容器门板抵持结构的制作方法

本发明涉及容器门板抵持结构技术，特别涉及一种透过圆角瓣状部、至少一凸角、至少一凹角及垫片共构为星芒状结构的容器门板抵持结构。
背景技术：
：在现有的半导体产业中，有关晶圆、光罩或基板等相关薄板状物品的存放与运送扮演了重要的角色。由于在微观的制程下，如晶圆、光罩或基板等组件上附着有微小粒子或因储存运输碰撞缺损等情事，都会影响到整个半导体制程上的良率。有鉴于上述原因，目前设计出许多种专门用于此类需要高精密无尘操作的容器，用以储存或运载相关的晶圆、光罩或基板等相关薄板状物品。请参照图1，图1为现有的容器门板抵持结构示意图。在现有的容器中，如以图1为例的前开式标准晶圆盒(frontopeningunifiedpod,foup)，其结构包括一容器10，在容器10其中一侧面具有一开口12可提供晶圆输入及输出，且在容器内部设有数个插槽11以容置数个晶圆。一门板20，与容器10的开口12盖合，用以保护容器10内部的数个晶圆。而前述门板20具有一外表面24及一内表面22，门板20的外表面24可设有至少一门栓结构(图未示)，用以开启或封闭所述容器10。在技术中，门板20的内表面22通常会设置有抵持件30，设置于门板20的内表面22上靠近门板20中线位置，并以数个抵持单元32，紧密排列于所述抵持件30上，用以避免晶圆因震动而产生异位或往开口12方向正中央移动。图1的技术中，数个抵持单元32的设置多半采用双臂的方式夹持晶圆上对称的两点，以限制晶圆震动产生的破损。但无论其夹持或支撑的设计为何种机构，现有的机构设计中多半具有许多缺点，包括双臂设计的机构复杂，具有开模成本上升的缺点。此外，双臂的设计会增加数个抵持单元32抵持或夹持晶圆时与之接触的面积。这样一来，便会造成粒子产生增加的风险，或是在受力不均的情况下，导致晶圆破损或落入数个抵持单元32之间的缝隙中。技术实现要素：本发明提出一种容器门板抵持结构，旨在解决先前技术的晶圆盒其晶圆限制件结构复杂且晶圆容易陷入限制件之间的缝隙而造成晶圆的损坏的问题。为实现上述目的，本发明提出一种容器门板抵持结构，其中包括一容器，具有一开口；一门板，与所述开口盖合；一抵持件，设于所述门板上；以及数个抵持单元，紧密排列于所述抵持件上，每个所述抵持单元包括：一垫片；至少一凸角，设于所述垫片上；至少一凹角，设于所述垫片上；以及至少二弹力臂，与所述垫片左右两侧连接。其中，彼此紧邻的所述数个抵持单元间透过所述至少一凸角与所述至少一凹角使所述垫片间紧密靠近，且每个所述垫片上的所述至少一凸角与所述至少一凹角数量相等。透过垫片包括至少一凸角及至少一凹角的结构，使得垫片间的缝隙呈不规则形，以避免晶圆或基板等薄板状物品因运输的过程中突然的震动而产生异位，落入垫片间的缝隙造成损坏。此外，减少与晶圆或基板等物品与数个抵持单元间的接触面积，也属于本发明的效果之一。以上对本发明的简述，目的在于对本发明的数种面向和技术特征作一基本说明。发明简述并非对本发明的详细表述，因此其目的不在特别列举本发明的关键性或重要组件，也不是用来界定本发明的范围，仅为以简明的方式呈现本发明的数种概念而已。附图说明为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为现有的容器门板抵持结构示意图；图2为本发明较佳实施例的门板内表面示意图；图3为本发明较佳实施例的抵持单元示意图；图4为本发明另一较佳实施例的门板内表面示意图；图5为本发明又一实施例的抵持单元示意图。附图标号说明：标号名称标号名称10容器32b凸角11插槽32c凹角12开口32d弹力臂20门板32d’弹力臂22内表面32e圆角瓣状部24外表面32f支撑部26凹槽41第一弯折30抵持件42第二弯折32抵持单元d1第一距离32a垫片d2第二距离本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。本发明实施例的容器10可参考图1中的容器示意，主要包括一容器10，在容器10其中一侧面具有一开口12可提供晶圆输入及输出，且在容器内部设有数个插槽11以容置数个晶圆；一门板20，与容器10的开口12盖盒，用以保护容器10内部的数个晶圆，门板20具有一外表面24及一内表面22，门板20的外表面24可设有至少一门栓结构(图未示)，用以开启或封闭所述容器10。参照图2，图2为本发明较佳实施例的门板内表面示意图。