半导体器件结构的结构和形成方法与流程

文档序号:11810163阅读:来源:国知局
技术总结
提供半导体器件结构的结构和形成方法。该半导体器件结构包括位于半导体衬底上方的鳍结构。该半导体器件结构也包括覆盖部分鳍结构的栅极堆叠件。该栅极堆叠件包括第一部分和邻近鳍结构的第二部分,并且第一部分宽于第二部分。

技术研发人员:张哲诚;林志翰
受保护的技术使用者:台湾积体电路制造股份有限公司
文档号码:201510811593
技术研发日:2015.11.20
技术公布日:2016.11.30

当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1