一种晶圆定位起托器的制造方法
【专利摘要】晶圆定位起托器，包括盒体，还包括刻度盘、绕轴、锲型块和绳索，刻度盘与绕轴连接在一起，同轴转动，绳索一端锁定在绕轴上，另一端连接在锲形块上，所述的锲形块、绳索安放在盒体中，刻度盘放置在盒体外，绕轴垂直穿过盒体侧壁。根据经验值在刻度盘上标注编号，通过刻度盘转动来托起晶圆。
【专利说明】一种晶圆定位起托器
所属【技术领域】
[0001]本发明涉及晶圆转送过程中使用的辅助装置，具体地说，涉及一种晶圆定位起托器。【背景技术】
在晶圆生产制造过程中，操作工根据检测需要，从晶舟盒中抽取指定的晶圆用于检测。晶舟盒上标注有编号，操作工根据指令抽取在指定的编号处从晶舟盒中抽取晶圆。编号通常印刷在晶舟盒的侧面，由于晶圆的厚度很薄，摆放在晶舟盒中，编号通常很密集，较难辨识。人工抽取过程中，容易抽取到错误编号位置的晶圆，造成生产事故。因此需要设计一种方便易识别的晶圆定位起托器，可以减少错误。
【发明内容】
[0002]本发明的目的在于提供一种晶圆定位起托器，定位指定编号的晶圆并托起。
[0003]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:晶圆定位起托器，包括盒体，还包括刻度盘、绕轴、锲型块和绳索，刻度盘与绕轴连接在一起，同轴转动，绳索一端锁定在绕轴上，另一端连接在锲形块上，所述的锲形块、绳索安放在盒体中，刻度盘放置在盒体外，绕轴垂直穿过盒体侧壁。刻度盘的直径与盒体高度相等。绕轴与刻度盘通过铆钉连接。
[0004]本发明的有益效果是，根据经验值在刻度盘上标注编号，通过刻度盘转动来托起晶圆。
【专利附图】
【附图说明】
[0005]下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
[0006]图1是晶圆定位起托器的结构示意图。
[0007]图中1.盒体，2.刻度盘，3.绕轴，4.绳索，5.锲形块。
【具体实施方式】
[0008]晶圆定位起托器，包括盒体1，还包括刻度盘2、绕轴3、锲型块5和绳索4，刻度盘2与绕轴3连接在一起，同轴转动，绳索4 一端锁定在绕轴3上，另一端连接在锲形块5上，所述的锲形块5、绳索4安放在盒体中，刻度盘2放置在盒体I外，绕轴3垂直穿过盒体I侧壁。刻度盘2的直径与盒体I高度相等。绕轴3与刻度盘2通过铆钉连接。绳索4可以是钢丝绳。
[0009]根据经验值在刻度盘上标注编号，通过刻度盘转动来托起晶圆。
【权利要求】
1.晶圆定位起托器，包括盒体，其特征是:还包括刻度盘、绕轴、锲型块和绳索，刻度盘与绕轴连接在一起，同轴转动，绳索一端锁定在绕轴上，另一端连接在锲形块上，所述的锲形块、绳索安放在盒体中，刻度盘放置在盒体外，绕轴垂直穿过盒体侧壁。
2.根据权利要求1所述的晶圆定位起托器，其特征是:所述刻度盘的直径与盒体高度相等。
3.根据权利要求1所述的晶圆定位起托器，其特征是:绕轴与刻度盘通过铆钉连接。
4.根据权利要求1所述的晶圆定位起托器，其特征是:绳索为钢丝绳。
【文档编号】H01L21/687GK103943542SQ201410184334
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2014年5月5日 优先权日:2014年5月5日
【发明者】房勇 申请人:房勇