基于图1中所提供的容器10结构，本发明图2揭示本发明实施例的抵持件30，设置于门板20的内表面22上靠近门板20中线位置；以及数个抵持单元32，紧密排列于所述抵持件30上，用以避免晶圆因震动而产生异位或往开口12方向正中央移动。在本实施例中，容器10为前开式标准晶圆盒(frontopeningunifiedpod,foup)，而在其他可能的实施例中，容器10还可以是标准晶圆传送盒(standardmechanicalinterface,smif)或前开式晶圆传送盒(frontopeningshippingbox,fosb)等。只要是可应用本发明结构的所有板状薄片容器10或载具，应全都包括于本发明的范围中，本发明并不加以限制容器10的种类。如以本实施例论的，负责储存晶圆的容器10为前开式标准晶圆盒(frontopeningunifiedpod,foup)，其内部设有的数个插槽11的数目为13个，而排列于所述抵持件30上的数个抵持单元32数目亦为13个。在本实施例中，容器10所能容置的晶圆数目为13个(13slots)，而在其他可能的实施例中，数个插槽11的数目、数个抵持单元32的数目及容器10所能容置的晶圆数目都可能大于或小于13个，本发明不应以此为限。可同时参考图2及图3所示，图3为本发明较佳实施例的抵持单元示意图。在本实施例中，门板20内表面22靠近中线位置还设有一凹槽26，用以卡合所述抵持件30，凹槽26的主要目的是除了用来缓冲容器10内部数个晶圆外，还可以减少整个容器10的前后径尺寸。在本实施例中，紧密排列于抵持件30上的每一个抵持单元32皆包括一垫片32a；至少一凸角32b，设置于所述垫片32a上，且每个所述至少一凸角32b凸出所述垫片32a约7-9毫米(mm)的距离，较好的是9毫米(mm)的距离。至少一凹角32c，设置于所述垫片32a上，且每个所述至少一凹角32c内凹入所述垫片32a约7-9毫米(mm)的距离，较好的是9毫米(mm)的距离；以及二弹力臂32d，个别与所述垫片32a左右两侧连接。在本实施例中弹力臂32d设计为弧形，用以将所述垫片32a撑起，使所述垫片32a距离所述门板20约9毫米(mm)的距离。借此，当本实施例中的门板20与容器10盖合时，抵持于垫片32a的晶圆能透过垫片32a左右两侧的二弹力臂32d缓冲。其中，彼此紧邻的所述数个抵持单元32间，透过所述至少一凸角32b与所述至少一凹角32c使所述垫片32a间紧密靠近，且每个所述垫片32a上的所述至少一凸角32b与所述至少一凹角32c数量相等；更精确来说，由于每个垫片32a必须以首尾相衔的方式组合，故相邻两个垫片32a间的至少一凸角32b与至少一凹角32c的机构必须数量相符，使其得以相吻合。当门板20与容器10准备盖合时，容器10内部容置的晶圆会先与抵持单元32的垫片32a接触，同时带动二弹力臂32d产生形变，使得二弹力臂32d往门板20内表面22的凹槽26位置向内凹陷，当容器10内部容置的每一个晶圆在门板20与容器10完全盖合时，可以稳固地顶持于垫片32a上并限制晶圆往开口12方向移动。另外，透过垫片32a上至少一凸角32b及至少一凹角32c的结构，且至少一凸角32b与所述至少一凹角32c使所述垫片32a间紧密靠近，可避免晶圆因运输的过程中突然的震动而产生异位，落入垫片32a间的缝隙而造成晶圆的破损或碎裂。请参考图4所示，其为本发明另一较佳实施例的门板内表面示意图。在本实施例中，紧密排列于抵持件30上的每一个抵持单元32皆包括：一垫片32a；至少一凸角32b，设于所述垫片32a上，且每个所述至少一凸角32b凸出所述垫片约7-9毫米(mm)的距离，较好的是9毫米(mm)的距离；至少一凹角32c，设于所述垫片32a上，且每个所述至少一凹角32c内凹入所述垫片32a约7-9毫米(mm)的距离，较好的是9毫米(mm)的距离；以及四弹力臂32d’，弹力臂32d’两两与所述垫片32a左右两侧连接，且每个弹力臂32d’为弧形，用以将所述垫片32a撑起，使所述垫片32a距离所述门板20约9毫米(mm)的距离。同于图2及图3的实施例，图4中实施例的单个弹力臂32d’设计是接近连续s型的机构设计。可先参照图5，图5为本发明又一实施例的抵持单元示意图。图5的实施例中对于单个弹力臂32d’的描述也可套用至图2及图3的实施例，本发明并不加以限制。