晶圆装卸装置以及倒片机台、工艺机台的制作方法
【专利摘要】本实用新型揭示了一种晶圆装卸装置，包括：装卸腔室；用于传输所述晶圆的传输装置，设置于所述装卸腔室内；用于将所述晶圆传输出所述装卸腔室的传输窗口，设置于所述装卸腔室的侧壁上；可移动的遮挡件，设置于所述装卸腔室内；所述传输装置将所述晶圆传出所述传输窗口时，所述遮挡件移动至正对所述传输窗口处。如果有被粘住的晶圆随所述传输装置一起移动，被粘住的晶圆被所述遮挡件挡住，从而避免粘住的晶圆掉落在工艺机台内，降低生产成本。
【专利说明】晶圆装卸装直以及倒片机台、工乙机台
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体分析【技术领域】，特别是涉及一种晶圆装卸装置以及倒片机台、工艺机台。
【背景技术】
[0002]在半导体工艺制造过程中需要经过很多步骤，每个工艺步骤都是由相应的工艺机台负责完成得。当一批(lot)晶圆(wafer)在一个工艺机台的工艺步骤完成后，工艺机台的传输装置(例如机械手臂robot)会将该批晶圆放入晶圆盒(wafer pod)中,然后将晶圆盒搬移至仓储系统。
[0003]一般的，传输装置依靠真空吸力将晶圆吸住并进行传输，当将晶圆放入晶圆盒后，传输装置解除真空吸力，以与晶圆相脱离。然而，在现有技术中，传输装置解除真空吸力后，传输装置往往会粘住晶圆，当传输装置离开晶圆盒时，被粘住的晶圆随传输装置一起移动，并掉落在工艺机台内，造成晶圆的损坏，耗费大量的生产成本。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于，提供一种晶圆装卸装置以及倒片机台、工艺机台，能够避免晶圆随传输装置移动而掉落，减少晶圆的损坏。
[0005]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆装卸装置，用于将晶圆传输至晶圆盒内，包括:
[0006]装卸腔室；
[0007]用于传输所述晶圆的传输装置，设置于所述装卸腔室内；
[0008]用于将所述晶圆传输出所述装卸腔室的传输窗口，设置于所述装卸腔室的侧壁上；
[0009]可移动的遮挡件，设置于所述装卸腔室内；以及
[0010]所述传输装置将所述晶圆传出所述传输窗口时，所述遮挡件移动至正对所述传输窗口处。
[0011]可选的，在所述晶圆装卸装置中，所述遮挡件包括两个挡板，两个所述挡板分别设置于所述传输窗口位于第一方向的两侧，所述第一方向位于所述晶圆所在的平面，并且所述第一方向平行于所述传输窗口所在的平面。
[0012]可选的，在所述晶圆装卸装置中，所述晶圆装卸装置还包括一移动轨道，所述移动轨道设置于所述装卸腔室内，所述移动轨道在所述第一方向延伸，两个所述挡板在所述移动轨道上滑动。
[0013]可选的，在所述晶圆装卸装置中，所述挡板通过一支架设置于所述移动轨道上。
[0014]可选的，在所述晶圆装卸装置中，所述支架包括一用于调节所述支架长度的调节部。
[0015]可选的，在所述晶圆装卸装置中，所述遮挡件移动至正对所述传输窗口处时，两个所述挡板之间的距离大于所述传输装置在所述第一方向的宽度。
[0016]可选的，在所述晶圆装卸装置中，所述遮挡件包括匹配所述晶圆的弧面，所述弧面面向所述窗口。
[0017]可选的，在所述晶圆装卸装置中，所述遮挡件包括多个用于支撑所述晶圆的支撑板，所述晶圆盒包括多个用于支撑所述晶圆的支撑部件，所述支撑板与所述支撑部件的位置相对应。
[0018]可选的，在所述晶圆装卸装置中，所述遮挡件的外壁包括一弹性层。
[0019]可选的，在所述晶圆装卸装置中，所述遮挡件的高度大于等于225_。
[0020]可选的，在所述晶圆装卸装置中，当所述遮挡件移动至正对所述传输窗口处时，所述遮挡件与传输窗口的距离小于等于20cm。
[0021]可选的，在所述晶圆装卸装置中，所述晶圆装卸装置还包括一用于探测所述晶圆位置的探测系统。
[0022]可选的，在所述晶圆装卸装置中，所述晶圆装卸装置还包括一报警系统，所述报警系统连接所述探测系统。
[0023]可选的，在所述晶圆装卸装置中，所述晶圆装卸装置还包括一用于放置所述晶圆盒的装卸台，所述装卸台设置于所述装卸腔室外，并正对所述传输窗口。
