一种用于盘状物的支撑装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于盘状物的支撑装置，用于支撑圆盘状的晶圆，装置的支撑脚采用L形外形，其L形竖直部分的上端设有各由至少一个面构成的晶圆支撑面及其外侧背靠的外倾斜面，外倾斜面的上端具有水平端面，支撑脚的L形水平部分与支撑环安装连接，支撑脚按其L形竖直部分位于外侧、L形水平部分位于内侧的向心方向安装在支撑环的滑行槽中。本实用新型可使支撑环整体缩小，避免晶圆从支撑环的内径处落地破碎，并能使晶圆平稳安放，具有结构简单、易实现、可节省设备占地面积并降低晶圆破损率的显著特点，适于工厂推广。
【专利说明】一种用于盘状物的支撑装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半导体工艺设备晶圆传送系统中的晶圆存储台，更具体地，涉及一种半导体工艺设备晶圆传送系统中晶圆存储台的用于支撑圆盘状晶圆的盘状物的支撑装置。
【背景技术】
[0002]半导体制造业是一系列主要工艺步骤的循环和重复。许多制备工艺都包含发生在半导体工艺设备工艺腔内的化学反应。现在，对半导体晶圆的处理工艺，通常要用到发生在工艺腔里的化学反应。
[0003]按照不同性质的处理工艺，晶圆往往需要在多个半导体工艺设备的工艺腔之间通过晶圆传送系统进行传输。在工艺设备内，晶圆传送系统的主要功能是装载晶圆，所有的装卸都由自动机械完成。晶圆从设备外部接收进来，并在工艺进行前的等候期间，需要一个暂时存储的场所。存储时用到的装置是晶圆存储台，在其上端，是用于机械手拾取圆盘状晶圆的支撑装置。
[0004]目前，通常的晶圆支撑装置一般包括安装在存储台上的环形支撑环，以及安装在支撑环圆周上的支撑晶圆的若干支撑脚，机械手可进入相邻二个支撑脚之间的空间拾取晶圆。
[0005]晶圆支撑装置的设计要求能使晶圆放置平稳，方便调节晶圆放置的位置，并便于机械手操作，同时，应能保护晶圆不被损坏。
[0006]中国实用新型专利CN202791172U支撑装置公开了一种用于晶圆存储台的支撑装置。该装置通过安装在支撑环上的可沿支撑环圆周调整位置的若干支撑脚来支撑放置在其上的晶圆。该装置的设计形式虽然可方便地通过调整支撑脚在支撑环圆周的位置来满足机械手的进手空间，以便于机械手操作，但同时也存在明显的问题:此支撑装置由于支撑脚的晶圆支撑面位于支撑脚的前端，而与支撑环的装配位置位于支撑脚的后端，使得支撑环的内径大于晶圆的外径尺寸、支撑环的外径露出晶圆外径的部分很多。此问题带来的缺陷是，一方面造成整个存储台的设计占用了较大的面积，另一方面在机械手故障或调试中，由于机械手抓取晶圆不牢或偏差，导致晶圆滑出支撑装置而从支撑环的内径处落地破碎，不但造成一定的经济损失，也影响到设备的生产效率。此外，该装置可调整支撑脚在支撑环圆周位置的设计形式实际应用价值并不高。为避免机械手碰撞到支撑脚，完全可以根据机械手进手距离的最大波动范围，对支撑环上支撑脚的安装位置留有一定的防碰撞距离余量来防止。而且，该装置支撑环的结构也较复杂，造成加工难度大为提高，会带来设备成本的增加。
实用新型内容
[0007]本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种新型的用于盘状物的支撑装置，通过将支撑脚设计成按晶圆支撑面在外侧、与支撑环的安装位置在内侧方向布置的结构，使支撑环的内径可制作成小于晶圆的外径尺寸，因而可使支撑环的外径露出晶圆外径的部分很少，从而缩小了支撑环的整体尺寸，减小了存储台的占地面积，并可避免晶圆在因偏差滑出支撑装置时从支撑环的内径处落地破碎；同时，晶圆支撑面外侧设有的外倾斜面可起到很好地阻挡晶圆外移和下滑导向的作用，独特的晶圆支撑面、外倾斜面结构设计，使晶圆易于放置到位，并避免损伤。
