一种X射线管老化用双真空排气系统的制作方法

本实用新型涉及x射线管技术领域，尤其涉及一种x射线管老化用双真空排气系统。

背景技术：

x射线管的生产、测试需要的条件比较高。为了实现x射线管的管内超高真空环境，就需要将x射线管安装到超高真空排气台上。抽真空的同时在x射线管上施加几万伏到几十万伏的高压，用于老化x射线管，将x射线管内微小尘埃击穿，再由真空系统抽走，从而达到x射线管内真空的洁净度，保证x射线管后续的使用。但这会造成高压和电离辐射的危险，所以操作起来比较困难。另外，x射线管也容易氧化，影响x射线管的质量和性能。

技术实现要素：

本实用新型的目的是克服上述现有技术存在的缺陷，提供一种x射线管老化用双真空排气系统，能够有效抑制x射线管氧化，保证x射线管的质量和性能。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种x射线管老化用双真空排气系统，包括真空罐体，真空罐体放置在排气台上，真空罐体通过第一真空排气法兰和高真空排气系统相连通，真空罐体内布置x射线管，x射线管内部和排气管连通，排气管通过第二真空排气法兰和真空罐体外部的超高真空排气系统相连通，真空罐体的罐壁上固定高压电缆插头和多芯真空电极，高压电缆插头分别和x射线管的阳极、高压发生器相连，多芯真空电极分别和x射线管的阴极、控制电路相连，高压发生器和控制电路均布置在真空罐体的外部。

优选的，所述真空罐体的外表面覆盖铅层。

进一步的，所述真空罐体为方形罩体状且罩设在排气台上，第一真空排气法兰和第二真空排气法兰布置在排气台的下方。

更进一步的，所述真空罐体整体接地。

有益效果：系统工作的时候，通过高压电缆插头和多芯真空电极给x射线管提供高压，启动高真空排气系统和超高真空排气系统，利用高真空排气系统对真空罐体进行抽真空，利用超高真空排气系统对x射线管内部直接抽真空，真空罐体给x射线管提供真空环境，可以抑制x射线管阳极氧化，保证x射线管的质量和性能。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合图1，对本实用新型作进一步的描述。

一种x射线管老化用双真空排气系统，包括真空罐体10，真空罐体10放置在排气台20上，真空罐体10通过第一真空排气法兰30和高真空排气系统相连通，真空罐体10内布置x射线管40，x射线管40内部和排气管50连通，排气管50通过第二真空排气法兰60和真空罐体10外部的超高真空排气系统相连通，真空罐体10的罐壁上固定高压电缆插头70和多芯真空电极80，高压电缆插头70分别和x射线管40的阳极、高压发生器相连，多芯真空电极80分别和x射线管40的阴极、控制电路相连，高压发生器和控制电路均布置在真空罩体10的外部。系统工作的时候，通过高压电缆插头70和多芯真空电极80给x射线管40提供高压，启动高真空排气系统和超高真空排气系统，利用高真空排气系统对真空罐体10进行抽真空，利用超高真空排气系统对x射线管40内部直接抽真空，真空罐体10给x射线管提供真空环境，可以抑制x射线管40阳极氧化，保证x射线管的质量和性能。

优选的，所述真空罐体10的外表面覆盖铅层。铅可以对电离辐射起到了完全隔离的作用。

进一步的，所述真空罐体10为方形罩体状且罩设在排气台20上，第一真空排气法兰30和第二真空排气法兰60布置在排气台20的下方。

更进一步的，所述真空罐体10整体接地，可以对操作人员起到很好的安全防护。

应当理解，以上所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。由本实用新型的精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。

技术特征：

1.一种x射线管老化用双真空排气系统，其特征在于：包括真空罐体(10)，真空罐体(10)放置在排气台(20)上，真空罐体(10)通过第一真空排气法兰(30)和高真空排气系统相连通，真空罐体(10)内布置x射线管(40)，x射线管(40)内部和排气管(50)连通，排气管(50)通过第二真空排气法兰(60)和真空罐体(10)外部的超高真空排气系统相连通，真空罐体(10)的罐壁上固定高压电缆插头(70)和多芯真空电极(80)，高压电缆插头(70)分别和x射线管(40)的阳极、高压发生器相连，多芯真空电极(80)分别和x射线管(40)的阴极、控制电路相连，高压发生器和控制电路均布置在真空罐体(10)的外部。

2.根据权利要求1所述的x射线管老化用双真空排气系统，其特征在于：所述真空罐体(10)的外表面覆盖铅层。

3.根据权利要求2所述的x射线管老化用双真空排气系统，其特征在于：所述真空罐体(10)为方形罩体状且罩设在排气台(20)上，第一真空排气法兰(30)和第二真空排气法兰(60)布置在排气台(20)的下方。

4.根据权利要求3所述的x射线管老化用双真空排气系统，其特征在于：所述真空罐体(10)整体接地。

技术总结
本实用新型涉及X射线管技术领域，尤其涉及一种X射线管老化用双真空排气系统，包括真空罐体，真空罐体放置在排气台上，真空罐体通过第一真空排气法兰和高真空排气系统相连通，真空罐体内布置X射线管，X射线管内部和排气管连通，排气管通过第二真空排气法兰和真空罐体外部的超高真空排气系统相连通，真空罐体的罐壁上固定高压电缆插头和多芯真空电极，高压电缆插头分别和X射线管的阳极、高压发生器相连，多芯真空电极分别和X射线管的阴极、控制电路相连，高压发生器和控制电路均布置在真空罐体的外部，真空罐体给X射线管提供真空环境，可以抑制X射线管阳极氧化，保证X射线管的质量和性能。

技术研发人员：刘骏;王刘成;张伟
受保护的技术使用者：无锡日联科技股份有限公司
技术研发日：2019.12.10
技术公布日：2020.06.23