[0024]根据本实用新型的另一面，还提供一种倒片机台，包括如上所述的任意一项晶圆装卸装置。
[0025]根据本实用新型的另一面，还提供一种工艺机台，包括如上所述的任意一项晶圆装卸装置。
[0026]与现有技术相比，本实用新型提供的晶圆装卸装置以及倒片机台、工艺机台具有以下优点:
[0027]在本实用新型提供的晶圆装卸装置中，所述晶圆装卸装置包括装卸腔室、传输装置、传输窗口、遮挡件，所述传输装置将所述晶圆传出所述传输窗口时，所述遮挡件移动至正对所述传输窗口处，如果有被粘住的晶圆随所述传输装置一起移动，被粘住的晶圆被所述遮挡件挡住，从而避免粘住的晶圆掉落在工艺机台内，降低生产成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0028]图1为本实用新型一实施例中晶圆装卸装置在省略装卸腔室的顶盖时的立体图；
[0029]图2为本实用新型一实施例中晶圆装卸装置在省略装卸腔室的顶盖时的俯视图；
[0030]图3为本实用新型一实施例中挡板的示意图；
[0031]图4为本实用新型一实施例中挡板挡住被粘住的晶圆时的示意图。
【具体实施方式】
[0032]下面将结合示意图对本实用新型的晶圆装卸装置进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
[0033]为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
[0034]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0035]本实用新型的核心思想在于，提供一种晶圆装卸装置，包括:装卸腔室；用于传输所述晶圆的传输装置，设置于所述装卸腔室内；用于将所述晶圆传输出所述装卸腔室的传输窗口，设置于所述装卸腔室的侧壁上；可移动的遮挡件，设置于所述装卸腔室内；所述传输装置将所述晶圆传出所述传输窗口时，所述遮挡件移动至正对所述传输窗口处。如果有被粘住的晶圆随所述传输装置一起移动，被粘住的晶圆被所述遮挡件挡住，从而避免粘住的晶圆掉落在工艺机台内，降低生产成本。
[0036]以下结合图1-图4说明本实施例中的晶圆装卸装置。其中，图1为本实用新型一实施例中晶圆装卸装置在省略装卸腔室的顶盖时的立体图；图2为本实用新型一实施例中晶圆装卸装置在省略装卸腔室的顶盖时的俯视图；图3为本实用新型一实施例中挡板的示意图；图4为本实用新型一实施例中挡板挡住被粘住的晶圆时的意图。
[0037]如图1所示，所述晶圆装卸装置I包括装卸腔室100、传输装置200、传输窗口 111、遮挡件300。为了清楚的示意出所述晶圆装卸装置I的结构，在图1中，所述装卸腔室100的顶盖未画出，但是在实际的装置中，所述装卸腔室100还包括顶盖，以形成相对密封的腔室，此为本领域的普通技术人员可以理解，在此不作赘述。
[0038]所述传输装置200用于传输所述晶圆，所述传输装置200设置于所述装卸腔室100内。所述传输装置200的结构不做具体的限制，可以为本领域的普通技术人员所理解的机械手臂(robot)等结构。
[0039]所述装卸腔室100的侧壁110上包括一传输窗口 111，所述传输窗口 111用于所述晶圆传输出所述装卸腔室100，并可以将所述晶圆从所述传输窗口 111传入所述装卸腔室100。
[0040]较佳的，在本实施例中，所述晶圆装卸装置I还包括一用于放置所述晶圆盒500的装卸台400，所述装卸台400设置于所述装卸腔室100外，并正对所述传输窗口 111，所述晶圆盒500放置于所述装卸台400上，以方便所述传输装置200将所述晶圆传出所述传输窗口 111后，将所述晶圆放置于所述晶圆盒500中。
[0041]所述遮挡件300设置于所述装卸腔室100内，并可以在所述装卸腔室100内移动的。当所述传输装置200将所述晶圆传出所述传输窗口 111时，所述遮挡件300移动至正对所述传输窗口 111处。在本实施例中，所述遮挡件300包括两个挡板:挡板310以及挡板320,所述挡板310和挡板320分别设置于所述传输窗口 111位于第一方向X的两侧。如图4所示，所述第一方向X位于所述晶圆600所在的平面(即水平面)，并且所述第一方向X平行于所述传输窗口 111所在的平面。其中，第二方向Y位于所述晶圆600所在的平面(即水平面)，并垂直于所述第一方向X，第三方向Z垂直于所述晶圆600所在的平面。