[0008]为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下:
[0009]一种用于盘状物的支撑装置，安装在半导体工艺设备晶圆传送系统中晶圆存储台的上端，用于支撑圆盘状的晶圆，包括安装在所述存储台上端的环形支撑环，安装在支撑环圆周的向心滑行槽中支撑晶圆的若干支撑脚，其特征在于，所述支撑脚为L形，其L形竖直部分的上端设有晶圆支撑面和所述晶圆支撑面外侧背靠的外倾斜面，所述晶圆支撑面、夕卜倾斜面各由至少一个面构成，可以是一个以上的面的组合结构形式，所述外倾斜面的上端具有水平端面，当晶圆因放置不到位、搁在外倾斜面的上端时，此水平端面相比具有尖峰形的外倾斜面顶端结构，可有效避免对晶圆造成的尖锐冲击；所述支撑脚的L形水平部分与所述支撑环安装连接；所述滑行槽的底面设有调节所述支撑脚沿所述支撑环向心方向距离的贯通腰形孔，所述支撑脚的L形水平部分设有安装孔，所述支撑脚的所述安装孔通过穿过所述支撑环的所述腰形孔的紧固件与所述支撑环连接；其中，所述支撑脚按其L形竖直部分位于外侧、L形水平部分位于内侧的向心方向安装在所述支撑环的所述滑行槽中。
[0010]本实用新型将现有技术中支撑脚的晶圆支撑面位置与装配位置之间的结构对应关系进行改进，由原来的晶圆支撑面位于内侧、与支撑环之间的装配位置位于外侧的前后设置形式，变为本实用新型的晶圆支撑面位于外侧、与支撑环之间的装配位置位于内侧的前后设置形式。现有技术中支撑脚的结构形式，使得支撑环的外径远大于晶圆的直径，造成存储台的占地面积相应扩大；且现有技术中支撑环的内径也大于晶圆的直径，在机械手故障或调试中，由于机械手抓取晶圆不牢或偏差，会导致晶圆滑出支撑装置而从支撑环的内径处落地破碎。本实用新型的新设计使支撑环得以整体缩小，从而可以节省晶圆存储台的占地面积。同时，支撑环的内径也由于与支撑脚安装位置的对应关系，而肯定小于各支撑脚的晶圆支撑面内侧所围成的圆的直径，保证了支撑环的内径小于晶圆的直径，可避免晶圆在因偏差滑出支撑装置时从支撑环的内径处落地破碎。
[0011]进一步地，所述支撑脚的L形竖直部分的上端设有一梯台，所述梯台的台面为所述晶圆支撑面，所述梯台的台面外侧背靠有一面向所述支撑环圆心的外倾斜面，所述梯台的台面具有向所述外倾斜面延伸的与所述外倾斜面相切的圆弧过渡面，所述外倾斜面分别与所述梯台的侧面及所述支撑脚L形竖直部分的外侧面相交。晶圆支撑面采用梯台设计，是为了缩小晶圆支撑面的面积，减小晶圆与晶圆支撑面之间的接触面积，提闻晶圆的利用率。外倾斜面可起到阻挡晶圆外移和下滑导向的作用，当晶圆放置不到位时，斜面可阻挡晶圆外移，并使晶圆沿斜面下滑至晶圆支撑面。圆弧过渡面避免了外倾斜面与晶圆支撑面之间的硬性过渡，可很好地帮助晶圆平缓地滑至晶圆支撑面，并易于放置到位。
[0012]进一步地，所述支撑脚的所述外倾斜面的上端具有水平端面，所述水平端面与所述外倾斜面的交线处具有圆弧面。当晶圆因放置不到位、搁在外倾斜面的上端时，此水平端面相比具有尖峰形的外倾斜面顶端结构，可有效避免对晶圆造成的尖锐冲击；圆弧面除了也可减轻对晶圆的冲击力外，同时还可以起到引导晶圆向晶圆支撑面下滑的作用。
