元件移载装置制造方法

文档序号:7066284阅读:127来源:国知局
元件移载装置制造方法
【专利摘要】本实用新型实施例公开了一种元件移载装置。在位于初始位置的元件被元件吸放组件吸取后开始元件移载过程;在该过程中,动力装置带动主动轴以特定方向和速度转动,两个摇臂以主动轴为轴心转动,进而从动轴在两个摇臂的带动下以主动轴为轴心转动;第一同步带轮随主动轴的转动而转动,第二同步带轮在第一同步带轮的转动下带动从动轴进行与主动轴反向的自转,以在从动轴的带动以及重力作用下,元件吸放板设置有元件吸放组件的一面始终朝向地面;而达到目标位置后,元件被释放,然后主动轴反向转动,以带动元件吸放板从目标位置返回到初始位置,从而开启下一次的元件移载过程。可见,通过利用本实用新型可以提高元件移载效率,且具有较低的成本。
【专利说明】元件移载装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及元件移载领域,特别涉及一种元件移载装置。
【背景技术】
[0002]在生产过程中,通常需要将元件从初始位置精确移动到目标位置,并且,两个位置上的元件的摆放方式需要完全相同。例如:太阳能领域中,通常需要将硅片从初始位置精确移动到目标位置以实现印刷补料。
[0003]现有技术中,元件移载装置包括:采用移动托架的左右平移机构、元件移载机器人等。其中,由于左右平移机构需要较大的移动空间,因此所需的时间也较长;而由于元件移载机器人价格较为昂贵,导致并未得到普遍使用。
[0004]可见,提供具有较高的移载效率,且较低成本的元件移载装置是一个亟待解决的问题。
实用新型内容
[0005]基于上述问题,本实用新型实施例公开了一种元件移载装置,以提高元件移载效率,且降低成本。技术方案如下:
[0006]一种兀件移载装置,包括:
[0007]主动轴支撑架,包括:第一固定座和第二固定座;其中,所述第一固定座和所述第二固定座均设置有主动轴容纳腔;
[0008]第一摇臂和第二摇臂,其中,所述第一摇臂和所述第二摇臂的第一端均设置有主动轴容纳孔,且与所述主动轴容纳孔相距预定距离的位置设置有从动轴容纳孔;
[0009]主动轴,其依次穿过所述第一固定座的主动轴容纳腔、所述第一摇臂的主动轴容纳孔、所述第二摇臂的主动轴容纳孔和所述第二固定座的主动轴容纳腔,并且,所述第一固定座活动连接于所述主动轴的第一端,所述第二固定座活动连接于所述主动轴的第二端,所述第一摇臂固定连接于所述主动轴的第一端,所述第二摇臂固定连接于所述主动轴的第
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[0010]从动轴,依次穿过所述第一摇臂的从动轴容纳孔和所述第二摇臂的从动轴容纳孔,并且,所述第一摇臂活动连接于所述从动轴的第一端,所述第二摇臂活动连接于所述从动轴的第二端;
[0011]元件吸放板,其一面设置有元件吸放组件,且固定于所述从动轴的第一位置和第二位置之间,其中,所述第一位置为连接有所述第一摇臂的位置,所述第二位置为连接有所述第二摇臂的位置;
[0012]联轴器;
[0013]动力装置,放置于所述主动轴支撑架的外侧,通过所述联轴器与所述主动轴的第一端或第二端相连,以带动所述主动轴以预定的方向和速度转动,进一步使得所述第一摇臂和所述第二摇臂以所述主动轴为中心转动;[0014]从动装置,包括:第一同步带轮、第二同步带轮和连接所述第一同步带轮和所述第二同步带轮的同步带;其中,所述第一同步带轮固定于所述主动轴的第一端或第二端,所述第二同步带轮固定于所述从动轴的与所述主动轴相应的一端,且所述第一同步带轮随所述主动轴的转动而转动,所述第二同步带轮在所述第一同步带轮的转动下带动所述从动轴进行与所述主动轴反向的自转;
[0015]其中,所述第一摇臂和所述第二摇臂以所述主动轴为轴心转动的过程中,在所述从动轴的带动下以及重力作用下,所述元件吸放板设置有元件吸放组件的一面始终朝向地面。
[0016]优选的,所述动力装置,包括:
[0017]气缸支撑架;
