电子组件取放设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种电子组件取放设备，包含：一组件承载台；二个移载平台；一置放平台；一旋转取放装置，具有一旋转取放臂，该旋转取放臂经设置而在该组件承载台与该移载平台之间进行旋转位移而取放电子组件；以及一直线取放装置，具有二个直线取放臂，该二个直线取放臂经设置而在该移载平台与该置放平台之间进行直线位移而取放电子组件。
【专利说明】电子组件取放设备
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种电子组件取放设备，特别是关于一种具有高作业效率的电子组件取放设备。
【背景技术】
[0002]查，在半导体制程中，使用一取放设备将电子组件由前一个制程的平台移载到下一个制程的平台的技术系广泛使用，取放作业的执行效率也因此影响到整个半导体制程的产能。缘此，目前业界致力于取放设备的改良，除了准确性、可靠性之外，更是要进一步提升取放效率。
[0003]以晶粒的取放作业为例，现有技术的取放设备通常提供有二个直线取放臂，其中一个直线取放臂将晶粒自晶粒承载环经直线滑移而运送至预热平台，另一个直线取放臂再将经预热的晶粒经直线滑移而运送至置放平台。然而，由于二个直线取放臂运送晶粒的行程长短并不相同，二者速度无法匹配，致使产能受限。
[0004]另一种现有技术的取放设备则是提供有二个旋转取放臂，其中一个旋转取放臂将晶粒自晶粒承载环经旋移而运送至预热平台，另一个旋转取放臂再将经预热的晶粒经旋移而运送至置放平台。然而，由于二个旋转取放臂旋移时所扫过的范围有所重迭交错，导致容易产生互撞，此种设计控制难度极高，使取放效率难以提升。
实用新型内容
[0005]缘此，本实用新型的一目的即是提供一种能够高效率作业、以提高产能的电子组件取放设备。
[0006]本实用新型为解决现有技术的问题所采用的技术手段系提供一种电子组件取放设备，包含:一组件承载台；二个移载平台；一置放平台；一旋转取放装置，具有一旋转取放臂，该旋转取放臂经设置而在该组件承载台与该移载平台之间进行旋转位移而取放电子组件；以及一直线取放装置，具有二个直线取放臂，该直线取放臂经设置而在该移载平台与该置放平台之间进行直线位移而取放电子组件。
[0007]在本实用新型的一实施例中，该二个移载平台相对于该组件承载台而互相位在该旋转取放臂的旋转对称位置。
[0008]在本实用新型的一实施例中，该置放平台系位在该二个移载平台的相连直线上，该直线取放臂系在该二个移载平台之间进行直线位移而取放电子组件。
[0009]在本实用新型的一实施例中，该置放平台系位在该二个移载平台之间。
[0010]在本实用新型的一实施例中，该二个直线取放臂系在不同的该移载平台与该置放平台之间进行直线位移而取放电子组件。
[0011 ] 在本实用新型的一实施例中，该电子组件为一晶粒或一封装组件。
[0012]在本实用新型的一实施例中，该组件承载台为一晶圆承载环。
[0013]在本实用新型的一实施例中，该移载平台为预热平台。[0014]经由本实用新型所采用的技术手段，通过将电子组件以旋转取放臂送至移载平台，再由直线取放臂接替运送电子组件，二种不同的取放臂在行程上容易匹配设计，而能够达到最佳速度分配，并且二者的位移路径不会重迭交错，其控制简单，使取放效率能够有效提升。此外，在本实用新型的一实施例中，电子组件取放设备提供有一个旋转取放臂对应二个直线取放臂的搭配结构，通过旋转取放臂高速分送电子组件给二个直线取放臂，而后续由二个直线取放臂分时作业，从而提升取放效率，而达到提高产能之效。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]本实用新型所采用的具体实施例，将通过以下的实施例及附呈图式作进一步的说明。
[0016]图1系显示根据本实用新型的一实施例的一电子组件取放设备的立体图。
[0017]图2系显示根据本实用新型的实施例的电子组件取放设备的俯视图。
[0018]其中:
[0019]100 电子组件取放设备
[0020]I 组件承载台
[0021]2 移载平台
[0022]3 置放平台
[0023]4 旋转取放装置
[0024]41 旋转取放臂
[0025]411 取放端
[0026]5 直线取放装置
[0027]51直线取放臂
[0028]E电子组件
【具体实施方式】
[0029]以下根据图1及图2，而说明本实用新型的实施方式。该说明并非为限制本实用新型的实施方式，而为本实用新型的实施例的一种。