[0013]进一步地，所述支撑脚的外侧棱角具有圆弧面，使支撑脚易于与支撑环的安装及在支撑环的滑行槽中移动，便于调节安装位置。
[0014]进一步地，所述支撑脚的L形竖直部分的上端设有一梯台，所述梯台的台面为所述晶圆支撑面，所述梯台的台面外侧背靠有由二个相交斜面构成的外倾斜面，所述外倾斜面的二个相交斜面的交线形成凸出的顶角线，所述顶角线与所述支撑脚的轴对称中心面重合；所述外倾斜面的二个相交斜面分别与所述梯台及所述支撑脚L形竖直部分的外侧面相交。当晶圆放置不到位时，晶圆将顺着二个相交斜面的凸出顶角线下滑至晶圆支撑面，这样，晶圆在下滑时受到的阻力可相对较小，可较容易地滑至晶圆支撑面。
[0015]进一步地，所述晶圆支撑面为由二个相交的向所述支撑环内侧方向下倾的斜面构成，所述晶圆支撑面的二个相交斜面的交线形成凸出的顶角线，所述顶角线与所述支撑脚的轴对称中心面重合，此设计形式可减小晶圆与晶圆支撑面之间的接触面积，提高晶圆的利用率，同时，也便于晶圆利用自身重力，在各个支撑脚的晶圆支撑面的二个相交斜面的凸出顶角线上找到平衡，自动调节上下平衡位置；二个相交的所述斜面外侧背靠有一面向所述支撑环圆心的外倾斜面，可起到阻挡晶圆外移和下滑导向的作用，所述外倾斜面分别与二个相交的所述斜面及所述支撑脚L形竖直部分的外侧面相交。
[0016]进一步地，所述晶圆支撑面为由二个相交的向所述支撑环内侧方向下倾的斜面构成，所述晶圆支撑面的二个相交斜面的交线形成凸出的顶角线；所述晶圆支撑面外侧背靠有由二个相交斜面构成的外倾斜面，所述外倾斜面的二个相交斜面的交线形成凸出的顶角线；所述晶圆支撑面的二个相交斜面的顶角线与所述外倾斜面的二个相交斜面的顶角线相交，并与所述支撑脚的轴对称中心面重合；所述外倾斜面分别与所述晶圆支撑面及所述支撑脚L形竖直部分的外侧面相交。采用此设计形式，当晶圆放置不到位时，晶圆将顺着外倾斜面的二个相交斜面的凸出顶角线滑向晶圆支撑面的二个相交斜面的凸出顶角线，使晶圆在下滑时受到的阻力相对较小，然后，利用自身重力，在各个支撑脚的晶圆支撑面的二个相交斜面的凸出顶角线上找到平衡，自动调节上下平衡位置。
[0017]进一步地，所述支撑脚的L形水平部分设有贯通的螺纹安装孔，所述支撑脚的所述安装孔通过穿过所述支撑环的所述腰形孔的紧固螺钉与所述支撑环连接。
[0018]进一步地，所述紧固螺钉在所述支撑脚的所述安装孔内的安装高度不高于所述支撑脚的L形水平部分的上端面。这样可避免当晶圆滑出支撑面落到支撑脚的L形水平部分时，因撞到突出在外的紧固螺钉而损坏。
[0019]进一步地，所述支撑脚的L形水平部分的底面设有安装孔，所述安装孔为螺纹盲孔，所述支撑脚的所述安装孔通过穿过所述支撑环的所述腰形孔的紧固螺钉与所述支撑环连接。这样，可保持支撑脚的L形水平部分的上端面的完整，当晶圆滑出支撑面落到支撑脚的L形水平部分时，可具有较好的保护效果。
[0020]从上述技术方案可以看出，本实用新型通过将支撑脚设计成按晶圆支撑面在外侦U、与支撑环的安装位置在内侧方向布置的L形结构，使支撑环的内径可制作成小于晶圆的外径尺寸，因而可使支撑环的外径露出晶圆外径的部分很少，从而缩小了支撑环的整体尺寸，减小了存储台的占地面积，并可避免晶圆在因偏差滑出支撑装置时从支撑环的内径处落地破碎；同时，晶圆支撑面及晶圆支撑面外侧设有的外倾斜面结构的独特设计，使得晶圆更容易平稳地安放到位，减小摩擦及避免可能带来的损伤。因此，本实用新型具有结构简单、易实现、可节省设备占地面积并降低晶圆破损率的显著特点。