[0018]所述摆动气缸,其连接有电磁阀和节流阀,放置在所述气缸支撑架上,并通过所述联轴器与所述主动轴的第一端或第二端相连。
[0019]优选的,所述动力装置,包括:
[0020]电机,其通过所述联轴器与所述主动轴的第一端或第二端相连。
[0021]优选的,所述从动轴容纳孔为内壁上设置有轴承的容纳孔。
[0022]优选的,所述主动轴容纳腔为内壁上设置有轴承的容纳腔。
[0023]优选的,所述元件吸放组件由第一数量的吸盘构成,或者,由第一数量磁铁块构成。
[0024]优选的,所述元件吸放板为:
[0025]接收到外部控制器发送的相应控制信号后控制所述元件吸放组件发生吸取元件动作或释放元件动作的元件吸放控制板;
[0026]所述第一摇臂和所述第二摇臂的主动轴容纳孔和从动轴容纳孔之间的位置均设置有限位孔;
[0027]所述装置还包括:
[0028]限位杆,穿过所述第一摇臂和所述第二摇臂的限位孔,通过所述限位孔与相应摇臂固定连接;
[0029]其中,在所述第一摇臂和所述第二摇臂转动到预定的元件吸取位置或元件释放位置时,所述限位杆通过与外部触发装置接触使得与所述外部触发装置对应的所述外部控制器向所述元件吸放板发送相应控制信号。
[0030]优选的,所述第一固定座的主动轴容纳腔为设置于所述第一固定座的顶端的弧形凹槽;所述第二固定座的主动轴容纳腔为设置于所述第二固定座的顶端的弧形凹槽。
[0031]优选的,所述第一固定座的主动轴容纳腔为设置于所述第一固定座的上部区域的通孔;所述第二固定座的主动轴容纳腔为设置于所述第二固定座的上部区域的通孔。
[0032]本方案中,在位于初始位置的元件被元件吸放板的元件吸放组件吸取后开始元件移载过程;在元件移载过程中,动力装置带动主动轴以特定方向和速度转动,且第一摇臂和第二摇臂以主动轴为轴心转动,进而从动轴在第一摇臂和第二摇臂的带动下以主动轴为轴心转动;同时,第一同步带轮随主动轴的转动而转动,且第二同步带轮在第一同步带轮的转动下带动从动轴进行与主动轴反向的自转,最终实现在该从动轴的带动下以及重力作用下,元件吸放板设置有元件吸放组件的一面始终朝向地面;而在达到目标位置后,元件被释放即可,然后主动轴在动力装置的带动下反向转动,以带动元件吸放板从目标位置返回到初始位置,从而开启下一次的元件移载过程,并且,在返回过程中,元件吸放板设置有元件吸放组件的一面始终朝向地面。可见,本方案中,以旋转方式实现元件吸放板的移动,缩短元件移载所需的移动空间,同时,元件从初始位置移载到目标位置后,元件摆放方式未发生变化,无需调整摆放方式,从而提高了元件移载效率;并且,相对于元件移载机器人而言,具有较低的成本。
【专利附图】

【附图说明】
[0033]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0034]图1为本实用新型实施例所提供的一种元件移载装置的俯视图;
[0035]图2为本实用新型实施例所提供的一种元件移载装置的正视图;
[0036]图3为本实用新型实施例所提供的一种元件移载装置的A-A旋转后形成的剖面视图;
[0037]图4为本实用新型实施例所提供的一种元件移载装置的B-B旋转后所形成的剖面视图;
[0038]图5为本实用新型实施例所提供的一种元件移载装置的移载状态变化示意图。【具体实施方式】
[0039]下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0040]为了提高元件移载效率,且降低成本,本实用新型实施例提供了一种元件移载装置。其中,该元件可以为硅片,或者,有移载需求的其他原材料,例如:陶瓷片,这都是合理的。
[0041]本实用新型实施例所提供一种元件移载装置,可以包括:
[0042]主动轴支撑架,包括:第一固定座和第二固定座;其中,该第一固定座和该第二固定座均设置有主动轴容纳腔;
[0043]第一摇臂和第二摇臂,其中,该第一摇臂和该第二摇臂的第一端均设置有主动轴容纳孔,且与该主动轴容纳孔相距预定距离的位置设置有从动轴容纳孔;
