技术特征：
技术总结
本申请公开了一种控制方法、射频功率分配器、控制器以及ICP设备，该控制方法包括：获取所述内线圈相对于所述外线圈的电流比的期望值；计算所述电流比为所述期望值时对应的所述第一电容以及所述第二电容的电容值；根据计算结果调节所述第一电容以及所述第二电容的电容值，使得所述内线圈相对于所述外线圈的电流比为所述期望值。控制方法根据所述第一电容以及所述第二电容的电容值与所述电流比之间对应关系，可以快速确定不同电流比时对应的所述第一电容以及所述第二电容的电容值，根据确定的电容值直接调节第一电容以及第二电容以获取电流比的期望值,进而调节功率分配器的电流，达到调整输出功率相对分配的目的。
技术研发人员：罗伟义;刘身健
受保护的技术使用者：中微半导体设备（上海）有限公司
技术研发日：2016.02.26
技术公布日：2017.09.05