【专利附图】
【附图说明】
[0021]图1是本实用新型一种用于盘状物的支撑装置的装配结构示意图；
[0022]图2是本实用新型一种用于盘状物的支撑装置的支撑脚的一种结构示意图；
[0023]图3是本实用新型一种用于盘状物的支撑装置的支撑环结构示意图；
[0024]图4是图1中的一种用于盘状物的支撑装置的装配结构剖视图；
[0025]图5是本实用新型一种用于盘状物的支撑装置的支撑脚的第二种结构示意图；
[0026]图6是本实用新型一种用于盘状物的支撑装置的支撑脚的第三种结构示意图；
[0027]图7是本实用新型一种用于盘状物的支撑装置的支撑脚的第四种结构示意图。
【具体实施方式】
[0028]下面结合附图，对本实用新型的【具体实施方式】作进一步的详细说明。
[0029]实施例一
[0030]在本实施例中，请参阅图1，图1是本实用新型一种用于盘状物的支撑装置的装配结构示意图。如图所示，本实用新型的支撑装置安装在半导体工艺设备晶圆传送系统中晶圆存储台(图略)的上端，用于支撑圆盘状的晶圆。支撑装置包括安装在晶圆存储台上端的环形支撑环3，和安装在支撑环圆周上的支撑晶圆的3个支撑脚I。支撑脚I为L形，其L形竖直部分的上端设有晶圆支撑面和晶圆支撑面外侧背靠的外倾斜面。其L形水平部分加工有安装孔2，并通过安装孔2与支撑环3紧固连接。并且，支撑脚I按其L形竖直部分位于外侧、L形水平部分位于内侧的朝向支撑环3圆心方向与支撑环3安装连接。
[0031]本实用新型将现有技术中支撑脚的晶圆支撑面位置与装配位置之间的结构对应关系进行改进，由原来的晶圆支撑面位于内侧、与支撑环之间的装配位置位于外侧的前后设置形式，变为本实用新型的晶圆支撑面位于外侧、与支撑环之间的装配位置位于内侧的前后设置形式。现有技术中支撑脚的结构形式，使得支撑环的外径远大于晶圆的直径，造成存储台的占地面积相应扩大；且现有技术中支撑环的内径也大于晶圆的直径，在机械手故障或调试中，由于机械手抓取晶圆不牢或偏差，会导致晶圆滑出支撑装置而从支撑环的内径处落地破碎。本实用新型的新设计使支撑环得以整体缩小，从而可以节省晶圆存储台的占地面积。同时，支撑环的内径也由于与支撑脚安装位置的对应关系，而肯定小于各支撑脚的晶圆支撑面内侧所围成的圆的直径，保证了支撑环的内径小于晶圆的直径，可避免晶圆在因偏差滑出支撑装置时从支撑环的内径处落地破碎。
[0032]请参阅图2，图2是本实用新型一种用于盘状物的支撑装置的支撑脚的一种结构示意图。如图所示，支撑脚为L形。支撑脚的L形竖直部分12的上端设有一梯台6，梯台6的台面7是晶圆支撑面。梯台6的台面7外侧背靠有一面向支撑环3圆心的外倾斜面8。梯台6的台面7具有向外倾斜面8延伸的与外倾斜面8相切的圆弧过渡面11。外倾斜面8分别与梯台6的侧面及支撑脚L形竖直部分12的外侧面相交。晶圆支撑面采用梯台设计，是为了缩小晶圆支撑面的面积，减小晶圆与晶圆支撑面之间的接触面积，提闻晶圆的利用率。外倾斜面可起到阻挡晶圆外移和下滑导向的作用，当晶圆放置不到位时，斜面可阻挡晶圆外移，并使晶圆沿斜面下滑至晶圆支撑面。圆弧过渡面避免了外倾斜面与晶圆支撑面之间的硬性过渡，可很好地帮助晶圆平缓地滑至晶圆支撑面，并易于放置到位。
[0033]请继续参阅图2。支撑脚的外倾斜面8的上端为水平端面10。当晶圆因放置不到位、搁在外倾斜面8的上端时，此水平端面10相比具有尖峰形的外倾斜面顶端结构，可有效避免对晶圆造成的尖锐冲击。水平端面10与外倾斜面8的交线处具有圆弧面9。圆弧面9除了也可减轻对晶圆的冲击力外，同时还可以起到引导晶圆向晶圆支撑面下滑的作用。支撑脚的4个外侧棱角4加工成圆弧面，使支撑脚易于与支撑环的安装及在支撑环的安装部位移动，便于调节支撑脚的安装位置。支撑脚的L形水平部分5加工有贯通的螺纹安装孔2，用来与支撑环安装连接。