[0044]主动轴,其依次穿过该第一固定座的主动轴容纳腔、该第一摇臂的主动轴容纳孔、该第二摇臂的主动轴容纳孔和该第二固定座的主动轴容纳腔,并且,该第一固定座活动连接于该主动轴的第一端,该第二固定座活动连接于该主动轴的第二端,该第一摇臂固定连接于该主动轴的第一端,该第二摇臂固定连接于该主动轴的第二端;
[0045]从动轴,依次穿过该第一摇臂的从动轴容纳孔和该第二摇臂的从动轴容纳孔,并且,该第一摇臂活动连接于该从动轴的第一端,该第二摇臂活动连接于该从动轴的第二端;
[0046]元件吸放板,其一面设置有元件吸放组件,且固定于该从动轴的第一位置和第二位置之间,其中,该第一位置为连接有该第一摇臂的位置,该第二位置为连接有该第二摇臂的位置;
[0047]联轴器;
[0048]动力装置,放置于该主动轴支撑架的外侧,通过该联轴器与该主动轴的第一端或第二端相连,以带动该主动轴以预定的方向和速度转动,进一步使得该第一摇臂和该第二摇臂以该主动轴为中心转动;
[0049]从动装置,包括:第一同步带轮、第二同步带轮和连接该第一同步带轮和该第二同步带轮的同步带;其中,该第一同步带轮固定于该主动轴的第一端或第二端,该第二同步带轮固定于该从动轴的与该主动轴相应的一端,且该第一同步带轮随该主动轴的转动而转动,该第二同步带轮在该第一同步带轮的转动下带动该从动轴进行与该主动轴反向的自转;
[0050]其中,该第一摇臂和该第二摇臂以该主动轴为轴心转动的过程中,在该从动轴的带动下以及重力作用下,该元件吸放板设置有元件吸放组件的一面始终朝向地面。
[0051]本领域技术人员可以理解的是,在保证主动轴转动时能够稳固于主动轴支撑架的前提下,主动轴容纳腔可以为设置于第一固定座和第二固定座顶端的且具有与主动轴相匹配大小的弧形凹槽,或者,也可以为设置于第一固定座和第二固定座的上部区域的具有与主动轴相匹配大小的通孔,这都是合理的;其中,所谓相匹配大小的标准为:主动轴能够顺利穿过,且不影响主动轴的顺利转动。并且,为了能够与动力装置通过联轴器相连,该主动轴连接联轴器的一端应该穿出相应的主动轴容纳腔。
[0052]并且,主动轴容纳孔与从动轴容纳孔之间的预定距离可以为至少一个,也就是,在第一摇臂和第二摇臂上可以均设置至少一个从动轴容纳孔,以实现针对于不同距离的元件移载;并且,与主动轴容纳孔距离最近的从动轴容纳孔在连接从动轴后,固定在从动轴上的元件吸放板能够在从动轴的带动下顺利旋转,也就是,从动轴容纳孔与主动轴容纳孔之间的距离应该大于元件吸放板旋转时所形成圆柱的切换圆的半径。
[0053]具体的,在实际应用中,该动力装置可以包括:
[0054]气缸支撑架;
[0055]该摆动气缸,其连接有电磁阀和节流阀,放置在该气缸支撑架上,并通过该联轴器与该主动轴的第一端或第二端相连。
[0056]需要说明的是,根据主动轴转动方向和速度的实际需求,可以选择所需型号的摆动气缸,以及所需的型号的电磁阀和节流阀,以通过电磁阀控制该摆动气缸以预定方向摆动,通过节流阀控制该摆动气缸以预定速度摆动。
[0057]当然,在实际应用中,该动力装置可以包括:
[0058]电机,其通过该联轴器与该主动轴的第一端或第二端相连。
[0059]同样的,根据主动轴转动方向和速度的实际需求,可以选择所需型号的电机,来带动主动轴以预定方向和速度转动。
[0060]更进一步的,为了减小摩擦,该从动轴容纳孔可以为内壁上设置有轴承的容纳孔;同样的,该主动轴容纳腔可以为内壁上设置有轴承的容纳腔。其中,该轴承为深沟球轴承、调心球轴承或滚针轴承等。
[0061]需要说明的是,在实际应用中,该元件吸放组件由第一数量的吸盘构成,或者,由第一数量磁铁块构成;其中,该第一数量可以根据实际情况进行设定,在此不做限定。并且,该元件吸放板上的元件吸放组件可以通过人工手动方式来实现元件的吸取和释放。
[0062]需要说明的是,上述的动力装置所采用的具体形式仅仅作为示例,并不应该构成对本发明实施例的限定。并且,第一摇臂和第二摇臂为相同的摇臂,第一固定座和第二固定座为相同的固定座;其中的“第一”和“第二”仅仅为了从命名上区分,并不具有任何限定意义。
