一种用于放置硅片的环形花篮的制作方法
【专利摘要】本发明提供了一种硅片清洗装置，旨在解决现有的方形花篮存在较多的死角，造成清洗硅片不干净的问题，包括内圆管和外圆管，所述内圆管的外侧壁上设有外卡槽，所述外圆管的内侧壁上设有内卡槽，所述内圆管底部和外圆管的底部之间固连有杆；所述内圆管上开设有内通槽，每个外卡槽顶部均与内圆管的上端相通，每个外卡槽的底部均不与内圆管底端相通；所述外圆管上开设有通槽，每个内卡槽顶部均与外圆管的上端相通，每个内卡槽的底部均不与外圆管的底端相通。本发明中的花篮为环形，不存在死角，便于冲洗清干净，提高了清洗时的工作效率，也有利于后序通过旋转甩出硅片上的部分水分，便于干燥。
【专利说明】—种用于放置硅片的环形花篮
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种用于放置硅片的环形花篮。
【背景技术】
[0002]目前用于放置硅片的花篮为方形，在清洗硅片时，由于方形的花篮存在很多死角，很难清洗干净，而且工作效率低；由于花篮为方形，在后续的干燥时，不能通过旋转的形式将硅片上的水分甩出。
【发明内容】
[0003]本发明提供了一种硅片清洗装置，旨在解决现有的方形花篮存在较多的死角，造成清洗硅片不干净的问题。
[0004]为了解决以上技术问题，本发明通过以下技术方案实现:一种用于放置硅片的环形花篮，包括同轴的内圆管和外圆管，所述内圆管的外侧壁上设有外卡槽，所述外圆管的内侧壁上设有与外卡槽一一对应且与外卡槽配合放置硅片的内卡槽，所述内圆管底部和外圆管的底部之间固连有杆；所述内圆管上开设有用于连通外卡槽与内圆管内部且与外卡槽
--对应的内通槽,每个外卡槽顶部均与内圆管的上端相通,每个外卡槽的底部均不与内圆管底端相通；所述外圆管上开设有用于连通内卡槽与外圆管外部且与内卡槽一一对应的外通槽，每个内卡槽顶部均与外圆管的上端相通，每个内卡槽的底部均不与外圆管的底端相通。
[0005]进一步，所述杆有三个且均布在内圆管和外圆管之间；多于三个时，浪费材料；少于三个时，内圆管和外圆管连接时的牢固性较差。
[0006]与现有技术相比本发明的优点是:本发明中的花篮为环形，不存在死角，便于冲洗清干净，提高了清洗时的工作效率，也有利于后序通过旋转甩出硅片上的部分水分，便于干燥。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]下面结合附图对本发明作进一步说明:
[0008]图1为本发明的结构示意图；
[0009]图2为本发明的俯视图。
【具体实施方式】
[0010]参阅图1和图2, —种用于放置娃片的环形花篮,包括同轴的内圆管I和外圆管2,所述内圆管I的外侧壁上设有外卡槽11，所述外圆管2的内侧壁上设有与外卡槽11 一一对应且与外卡槽11配合放置硅片的内卡槽21，所述内圆管I底部和外圆管2的底部之间固连有杆3 ;所述内圆管I上开设有用于连通外卡槽11与内圆管I内部且与外卡槽11 一一对应的内通槽12，每个外卡槽11顶部均与内圆管I的上端相通，每个外卡槽11的底部均不与内圆管I底端相通；所述外圆管2上开设有用于连通内卡槽21与外圆管2外部且与内卡槽
21--对应的外通槽22，每个内卡槽21顶部均与外圆管2的上端相通，每个内卡槽21的底部均不与外圆管2的底端相通；所述杆3有三个且均布在内圆管I和外圆管2之间。
[0011]放置硅片时，每组--对应的外卡槽11和内卡槽21之间均放置一个硅片。
[0012]本发明中的花篮为环形，不存在死角，便于冲洗清干净，提高了清洗时的工作效率，也有利于后序通过旋转甩出硅片上的部分水分，便于干燥。
[0013]以上所述仅为本发明的具体实施例，但本发明的技术特征并不局限于此，任何本领域的技术人员在本发明的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本发明的专利范围之中。
【权利要求】
1.一种用于放置硅片的环形花篮，其特征是:包括同轴的内圆管(I)和外圆管(2)，所述内圆管(I)的外侧壁上设有外卡槽(11)，所述外圆管(2)的内侧壁上设有与外卡槽(11)一一对应且与外卡槽(11)配合放置硅片的内卡槽(21)，所述内圆管(I)底部和外圆管(2)的底部之间固连有杆⑶；所述内圆管⑴上开设有用于连通外卡槽(11)与内圆管⑴内部且与外卡槽(11) 一一对应的内通槽(12)，每个外卡槽(11)顶部均与内圆管(I)的上端相通，每个外卡槽(11)的底部均不与内圆管(I)底端相通；所述外圆管(2)上开设有用于连通内卡槽(21)与外圆管(2)外部且与内卡槽(21) —一对应的外通槽(22)，每个内卡槽(21)顶部均与外圆管(2)的上端相通，每个内卡槽(21)的底部均不与外圆管(2)的底端相通。
2.根据权利要求1所述的一种用于放置硅片的环形花篮，其特征是:所述杆(3)有三个且均布在内圆管⑴和外圆管(2)之间。
【文档编号】H01L21/673GK104241176SQ201410414512
【公开日】2014年12月24日 申请日期:2014年8月21日 优先权日:2014年8月21日
【发明者】陈小力, 王进昌 申请人:浙江辉弘光电能源有限公司