[0042]较佳的，如图1所示，所述晶圆装卸装置I还包括一移动轨道340，所述移动轨道340设置于所述装卸腔室100内，所述移动轨道100在所述第一方向X延伸，所述挡板310和挡板320可以在所述移动轨道100上滑动。在本实施例中，所述挡板310和挡板320分别通过一支架340设置于所述移动轨道330上。所述支架340包括一用于调节所述支架340长度的调节部(在图1中为具体示出)，以方便调节所述挡板310和挡板320在第三方向Z的位置。
[0043]参考图3，以所述挡板310为例，说明所述遮挡件300的结构。如图3所示，所述挡板310包括匹配所述晶圆的弧面301，较佳的，当所述弧面301挡住所述晶圆时，所述弧面301与所述晶圆的边缘相贴合，可以减小冲击造成的应力，避免碎片。如图1所示，所述弧面301面向所述窗口 111，以使得所述挡板310的弧面301可以挡住所述晶圆。如图3所示，较佳的，所述遮挡件(所述挡板310)的高度Hl大于等于225mm，以可以完全挡住所述晶圆。
[0044]较佳的，所述挡板310还包括多个用于支撑所述晶圆的支撑板302，当所述弧面301挡住所述晶圆时，所述支撑板302用于将所述晶圆支撑住，避免所述晶圆掉落。所述支撑板302的形状不做具体的限制，可以根据需要进行设置。如图1所示，所述晶圆盒500包括多个用于支撑所述晶圆的支撑部件510，当所述晶圆放置于所述晶圆盒500中，所述晶圆分别被对应的所述支撑部件510支撑固定。其中所述支撑板302与所述支撑部件510的位置相对应，即每一所述支撑部件510均有一与其在第三方向Z的高度相同的所述支撑板302，以使得每一个所述支撑部件510上的晶圆均有一个对应的所述支撑板302。
[0045]在本实施例中，所述遮挡件300的外壁包括一弹性层，例如特氟龙弹性层等等，所述弹性层具有缓冲作用，并且不容易产生颗粒(particle)等杂质。所述弹性层可以仅仅位于所述遮挡件300的外壁，还可以不仅位于所述遮挡件300的外壁，整个所述遮挡件300的材料均可以为所述弹性层的材料。
[0046]所述晶圆装卸装置I还包括一用于探测所述晶圆位置的探测系统和一报警系统，所述报警系统连接所述探测系统。
[0047]在本实施例中，当所述晶圆从所述传输窗口 111传入所述装卸腔室100时，所述挡板310和挡板320分别设置于所述传输窗口 111位于第一方向X的两侧。当所述传输装置200将所述晶圆传出所述传输窗口 111，如图4所示，所述挡板310和挡板320向彼此靠近的方向移动，移动至正对所述传输窗口 111处。如果被粘住的晶圆600被所述传输装置200从所述晶圆盒500带回所述装卸腔室100时，所述挡板310和挡板320的弧面301挡住所述晶圆600，防止所述晶圆600进入所述装卸腔室100，所述晶圆600被所对应位置的所述支撑板302支撑住，防止所述晶圆600滑落。同时，所述探测系统探测到被粘住的晶圆600重新进入所述装卸腔室100，从而发出一信号通知所述传输装置200，所述传输装置200传输工作；并且，所述探测系统发出另一信号给所述报警系统，所述报警系统发出一警报。
[0048]此时，所述挡板310和挡板320之间的距离大于所述传输装置200在所述第一方向的宽度，以方便所述传输装置200从所述挡板310和挡板320之间移回以复位。并且，所述挡板310和挡板320与传输窗口 111的距离均小于等于20cm，从而可以防止所述晶圆600滑落。当然，所述挡板310和挡板320与传输窗口 111的距离并不限于小于等于20cm，所述挡板310和挡板320与传输窗口 111的距离可以根据所述晶圆600的尺寸具体设置，一般小于所述晶圆600的半径(例如小于等于所述晶圆600的半径的三分之二)，均可以很好达到防止所述晶圆600滑落的效果。
[0049]本实施例中的所述晶圆装卸装置I可以应用于倒片机台，或者应用于工艺机台，用于实现所述晶圆600在所述倒片机台(或者工艺机台)与所述晶圆盒500之间的传输。通过本实施例的上述描述，所述晶圆装卸装置I在所述倒片机台或者工艺机台中的具体应用方法为本领域的普通技术人员可以理解的，在此不作赘述。