[0063]本方案中,在位于初始位置的元件被元件吸放板的元件吸放组件吸取后开始元件移载过程;在元件移载过程中,动力装置带动主动轴以特定方向和速度转动,且第一摇臂和第二摇臂以主动轴为轴心转动,进而从动轴在第一摇臂和第二摇臂的带动下以主动轴为轴心转动;同时,第一同步带轮随主动轴的转动而转动,且第二同步带轮在第一同步带轮的转动下带动从动轴进行与主动轴反向的自转,最终实现在该从动轴的带动下以及重力作用下,元件吸放板设置有元件吸放组件的一面始终朝向地面;而在达到目标位置后,元件被释放即可,然后主动轴在动力装置的带动下反向转动,以带动元件吸放板从目标位置返回到初始位置,从而开启下一次的元件移载过程,并且,在返回过程中,元件吸放板设置有元件吸放组件的一面始终朝向地面。
[0064]可见,本方案中,以旋转方式实现元件吸放板的移动,缩短元件移载所需的移动空间,同时,元件从初始位置移载到目标位置后,元件摆放方式未发生变化,无需调整摆放方式,从而提高了元件移载效率;并且,相对于元件移载机器人而言,具有较低的成本。
[0065]更进一步的,为了实现自动化处理,该元件吸放板可以为:接收到外部控制器发送的相应控制信号后控制该元件吸放组件发生吸取元件动作或释放元件动作的元件吸放控制板;为了配合元件吸放控制板,第一摇臂和第二摇臂的主动轴容纳孔和从动轴容纳孔之间的位置均设置有限位孔;该元件移载装置还可以包括:限位杆,穿过每一摇臂的限位孔,通过该限位孔与相应摇臂固定连接;其中,在该第一摇臂和该第二摇臂转动到预定的元件吸取位置或元件释放位置时,该限位杆通过与外部触发装置接触使得与外部触发装置对应的该外部控制器向该元件吸放板发送相应控制信号。其中,可以采用现有技术实现该元件吸放控制板、外部触发装置以及外部控制器的相应功能,并且,可以采用现有技术实现该元件吸放控制板、外部触发装置以及外部控制器的通信与相应的控制操作。
[0066]下面结合附图1-5,对本实用新型实施例所提供的元件移载装置进行详细介绍。
[0067]一种元件移载装置,可以包括:
[0068]主动轴支撑架,包括:第一固定座4和第二固定座6 ;其中,该第一固定座4和该第二固定座6均设置有主动轴容纳腔;其中,第一固定座4的主动轴容纳腔为内壁上设置有第一轴承16的容纳腔,第二固定座6的主动轴容纳腔为内壁上设置有第二轴承17的容纳腔;
[0069]第一摇臂13和第二摇臂8,其中,该第一摇臂13和该第二摇臂8的第一端均设置有主动轴容纳孔,第二端设置有从动轴容纳孔,且第一端和第二端之间的位置设置有限位孔;其中,第一摇臂13的从动轴容纳孔为内壁上设置有第三轴承19的容纳孔,该第二摇臂8的从动轴容纳孔为内壁上设置有第四轴承20的容纳孔;
[0070]主动轴5,其依次穿过该第一固定座4的主动轴容纳腔、该第一摇臂13的主动轴容纳孔、该第二摇臂8的主动轴容纳孔和该第二固定座6的主动轴容纳腔,并且,该第一固定座4活动连接于该主动轴5的第一端,该第二固定座6活动连接于该主动轴5的第二端,该第一摇臂13固定连接于该主动轴5的第一端,该第二摇臂8固定连接于该主动轴5的第二端;
[0071]从动轴12,依次穿过该第一摇臂13的从动轴容纳孔和该第二摇臂8的从动轴容纳孔,并且,该第一摇臂13活动连接于该从动轴的第一端,该第二摇臂8活动连接于该从动轴12的第二端;
[0072]元件吸放控制板10,其一面设置有第一数量的吸盘21,且通过第一连接块11和第二连接块9固定于该从动轴12的第一位置和第二位置之间,其中,该第一位置为连接有该第一摇臂13的位置,该第二位置为连接有该第二摇臂8的位置;并且,该元件吸放控制板10接收到外部控制器发送的相应控制信号后控制该吸盘发生吸取元件动作或释放元件动作;
[0073]限位杆7,穿过第一摇臂13和第二摇臂8的限位孔,通过限位孔与相应摇臂固定连接;其中,在该第一摇臂13和该第二摇臂8转动到预定的元件吸取位置或元件释放位置时,该限位杆7通过与外部触发装置接触使得与该外部触发装置对应的外部控制器向该元件吸放板发送相应控制信号;
[0074]联轴器3 ;