[0034]请参阅图3，图3是本实用新型一种用于盘状物的支撑装置的支撑环结构示意图。如图所示，支撑环的圆周上端分布设有3个朝向支撑环的圆心方向的滑行槽14，用于将3个支撑脚的L形水平部分5安装在内，可使支撑脚安装稳固，并起到安装时的导向作用。滑行槽14底面设有贯通的腰形孔13，用于调节支撑脚沿支撑环向心方向的安装距离。支撑脚的安装孔2可通过穿过支撑环的腰形孔13的螺钉与支撑环连接。
[0035]请进一步参阅图4，图4是图1中的一种用于盘状物的支撑装置的装配结构剖视图。图2中例举的支撑脚的结构与图1、4中的支撑脚一致。如图所示，支撑脚I的L形水平部分安装在支撑环3的滑行槽内，螺钉15从支撑环3的下方穿过腰形孔，与支撑脚I的螺纹安装孔紧固连接。螺钉15的上端埋入支撑脚I的安装孔，螺钉15的上端面要不高于支撑脚I的L形水平部分的上表面。这样可避免晶圆因不当滑出支撑面而落下时，撞到螺钉的突出部分而损坏。梯台的晶圆支撑面上支撑有晶圆16，当晶圆16因放置不到位搁在支撑脚I的晶圆支撑面外侧背靠的外倾斜面上时，该斜面可阻挡晶圆16进一步外移，并促使其沿斜面下滑，顺着晶圆支撑面的向外倾斜面延伸的与外倾斜面相切的圆弧过渡面，平缓地滑到晶圆支撑面上。
[0036]本实用新型的晶圆支撑面及外倾斜面结构的独特设计，使得晶圆更容易安放平稳，减小摩擦及避免可能带来的损伤，以及因过度摩擦或损伤产生的颗粒污染。因此，本实用新型具有结构简单、易实现、可节省设备占地面积并降低晶圆破损率的显著特点，适于工厂推广。
[0037]实施例二
[0038]在本实施例中，请参阅图5，图5是本实用新型一种用于盘状物的支撑装置的支撑脚的第二种结构示意图。本例中的支撑脚外形仍为L形，其L形水平部分的结构与实施例一中例举的支撑脚一致，不同之处在于支撑脚的L形竖直部分上端的晶圆支撑面和外倾斜面的结构变化。如图所示，支撑脚的L形竖直部分的上端设有一梯台17，梯台17的台面18为晶圆支撑面。梯台17的台面18外侧背靠有由二个相交斜面19、22构成的外倾斜面，夕卜倾斜面的二个相交斜面19、22的交线形成凸出的顶角线21，顶角线21与支撑脚的轴对称中心面重合，即位于居中位置。外倾斜面的上端具有水平端面20，当晶圆因放置不到位、搁在外倾斜面的上端时，此水平端面20相比具有尖峰形的外倾斜面顶端结构，可有效避免对晶圆造成的尖锐冲击。外倾斜面的二个相交斜面19、22分别与梯台17及支撑脚L形竖直部分的外侧面相交。当晶圆放置不到位时，晶圆将顺着二个相交斜面19、22的凸出顶角线21下滑至晶圆支撑面，这样，晶圆在下滑时受到的阻力可相对较小，可较容易地滑至晶圆支撑面。本例中支撑脚的其他结构及与支撑环的装配关系与实施例一类同，并具有同样的功能，本例不再赘述。
[0039]实施例三