在图5的实施例中，弹力臂32d’透过方向相反的第一弯折41将弹力臂弹力臂32d’撑起第一距离后d1，再透过与第二弯折42将垫片32a撑起第二距离d2。而在所述些实施例中，第一距离d1及第二距离d2的总和为垫片32a与门板20间9毫米(mm)的距离。借此，当门板20与容器10盖合时，抵持于垫片32a的晶圆能透过垫片32a左右两侧的四弹力臂32d’缓冲。其中，彼此紧邻的所述数个抵持单元32透过所述至少一凸角32b与所述至少一凹角32c使所述垫片32a间紧密靠近，且每个所述垫片32a上的所述至少一凸角32b与所述至少一凹角32c数量相等。图4的实施例采用两两与所述垫片32a左右两侧连接的四弹力臂32d’，可有效且更进一步防止垫片32a产生的跷跷板运动；借此更进一步防止晶圆产生摩擦或损坏的风险。此外，考虑到垫片32a有承重的可能性，图2至图3的实施例中，其弹力臂32d(32d’)更可如图5中的实施例一样，于每个弹力臂32d’靠近门板20内表面22的一侧设置一个支撑部32f。在图5的实施例中，支撑部32f可以是圆角三角形。当然，支撑部32f的外型也可以是圆型或矩形等几何图形，本发明并不加以限制。支撑部32f可以提供当垫片32a承重较重时，施加于弹力臂32d’的额外支撑力，达到更佳的抵持效果。此外，在其他可能的实施样态中，如果要进一步增加垫片32a的承重能力，更可以在垫片32a的背面(即靠近门板20内表面22的一侧)以其重心作为交叉点设置十字形或是等角形的一交叉肋条。透过交叉肋条提供的结构厚度，进一步大幅提高垫片32a的承重能力及其结构稳定度，本发明并不加以限制。因此，当门板20与容器10准备盖合时，容器10内部容置的晶圆会先与抵持单元32的垫片32a接触，同时带动四弹力臂32d’产生形变，使得四弹力臂32d’往门板20内表面22的凹槽26位置向内凹陷，让容器10内部容置的每一个晶圆在门板20与容器10完全盖合时，可以稳固地顶持于垫片32a上并限制晶圆往开口12方向移动。又因垫片32a左右两侧各分别增加一弹力臂32d’，使得四弹力臂32d’产生形变且杠杆带动弹力臂32d’的过程可更加稳固。另外，透过垫片32a上至少一凸角32b及至少一凹角32c的结构，且至少一凸角32a与所述至少一凹角32c使所述垫片32a间紧密靠近，可避免晶圆因运输的过程中突然的震动而产生异位，落入垫片32a间的缝隙而造成晶圆的破损或碎裂。此外，对于于形状为圆形的晶圆来说，与垫片32a单点接触进而减少接触面积的设计，也能有效地减少因摩擦而产生的微小粒子。在上述几个实施例中，所述垫片32a还可包括四圆角瓣状部32e，两两设于所述垫片32a的四周，且所述至少一凸角32b两侧的所述圆角瓣状部32e彼此对称；所述至少一凹角32c两侧的所述圆角瓣状部32e彼此对称，而所述四圆角瓣状部32e、所述至少一凸角32b、所述至少一凹角32c与所述垫片32a共构为一星芒状结构。本实施例所称的星芒状结构是指圆角瓣状部32e、至少一凸角32b、至少一凹角32c与垫片32a由垫片32a重心为出发点向各圆角瓣状部32e及少一凸角32b延伸的距离近乎相等，减少受力不均时力矩的变化，进而减少抵持单元32损坏的风险。在其他可能的实施例中，所述垫片32a还可以是具有至少一凸角32b及至少一凹角32c的三角形、五角形或其他不规则形状，本发明不应以此为限，其目的都在于避免晶圆因运输的过程中突然的震动产生异位，而落入垫片32a间的缝隙造成晶圆损坏。在上述图2至图5的实施例中，数个抵持单元32可以为一体成形的弹性结构，如热塑性的弹性结构，除了可达到至少二弹力臂32d(32d’)形变，使得晶圆可稳固地抵持于垫片32a上外，弹性结构也有吸震的功效，可避免晶圆因突然的震动而产生异位或往容器10的开口12方向移动。数个抵持单元32紧密排列于所述抵持件30上，所述抵持件30卡合于门板20内表面22的凹槽26上。而在其他基于本发明概念可能实施的实施例中，抵持件30也可与门板20内表面22直接一体成形。在其他有可能的实施例中，垫片32a与晶圆接触的地方可以表面包覆一种耐磨耗材，如聚醚醚酮(peek)材质，以减少摩擦及微粒粉尘的产生。而本实施例垫片32a的高度及宽度可以大于晶圆的厚度，以避免晶圆的上下移动而陷入垫片32a间的缝隙。以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的
技术领域：
均包括在本发明的专利保护范围内。当前第1页12