一种微机械rf开关的制作方法
【专利摘要】一种微机械RF开关，其特征在于：包括电容、弹簧、绝缘块、触头、RF信号线，其中电容由活动极板和固定极板构成；所述弹簧一端与固定点连接，一端与活动极板连接，所述触头位于活动极板下方，触头与活动极板之间通过绝缘块隔离，所述固定极板位于活动极板与触头之间，所述触头下方设有RF信号线。本设计采用静电驱动的开关结构，利用电容的静电吸引力和金属弹簧的弹性力，实现开关的通断。具有快速、低功耗的优点，进一步提高开关速率。
【专利说明】一种微机械RF开关
【技术领域】
[0001]本设计涉及一种微机械RF开关，属于射频电子【技术领域】。
【背景技术】
[0002]微机械RF开关通常的驱动方法有静电驱动、压电驱动、电磁驱动及热驱动等。静电驱动利用带电体之间的静电力实现，是MEMS开关中最简单和最常
用的驱动方式，具有极低的功耗。静电驱动的接触式MEMS开关主要包括纵向和横向两种结构。纵向接触是指开关动作方向垂直于衬底平面，而横向接触是指开关动作方向平行于衬底平面。横向结构在于电容极板面积小，虽然阻尼减小，但不易获得大的驱动力，开关速度不高，需要进行设计优化。
【发明内容】
[0003]针对现有技术的不足，本设计的目的是提供一种微机械RF开关，本文采用静电驱动的横向开关结构，利用平板电容的静电吸引力和金属弹簧的弹性力，实现开关的通断。
[0004]为实现上述目的，本设计是通过以下技术手段来实现的:
一种微机械RF开关，其特征在于:包括电容、弹簧、绝缘块、触头、RF信号线，其中电容由活动极板和固定极板构成；所述弹簧一端与固定点连接，一端与活动极板连接，所述触头位于活动极板下方，触头与活动极板之间通过绝缘块隔离，所述固定极板位于活动极板与触头之间，所述触头下方设有RF信号线。
[0005]优选的，所述的一种微机械RF开关，其特征在于:在开所述弹簧在所述电容的静电力作用下，可产生拉长，使所述触头发生平动，触头与RF信号线接触，实现RF信号线的连通。
[0006]优选的，所述的一种微机械RF开关，其特征在于:所述弹簧可在弹簧恢复力的作用下，可产生收缩，使触头与RF信号线分离。
[0007]优选的，所述的一种微机械RF开关，其特征在于:所述电容、弹簧、触头、RF信号线金属部分为Au，所述绝缘块采用用SU8光刻胶。
[0008]本发明的有益效果是:本设计采用静电驱动的开关结构，利用电容的静电吸引力和金属弹簧的弹性力，实现开关的通断。具有快速、低功耗的优点，进一步提高开关速率。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本设计组成结构示意图。
[0010]附图标号的含义如下:1固定点，2弹簧,3绝缘块,4触头,5RF信号线,6-1固定极板，6-2活动极板。
【具体实施方式】
[0011]下面将结合说明书附图，对设计作进一步的说明。[0012]如图1所示，一种微机械RF开关，其特征在于:包括电容6、弹簧2、绝缘块3、触头
4、RF信号线5,其中电容由活动极板6-2和固定极板6-1构成；所述弹簧2 —端与固定点I连接，一端与活动极板6-2连接,所述触头4位于活动极板6-2下方,触头4与活动极板6-2之间通过绝缘块3隔离，所述固定极板6-1位于活动极板6-2与触头4之间，所述触头4下方设有RF信号线5。
[0013]在开关闭合时，在平板电容6的静电力作用下，可动结构发生横向平
动，触头4与RF信号线5接触，实现了 RF信号线5的连通；当开关断开时，在弹簧2恢复力的作用下，触头4与RF信号线5分离，实现了电流的关断。
[0014]优选的，所述的一种微机械RF开关，其特征在于:在开所述弹簧2在所述电容6的静电力作用下，可产生拉长，使所述触头4发生平动，触头4与RF信号线5接触，实现RF信号线5的连通。
[0015]优选的，所述的一种微机械RF开关，其特征在于:所述弹簧2可在弹簧恢复力的作用下，可产生收缩，使触头4与RF信号线5分离。
[0016]优选的，所述的一种微机械RF开关，其特征在于:所述电容6、弹簧2、触头4、RF信号线5金属部分为Au，所述绝缘块3采用用SU8光刻胶。
[0017]SU8光刻胶具有良好的机械强度和绝缘特性。
[0018]以上显示和描述了本设计的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，本设计不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本设计的原理，在不脱离本设计精神和范围的前提下，本设计还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本设计范围内。本设计要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【权利要求】
1.一种微机械RF开关,其特征在于:包括电容、弹簧、绝缘块、触头、RF信号线,其中电容由活动极板和固定极板构成；所述弹簧一端与固定点连接，一端与活动极板连接，所述触头位于活动极板下方，触头与活动极板之间通过绝缘块隔离，所述固定极板位于活动极板与触头之间，所述触头下方设有RF信号线。
2.如权利要求1所述的一种微机械RF开关，其特征在于:在开所述弹簧在所述电容的静电力作用下，可产生拉长，使所述触头发生平动，触头与RF信号线接触，实现RF信号线的连通。
3.如权利要求1所述的一种微机械RF开关，其特征在于:所述弹簧可在弹簧恢复力的作用下，可产生收缩，使触头与RF信号线分离。
4.如权利要求1所述的一种微机械RF开关，其特征在于:所述电容、弹簧、触头、RF信号线金属部分为Au，所述绝缘块采用用SU8光刻胶。
【文档编号】H01H59/00GK103956299SQ201410124757
【公开日】2014年7月30日 申请日期:2014年3月31日 优先权日:2014年3月31日
【发明者】杨俊民 申请人:苏州锟恩电子科技有限公司