[0040]在本实施例中，请参阅图6，图6是本实用新型一种用于盘状物的支撑装置的支撑脚的第三种结构示意图。如图所示，晶圆支撑面为由二个相交的向支撑环内侧方向下倾的斜面23、26构成。晶圆支撑面的二个相交斜面23、26的交线形成凸出的顶角线27，顶角线27与支撑脚的轴对称中心面重合，即位于居中位置。此设计形式可减小晶圆与晶圆支撑面之间的接触面积，提高晶圆的利用率，同时，也便于晶圆利用自身重力，在3个支撑脚的晶圆支撑面的二个相交斜面的凸出顶角线上找到平衡，自动调节上下平衡位置。晶圆支撑面的二个相交的斜面23、26外侧背靠有一面向支撑环圆心的外倾斜面25，可起到阻挡晶圆外移和下滑导向的作用。外倾斜面25的上端具有水平端面24，当晶圆因放置不到位、搁在外倾斜面25的上端时，此水平端面24相比具有尖峰形的外倾斜面顶端结构，可有效避免对晶圆造成的尖锐冲击。外倾斜面25分别与二个相交的斜面23、26及支撑脚L形竖直部分的外侧面相交。本例中支撑脚的其他结构及与支撑环的装配关系与实施例一类同，并具有同样的功能，本例不再赘述。
[0041]实施例四
[0042]在本实施例中，请参阅图7，图7是本实用新型一种用于盘状物的支撑装置的支撑脚的第四种结构示意图。如图所示，晶圆支撑面为由二个相交的向支撑环内侧方向下倾的斜面28、33构成，晶圆支撑面的二个相交斜面28、33的交线形成凸出的顶角线34。晶圆支撑面外侧背靠有由二个相交斜面29、32构成的外倾斜面，外倾斜面的二个相交斜面29、32的交线形成凸出的顶角线31。晶圆支撑面的二个相交斜面28、33的顶角线34与外倾斜面的二个相交斜面29、32的顶角线31相交，并与支撑脚的轴对称中心面重合，即位于居中位置。外倾斜面的上端具有水平端面30，当晶圆因放置不到位、搁在外倾斜面的上端时，此水平端面30相比具有尖峰形的外倾斜面顶端结构，可有效避免对晶圆造成的尖锐冲击。外倾斜面分别与晶圆支撑面及支撑脚L形竖直部分的外侧面相交。采用本例中支撑脚的形式，当晶圆放置不到位时，晶圆将顺着外倾斜面的二个相交斜面29、32的凸出顶角线31滑向晶圆支撑面的二个相交斜面28、33的凸出顶角线34，使晶圆在下滑时受到的阻力相对较小，然后，利用自身重力，在3个支撑脚的晶圆支撑面的二个相交斜面的凸出顶角线上找到平衡，自动调节上下平衡位置。本例中支撑脚的其他结构及与支撑环的装配关系与实施例一类同，并具有同样的功能，本例不再赘述。
[0043]需要说明的是，支撑脚的L形水平部分的安装孔，也可以不采用贯通的加工方式，而是在L形水平部分的底面加工成螺纹盲孔，螺钉从支撑环的下方穿过腰形孔，与支撑脚L形水平部分底面的螺纹盲孔紧固连接。这样，可保持支撑脚的L形水平部分的上端面的完整，当晶圆滑出支撑面落到支撑脚的L形水平部分时，对晶圆具有较好的保护效果。
[0044]以上所述的仅为本实用新型的优选实施例，所述实施例并非用以限制本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1.一种用于盘状物的支撑装置，安装在半导体工艺设备晶圆传送系统中晶圆存储台的上端，用于支撑圆盘状的晶圆，包括安装在所述存储台上端的环形支撑环，安装在支撑环圆周的向心滑行槽中支撑晶圆的若干支撑脚，其特征在于，所述支撑脚为L形，其L形竖直部分的上端设有晶圆支撑面和所述晶圆支撑面外侧背靠的外倾斜面，所述晶圆支撑面、外倾斜面各由至少一个面构成，所述外倾斜面的上端具有水平端面，所述支撑脚的L形水平部分与所述支撑环安装连接；所述滑行槽的底面设有调节所述支撑脚沿所述支撑环向心方向距离的贯通腰形孔，所述支撑脚的L形水平部分设有安装孔，所述支撑脚的所述安装孔通过穿过所述支撑环的所述腰形孔的紧固件与所述支撑环连接；其中，所述支撑脚按其L形竖直部分位于外侧、L形水平部分位于内侧的向心方向安装在所述支撑环的所述滑行槽中。
