一种石墨烯表面气体分子吸附过程的监测方法与流程

文档序号:15133351发布日期:2018-08-10 18:56阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种石墨烯表面气体分子吸附过程的监测方法,其特征在于,包括如下步骤:

(1)制备石墨烯器件样品,该石墨烯器件包括源漏金属电极和石墨烯沟道;

(2)将石墨烯器件样品放置于拉曼光谱系统光学显微镜的激光出射口下方,调整石墨烯器件样品位置到显微镜视野内,调节显微镜焦距,并聚焦到石墨烯沟道表面;

(3)用低能量的聚焦激光束对准石墨烯沟道表面,此时激光强度应在3mW以下,以保证激光斑很小,定位精确;

(4)用高能量的激光束照射或扫描石墨烯样品表面,控制激光强度和时间,去除石墨烯表面的空气、水分子,从而清洁石墨烯表面;

(5)将石墨烯样品放到探针台上,并利用半导体参数分析仪反复测试石墨烯器件的转移特性曲线,直至前后两次的转移特征曲线无变化为止,并依此估测石墨烯从清洁表面至被分子饱和吸附过程所需的时间。

2.如权利要求1所述的石墨烯表面气体分子吸附过程的监测方法,其特征在于,步骤(4)中高能量的激光束强度范围为10~40mW,时间在10min至5s范围之内。

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