一种晶圆背孔光刻胶填充方法与流程

本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆背孔光刻胶填充方法。

背景技术：

在ganhemt器件的sic背金工艺中，国内外iii-v生产线都采用了电镀的工艺方法，但是该方法在刻蚀完背孔进行背面金属电镀时会面临一个难题，那就是需要通过光阻涂布来完全覆盖背孔的底部、侧壁及上部附近镀金，以确保后续蚀刻划片道镀金时其他地方的镀金不被刻蚀。目前，通常采用旋涂一层光刻胶的方式来实现背孔内及背孔上部附近镀金的覆盖，但是在光刻胶的选择上遇到以下困难：cp值低的光刻胶虽然解析度高、流动性好，能够很好的覆盖背孔侧壁台阶，但是对于下一步划片道的腐蚀来说，cp值太低会造成光刻胶厚度达不到要求，可能导致划片道图形被侧面钻蚀；cp值高的光刻胶虽然可以避免划片道图形被侧面钻蚀，但是因为黏度大、甩不开而无法进入背孔，无法保护划片道图形。上述困难造成背孔侧壁镀金的保护与划片道图形的保护不能兼得，从而导致晶圆良率低。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种可以同时保护背孔侧壁镀金和划片道图形的晶圆背孔光刻胶填充方法。

为达到上述要求，本发明采取的技术方案是：提供一种晶圆背孔光刻胶填充方法，包括以下步骤：

s1、采用真空加热的方式去除晶圆背孔中的水汽；

s2、步骤s1结束后1min内，在晶圆背面旋涂cp值为1～50的光刻胶；

s3、对晶圆进行第一次预烘烤，使得第一次旋涂的光刻胶固化；

s4、在固化的光刻胶上旋涂cp值为1600～1800的光刻胶；

s5、对晶圆进行第二次预烘烤，使得第二次旋涂的光刻胶固化，从而完成背孔的填充。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

(1)先旋涂cp值低的光刻胶，其高解析度和高流动性的特点使其能均匀的平铺在晶圆表面，保证对背孔侧壁和背孔底部的镀金进行覆盖保护；再旋涂cp值高的光刻胶，其低解析度和低流动性的特点使其能攀附在晶圆表面，保证对背孔附近镀金进行覆盖保护，提高了晶圆的成品率和可靠性；

(2)在旋涂光刻胶之前采用真空加热的方式去除背孔内水汽，避免光刻胶因水汽蒸发而形成气泡破裂，进一步提高晶圆的成品率。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对

本技术：
的进一步理解，构成本申请的一部分，在这些附图中使用相同的参考标号来表示相同或相似的部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本发明的流程示意图；

图2为本发明的工艺示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，以下结合附图及具体实施例，对本申请作进一步地详细说明。为简单起见，以下描述中省略了本领域技术人员公知的某些技术特征。

如图1-2所示，本实施例提供一种晶圆背孔光刻胶填充方法，包括以下步骤：

s1、采用真空加热的方式去除晶圆背孔3中的水汽，该步骤可以避免涂布的光刻胶因水汽蒸发而形成气泡破裂，最终导致背金被腐蚀，芯片失效；

可以使用hmds预处理系统对晶圆进行真空加热，真空度为0.5mbar，加热温度为105℃，加热时间为1min；也可以使用真空烘箱对晶圆进行真空加热，烘烤时间为3min；

s2、步骤s1结束后1min内，在晶圆背面旋涂cp值为1～50的光刻胶，形成第一光刻胶层1；在真空加热和第一次旋涂光刻胶之间间隔时间不超过1min，不然大气中的水汽会附着在背孔3的侧壁上，在下一步骤烘烤时会使水汽蒸发使光刻胶形成气泡最终破裂；

本实施例中，采用i-line的型号为7905的光刻胶，cp值为5，该cp值的光刻胶解析度高、流动性好，所以将会均匀的平铺在晶圆表面，能够很好的覆盖背孔侧壁台阶。旋涂初始阶段，让晶圆保持20rpm转速，利用表面张力涂光刻胶至完全覆盖晶圆表面，再将转速增加至3500rpm，转速加速度至1500r/m²；

s3、对晶圆进行第一次预烘烤，烘烤的温度为120℃，使得第一次旋涂的光刻胶固化；

s4、在固化的光刻胶上旋涂cp值为1600～1800的光刻胶，形成第二光刻胶层2；

本实施例中，采用i-line的型号为4330的光刻胶，cp值为1700，该cp值的光刻胶解析度低、流动性差，所以会攀附在晶圆表面，能够形成较大厚度的保护层，能够很好地保护划片道图形。旋涂初始阶段，让晶圆保持20rpm转速，利用表面张力涂光刻胶至完全覆盖晶圆表面，再将转速增加至3500rpm，转速加速度至1500r/m²；

s5、对晶圆进行第二次预烘烤，烘烤的温度为120℃，使得第二次旋涂的光刻胶固化，从而完成背孔3的填充。

完成上述烘烤后对晶圆进行光学检查，确保光刻胶完全覆盖了背孔的底部、侧壁及上部。

以上实施例仅表示本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能理解为对本发明范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明保护范围。因此本发明的保护范围应该以权利要求为准。

技术特征：

技术总结
本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆背孔光刻胶填充方法，包括以下步骤：S1、采用真空加热的方式去除晶圆背孔中的水汽；S2、步骤S1结束后1min内，在晶圆背面旋涂CP值为1～50的光刻胶；S3、对晶圆进行第一次预烘烤，使得第一次旋涂的光刻胶固化；S4、在固化的光刻胶上旋涂CP值为1600～1800的光刻胶；S5、对晶圆进行第二次预烘烤，使得第二次旋涂的光刻胶固化，从而完成背孔的填充。本发明先旋涂CP值低的光刻胶，其高解析度和高流动性使其能均匀的平铺在晶圆表面，保证对背孔侧壁和背孔底部的镀金进行覆盖保护；再旋涂CP值高的光刻胶，其低解析度和低流动性使其能攀附在晶圆表面，保证对背孔附近镀金进行覆盖保护，提高了晶圆的成品率和可靠性。

技术研发人员：王珺楠
受保护的技术使用者：成都海威华芯科技有限公司
技术研发日：2017.10.11
技术公布日：2018.02.23