2.如权利要求1所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述支撑脚的L形竖直部分的上端设有一梯台，所述梯台的台面为所述晶圆支撑面，所述梯台的台面外侧背靠有一面向所述支撑环圆心的外倾斜面，所述梯台的台面具有向所述外倾斜面延伸的与所述外倾斜面相切的圆弧过渡面，所述外倾斜面分别与所述梯台的侧面及所述支撑脚L形竖直部分的外侧面相交。
3.如权利要求2所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述支撑脚的所述外倾斜面的上端具有水平端面，所述水平端面与所述外倾斜面的交线处具有圆弧面。
4.如权利要求2或3所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述支撑脚的外侧棱角具有圆弧面。
5.如权利要求1所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述支撑脚的L形竖直部分的上端设有一梯台，所述梯台的台面为所述晶圆支撑面，所述梯台的台面外侧背靠有由二个相交斜面构成的外倾斜面，所述外倾斜面的二个相交斜面的交线形成凸出的顶角线，所述顶角线与所述支撑脚的轴对称中心面重合；所述外倾斜面的二个相交斜面分别与所述梯台及所述支撑脚L形竖直部分的外侧面相交。
6.如权利要求1所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述晶圆支撑面为由二个相交的向所述支撑环内侧方向下倾的斜面构成，所述晶圆支撑面的二个相交斜面的交线形成凸出的顶角线，所述顶角线与所述支撑脚的轴对称中心面重合；二个相交的所述斜面外侧背靠有一面向所述支撑环圆心的外倾斜面，所述外倾斜面分别与二个相交的所述斜面及所述支撑脚L形竖直部分的外侧面相交。
7.如权利要求1所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述晶圆支撑面为由二个相交的向所述支撑环内侧方向下倾的斜面构成，所述晶圆支撑面的二个相交斜面的交线形成凸出的顶角线；所述晶圆支撑面外侧背靠有由二个相交斜面构成的外倾斜面，所述外倾斜面的二个相交斜面的交线形成凸出的顶角线；所述晶圆支撑面的二个相交斜面的顶角线与所述外倾斜面的二个相交斜面的顶角线相交，并与所述支撑脚的轴对称中心面重合；所述外倾斜面分别与所述晶圆支撑面及所述支撑脚L形竖直部分的外侧面相交。
8.如权利要求1所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述支撑脚的L形水平部分设有贯通的螺纹安装孔，所述支撑脚的所述安装孔通过穿过所述支撑环的所述腰形孔的紧固螺钉与所述支撑环连接。
9.如权利要求8所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述紧固螺钉在所述支撑脚的所述安装孔内的安装高度不高于所述支撑脚的L形水平部分的上端面。
10.如权利要求1所述的用于盘状物的支撑装置，其特征在于，所述支撑脚的L形水平部分的底面设有安装孔，所述安装孔为螺纹盲孔，所述支撑脚的所述安装孔通过穿过所述支撑环的所述腰形孔的紧固螺钉与所述支撑环连接。
【文档编号】H01L21/687GK203950796SQ201420340610
【公开日】2014年11月19日 申请日期:2014年6月24日 优先权日:2014年6月24日
【发明者】李广义, 赵宏宇, 张豹, 徐俊成, 孙文婷 申请人:北京七星华创电子股份有限公司