[0030]如图1及图2所示，根据本实用新型的一实施例的一电子组件取放设备100，包含:一组件承载台I ;二个移载平台2 ;—置放平台3 ; —旋转取放装置4，具有一旋转取放臂41，该旋转取放臂41经设置而在该组件承载台I与该移载平台2之间进行旋转位移而取放电子组件E ；以及一直线取放装置5，具有二个直线取放臂51，该二个直线取放臂51经设置而在该移载平台2与该置放平台3之间进行直线位移而取放电子组件E。
[0031]具体而言，该电子组件E在本实施例中为一晶粒(例如:LED晶粒)，但也可为一经封装的封装组件。该组件承载台I在本实施例中为一晶粒承载环，该晶粒承载环可作前后左右各方向的平移，以将晶粒移动至一取晶位置，而供旋转取放臂41的一取放端411进行取晶。该移载平台2在本实施例中为一预热平台，可作平移以及旋转运动，用于对晶粒进行预热。该置放平台3可作前后左右各方向的平移，以调整该直线取放臂51放置晶粒的位置。
[0032]如图1及图2所示，本实施例中，二个移载平台2位在该旋转取放臂41的取放端411的动作路径上。该旋转取放臂41经设置而将来自该组件承载台I晶粒交替分送至该二个移载平台2，以减短该旋转取放装置4的待命时间，提高取放效率。较佳地，如图2所示，该二个移载平台2相对于该组件承载台I而互相位在该旋转取放臂41的旋转对称位置，亦即，该旋转取放臂41自该组件承载台I往该二个移载平台2的运送具有相同长短的行程。藉此，该旋转取放臂41对于该二个移载平台2的晶粒运送能够以相同速度进行，而维持运作速度稳定。
[0033]为了进一步提升取放效率，在本实施例中，该置放平台3位在上述二个移载平台2之间，较佳地，该置放平台3系位在上述二个移载平台2的相连直线上，该直线取放臂51系在该二个移载平台2之间进行直线位移而取放电子组件E。通过此种配置，该置放平台3与该二个移载平台2之间的距离可达到最短，并且使该二个移载平台2与该置放平台3之间的运送能够共享同一个直线取放装置5，以减少设置空间且降低设备成本。较佳地，该置放平台3系位在该二个移载平台2的相连直线的中间位置处，而使该置放平台3与该二个移载平台2之间分别具有相同长短的行程，而容易在运送速度上做到匹配。
[0034]另外，对应于上述二个移载平台的结构，在本实施例中，该直线取放装置5的二个直线取放臂51系在不同的该移载平台2与该置放平台3之间进行直线位移而取放电子组件E，通过该二个直线取放臂51分时作业，从而提高产能。
[0035]通过上述结构，本实用新型的电子组件取放设备100系通过将电子组件E以旋转取放臂41送至移载平台2，再由直线取放臂51接替运送电子组件E，二种不同的取放臂在行程上容易匹配设计，而能够达到最佳速度分配。并且，旋转取放臂41与直线取放臂51的位移路径不会重迭交错，其控制简单，使取放效率能够有效提升。此外，在本实用新型的实施例中，一个旋转取放臂41对应二个直线取放臂51的搭配结构，能够通过旋转取放臂41高速分送电子组件E给二个直线取放臂51，而后续由二个直线取放臂分时作业，从而提升取放效率，而达到提闻广能之效。
[0036]以上的叙述仅为本实用新型的较佳实施例说明，凡精于此项技艺者当可依据上述的说明而作其它种种的改良，惟这些改变仍属于本实用新型的实用新型精神及以下所界定的专利范围中。
【权利要求】
1.一种电子组件取放设备，包含: 一组件承载台； 二个移载平台； 一置放平台； 一旋转取放装置，具有一旋转取放臂，该旋转取放臂旋转位移地设置在该组件承载台与该移载平台之间而取放电子组件；以及 一直线取放装置，具有二个直线取放臂，该二个直线取放臂直线位移地设置在该移载平台与该置放平台之间而取放电子组件。
2.根据权利要求1所述的电子组件取放设备，其特征在于，该二个移载平台相对于该组件承载台互相位于该旋转取放臂的旋转对称位置。
3.根据权利要求1所述的电子组件取放设备，其特征在于，该置放平台系位于该二个移载平台的相连直线上，该二个直线取放臂系直线位移地设置在该二个移载平台之间而取放电子组件。
4.根据权利要求1所述的电子组件取放设备，其特征在于，该置放平台系位于该二个移载平台之间。
5.根据权利要求1所述的电子组件取放设备，其特征在于，该二个直线取放臂直线位移地设置在不同的该移载平台与该置放平台之间而取放电子组件。
6.根据权利要求1所述的电子组件取放设备，其特征在于，该电子组件为一晶粒或一封装组件。
7.根据权利要求1所述的电子组件取放设备，其特征在于，该组件承载台为一晶圆承载环。
8.根据权利要求1所述的电子组件取放设备，其特征在于，该移载平台为预热平台。
【文档编号】H01L21/683GK203787408SQ201420181562
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2014年4月15日 优先权日:2014年4月15日
【发明者】卢彦豪 申请人:梭特科技股份有限公司