[0075]动力装置,放置于该主动轴支撑架的外侧,其包括摆动气缸I和气缸支撑架2,该摆动气缸I连接有电磁阀(图中未显示)和节流阀(图中未显示),放置在该气缸支撑架2上,并通过该联轴器3与该主动轴5的第一端相连,以带动该主动轴5以预定的方向和速度转动,进一步使得该第一摇臂13和该第二摇臂8以该主动轴5为中心转动;
[0076]从动装置,包括:第一同步带轮15、第二同步带轮18和连接该第一同步带轮15和该第二同步带轮18的同步带14 ;其中,该第一同步带轮15固定于该主动轴5的第一端且位于第一固定座4和第一摇臂之间,该第二同步带轮18固定于该从动轴12的第一端,且该第一同步带轮15随该主动轴5的转动而转动,该第二同步带轮18在该第一同步带轮15的转动下带动该从动轴12进行与该主动轴12反向的自转;
[0077]其中,该第一摇臂13和该第二摇臂8以该主动轴5为轴心转动的过程中,在该从动轴12的带动下以及重力作用下,该元件吸放控制板10设置有吸盘21的一面始终朝向地面。
[0078]在该元件移载装置处于取料初始状态时,元件吸放控制板10设置有吸盘的一面朝下,此时,限位杆7触发到外部触发装置,使得与外部触发装置对应的外部控制器向该元件吸放控制板10发送关于元件吸取的控制信号,而该元件吸放控制板10在接收到该关于元件吸取的控制信号后,控制吸盘21发生吸取元件动作;在完成元件22的吸取后,主动轴5在摆动气缸I的带动下顺时针方向以预定速度旋转,第一摇臂13和第二摇臂8在主动轴5的带动下将带动从动轴12以主动轴5为轴心逆时针方向旋转,同时,第一同步带轮15随主动轴5的转动而转动,该第二同步带轮18在该第一同步带轮15的转动下带动该从动轴12进行与该主动轴反向的自转;其中,在第一摇臂13和第二摇臂8以主动轴5为轴心转动的过程中,在该从动轴12的带动下以及重力作用下,该元件吸放控制板10设置有吸盘的一面始终朝向地面,并在达到元件释放位置时,限位杆7触发到外部触发装置,使得与外部触发装置对应的外部控制器向该元件吸放控制板10发送关于元件释放的控制信号,而该元件吸放控制板10在接收到该关于元件吸取的控制信号后,控制吸盘21发生释放元件动作,从而元件22被释放到目标位置。如图5所示,在取料初始状态时,元件吸放控制板10设置有吸盘21的一面朝向地面并自动吸取元件22 ;在取料过程旋转到90°状态时,在该从动轴12的带动下以及重力作用下,元件吸放控制板10设置有吸盘的一面朝向地面;而在取料过程旋转到180°时,在该从动轴12的带动下以及重力作用下,元件吸放控制板10设置有吸盘21的一面仍然朝向地面并自动释放元件。
[0079]需要说明的是,在释放元件22后,主动轴5在摆动气缸I的带动下,将逆时针转动,以使得元件吸放控制板10从元件释放位置返回到元件吸取位置,从而开启下一次的元件移载过程;并且,在返回过程中,该元件吸放控制板10的设置有吸盘21的一面也始终朝向地面。
[0080]可见,本方案中,以旋转方式实现元件吸放板的移动,缩短元件移载所需的移动空间,同时,自动吸取元件以及自动释放元件,且元件从初始位置移载到目标位置后,元件摆放方式未发生变化,无需调整摆放方式,从而提高了元件移载效率;并且,相对于元件移载机器人而言,具有较低的成本。
[0081]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并非用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等,均包含在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1.