紧固螺栓（2)安装主机底座（3 )上，主机（I)包括机箱（9 )、旋转轴（10 )和旋转开关（7 )，旋转轴（10 )设置在机箱（9)内，旋转开关（7)设置在机箱（9)外侧，与旋转轴（10)的一端连接； 其特征在于，还包括调整螺栓（4)、螺丝轴（5)、调整底座（6)、发光体和控制开关（8)；其中，调整底座（6)右端与主机底座（3)右端铰接，左端通过螺丝轴（5)与主机底座（3)左端连接；所述的螺丝轴（5)下端通过紧固件与调整底座（6)连接，螺丝轴（5)上开有长条形圆孔，长条形圆孔中设置有调整螺栓（4)，通过调整螺栓（4)与主机底座（3)连接；所述的发光体设置在旋转轴（10)中，所述的控制开关（8)设置在旋转开关（7)上，通过电线与发光体连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆平坦区排列装置，其特征在于，所述的旋转轴（10)设置一根以上，并排安装在机箱（9)内。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆平坦区排列装置，其特征在于，所述的发光体为LED灯。
【文档编号】H01L21/67GK203631510SQ201320866714
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2013年12月26日 优先权日:2013年12月26日
【发明者】高敏赫 申请人:徐州同鑫光电科技有限公司