本发明涉及一种集成电路制造控制系统，即离子注入机，特别地涉及一种用于离子注入机自动传片过程中位置校正的方法。
背景技术：
随着集成电路工艺技术的提高，对离子注入设备提出了更高的要求，注入离子的角度是离子注入设备最重要的三个指标之一，通过改变注入的角度能够拓展离子注入设备的应用范围，可应用于各种材料改性、半导体器件制造以及大功率器件制造等领域。离子注入的角度是通过若干自由度的控制实现的，在硅片传输过程中的位置要求也是非常严格的。
运动传输部件在首次安装或是在故障更换时，其位置都会发生一定的变化，为了保证部件的中心位置与传输机械手中心的一致性，需要有专用的工装及位置校正方法。
技术实现要素：
本发明公开了一种自动传片位置校正的方法，可用于离子注入机硅片传输过程，操作简单，实用性强。
本发明通过以下技术方案实现：
1.一种自动传片位置校正方法，硬件包括：机械手臂(1)、中心校正工具(2)、定位校正工具(3)、定位销(4)、台阶销(5)。
2.一种自动传片位置校正方法，其特征在于中心校正工具(2)通过3个台阶销(5)固定在机械手臂(1)上，销定位精度较高，能够保证中心校正工具(2)的定位中心与机械手臂(1)3个支撑点的中心重合。
3.一种自动传片位置校正方法，其特征在于定位校正工具(3)结构形式可根据工位的实际情况灵活变化，确保定位中心与工位中心重合。
4.一种自动传片位置校正方法，其特征在于通过调节机械手臂的位置，利用定位销(4)使机械手臂的中心与工位的中心在同一铅垂线上。
本发明具有如下显著优点：
1.功能明确，针对性强。
2.结构简单，拆装维护方便。
附图说明
图1位置校正工具
图2改进前机械手结构
图3改进后机械手结构
具体实施方式
下面结合附图1、附图2和附图3对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。
参见图1、图2和附图3，一种自动传片位置校正方法，硬件包括：机械手臂(1)、中心校正工具(2)、定位校正工具(3)、定位销(4)、台阶销(5)。改进后的机械手可利用校正工具进行位置校正。
具体实施步骤如下：首先调节机械手臂(1)的水平位置，然后将中心校正工具(2)用3个台阶销(5)固定在机械手臂(1)上，接着将定位校正工具(3)安装到相应工位处，根据实际情况不同工位可设计成不同的定位校正工具，或是直接利用工位上的零件，目的是找到工位的中心位置。此时，调节机械手臂(1)的位置，伸到指定工位附近并精确调节，用定位销(4)穿过中心校正工具(2)的定位孔，插入定位校正工具(3)的定位孔，如果两个定位孔不在同一铅锤线上就继续调节机械手臂(1)，直到定位销(4)能够插入定位校正工具(3)的定位孔，记录此时机械手臂的位置。同理，按照相同的步骤就能找到其他工位的中心位置。最后，将中心校正工具(2)、定位校正工具(3)、定位销(4)、台阶销(5)拆除。
本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。