[0050]本实用新型的较佳实施例如上所述，例如:所述遮挡件300并不限于包括两个挡板，所述遮挡件300还可以只包括一个挡板；并且，所述挡板并不限于在所述第一方向X上移动，还可以在第三方向Z上移动等等，只要可以实现当所述传输装置200将所述晶圆600传出所述传输窗口 111时，所述遮挡件300可以移动至正对所述传输窗口 111处,亦在本实用新型的思想范围之内。
[0051]综上所述，本实用新型提供一种晶圆装卸装置，包括:装卸腔室；用于传输所述晶圆的传输装置，设置于所述装卸腔室内；用于将所述晶圆传输出所述装卸腔室的传输窗口，设置于所述装卸腔室的侧壁上；可移动的遮挡件，设置于所述装卸腔室内；所述传输装置将所述晶圆传出所述传输窗口时，所述遮挡件移动至正对所述传输窗口处。如果有被粘住的晶圆随所述传输装置一起移动，被粘住的晶圆被所述遮挡件挡住，从而避免粘住的晶圆掉落在工艺机台内，降低生产成本。
[0052]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种晶圆装卸装置，用于将晶圆传输至晶圆盒内，其特征在于，包括: 装卸腔室； 用于传输所述晶圆的传输装置，设置于所述装卸腔室内； 用于将所述晶圆传输出所述装卸腔室的传输窗口，设置于所述装卸腔室的侧壁上； 可移动的遮挡件，设置于所述装卸腔室内； 所述传输装置将所述晶圆传出所述传输窗口时，所述遮挡件移动至正对所述传输窗口处。
2.如权利要求1所述的晶圆装卸装置，其特征在于，所述遮挡件包括两个挡板，两个所述挡板分别设置于所述传输窗口位于第一方向的两侧，所述第一方向位于所述晶圆所在的平面，并且所述第一方向平行于所述传输窗口所在的平面。
3.如权利要求2所述的晶圆装卸装置，其特征在于，所述晶圆装卸装置还包括一移动轨道，所述移动轨道设置于所述装卸腔室内，所述移动轨道在所述第一方向延伸，两个所述挡板在所述移动轨道上滑动。
4.如权利要求3所述的晶圆装卸装置，其特征在于，所述挡板通过一支架设置于所述移动轨道上。
5.如权利要求4所述的晶圆装卸装置，其特征在于，所述支架包括一用于调节所述支架长度的调节部。
6.如权利要求2所述的晶圆装卸装置，其特征在于，所述遮挡件移动至正对所述传输窗口处时，两个所述挡板之间的距离大于所述传输装置在所述第一方向的宽度。
7.如权利要求1所述的晶圆装卸装置，其特征在于，所述遮挡件包括匹配所述晶圆的弧面，所述弧面面向所述窗口。
8.如权利要求1所述的晶圆装卸装置，其特征在于，所述遮挡件包括多个用于支撑所述晶圆的支撑板，所述晶圆盒包括多个用于支撑所述晶圆的支撑部件，所述支撑板与所述支撑部件的位置相对应。
9.如权利要求1所述的晶圆装卸装置，其特征在于，所述遮挡件的外壁包括一弹性层。
10.如权利要求1所述的晶圆装卸装置，其特征在于，所述遮挡件的高度大于等于225mm0
11.如权利要求1所述的晶圆装卸装置，其特征在于，当所述遮挡件移动至正对所述传输窗口处时，所述遮挡件与传输窗口的距离小于等于20cm。
12.如权利要求1至11中任意一项所述的晶圆装卸装置，其特征在于，所述晶圆装卸装置还包括一用于探测所述晶圆位置的探测系统。
13.如权利要求12所述的晶圆装卸装置，其特征在于，所述晶圆装卸装置还包括一报警系统，所述报警系统连接所述探测系统。
14.如权利要求1至11中任意一项所述的晶圆装卸装置，其特征在于，所述晶圆装卸装置还包括一用于放置所述晶圆盒的装卸台，所述装卸台设置于所述装卸腔室外，并正对所述传输窗口。
15.一种倒片机台，其特征在于，包括如权利要求1至14中任意一项所述的晶圆装卸装置。
16.一种工艺机台，其特征在于，包括如权利要求1至14中任意一项所述的晶圆装卸装 置。
【文档编号】H01L21/677GK204011371SQ201420393867
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年7月16日 优先权日:2014年7月16日
【发明者】邬璐磊, 李广宁 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司