一种元件移载装置,其特征在于,包括: 主动轴支撑架,包括:第一固定座和第二固定座;其中,所述第一固定座和所述第二固定座均设置有主动轴容纳腔; 第一摇臂和第二摇臂,其中,所述第一摇臂和所述第二摇臂的第一端均设置有主动轴容纳孔,且与所述主动轴容纳孔相距预定距离的位置设置有从动轴容纳孔; 主动轴,其依次穿过所述第一固定座的主动轴容纳腔、所述第一摇臂的主动轴容纳孔、所述第二摇臂的主动轴容纳孔和所述第二固定座的主动轴容纳腔,并且,所述第一固定座活动连接于所述主动轴的第一端,所述第二固定座活动连接于所述主动轴的第二端,所述第一摇臂固定连接于所述主动轴的第一端,所述第二摇臂固定连接于所述主动轴的第二端; 从动轴,依次穿过所述第一摇臂的从动轴容纳孔和所述第二摇臂的从动轴容纳孔,并且,所述第一摇臂活动连接于所述从动轴的第一端,所述第二摇臂活动连接于所述从动轴的第二端; 元件吸放板,其一面设置有元件吸放组件,且固定于所述从动轴的第一位置和第二位置之间,其中,所述第一位置为连接有所述第一摇臂的位置,所述第二位置为连接有所述第二摇臂的位置; 联轴器; 动力装置,放置于所述主动轴支撑架的外侧,通过所述联轴器与所述主动轴的第一端或第二端相连,以带动所述主动轴以预定的方向和速度转动,进一步使得所述第一摇臂和所述第二摇臂以所述主动轴为中心转动; 从动装置,包括:第一同步带轮、第二同步带轮和连接所述第一同步带轮和所述第二同步带轮的同步带;其中,所述第一同步带轮固定于所述主动轴的第一端或第二端,所述第二同步带轮固定于所述从动轴的与所述主动轴相应的一端,且所述第一同步带轮随所述主动轴的转动而转动,所述第二同步带轮在所述第一同步带轮的转动下带动所述从动轴进行与所述主动轴反向的自转; 其中,所述第一摇臂和所述第二摇臂以所述主动轴为轴心转动的过程中,在所述从动轴的带动下以及重力作用下,所述元件吸放板设置有元件吸放组件的一面始终朝向地面。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述动力装置,包括: 气缸支撑架; 摆动气缸,其连接有电磁阀和节流阀,放置在所述气缸支撑架上,并通过所述联轴器与所述主动轴的第一端或第二端相连。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述动力装置,包括: 电机,其通过所述联轴器与所述主动轴的第一端或第二端相连。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的装置,其特征在于,所述从动轴容纳孔为内壁上设置有轴承的容纳孔。
5.根据权利要求1-3任意一项所述的装置,其特征在于,所述主动轴容纳腔为内壁上设置有轴承的容纳腔。
6.根据权利要求1-3任意一项所述的装置,其特征在于,所述元件吸放组件由第一数量的吸盘构成,或者,由第一数量磁铁块构成。
7.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述元件吸放板为: 接收到外部控制器发送的相应控制信号后控制所述元件吸放组件发生吸取元件动作或释放元件动作的元件吸放控制板; 所述第一摇臂和所述第二摇臂的主动轴容纳孔和从动轴容纳孔之间的位置均设置有限位孔; 所述装置还包括: 限位杆,穿过所述第一摇臂和所述第二摇臂的限位孔,通过所述限位孔与相应摇臂固定连接; 其中,在所述第一摇臂和所述第二摇臂转动到预定的元件吸取位置或元件释放位置时,所述限位杆通过与外部触发装置接触使得与所述外部触发装置对应的所述外部控制器向所述元件吸放板发送相应控制信号。
8.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一固定座的主动轴容纳腔为设置于所述第一固定座的顶端的弧形凹槽;所述第二固定座的主动轴容纳腔为设置于所述第二固定座的顶端的弧形凹槽。
9.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一固定座的主动轴容纳腔为设置于所述第一固定座的上部区域的通孔;所述第二固定座的主动轴容纳腔为设置于所述第二固定座的上部区域的通孔。
【文档编号】H01L21/677GK203733769SQ201420002274
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2014年1月2日 优先权日:2014年1月2日
【发明者】李伯平 申请人:南京华伯仪器科技有限公司
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