硅片刻蚀设备的制作方法

本发明涉及太阳能电池生产设备，具体涉及一种硅片刻蚀设备。

背景技术：

目前硅片生产过程中，常规制造晶体硅太阳能电池包括制绒、扩散、清洗刻蚀、pecvd、丝网印刷工序等。其中，在电池片的扩散工序中，通常会产生一层含磷的二氧化硅，俗称磷硅玻璃，并且在硅片边缘也形成一层pn结，边缘的这层pn结会在硅片做成电池片后导通电池片的上下两极而发生漏电现象。

技术实现要素：

发明目的：本发明的目的是提供一种硅片刻蚀设备，解决硅片扩散工序中在侧边缘形成pn结，容易造成漏电的问题。

技术方案：本发明所述的硅片刻蚀设备，包括机架，所述机架上设置有传送装置和刻蚀装置，所述刻蚀装置设置在传送装置一侧，所述刻蚀装置包括驱动装置、安装板和泡棉棒，所述安装板安装在机架上，所述泡棉棒转动设置在所述安装板两侧，所述驱动装置驱动泡棉棒转动，所述泡棉棒下端浸泡在清洗剂池内，所述传送装置将硅片传送至刻蚀装置工位，驱动装置驱动泡棉棒转动对硅片两侧进行清洗。

为了方便传送硅片，所述传送装置包括若干滚筒和电机，若干滚筒并排设置在机架内，所述电机通过皮带驱动滚筒转动。

为了限位硅片和感应硅片，所述传送装置硅片入口处设置有硅片限位块和光电传感器。

为了方便驱动泡棉棒转动，所述驱动装置包括电机、联轴器和转轴，所述电机通过联轴器和转轴连接，所述转轴通过皮带与所述泡棉棒连接。

为了减轻设备重量，所述安装架上设置有通槽。

方便收集刻蚀后的硅片，所述机架上对应传送装置硅片出口处设置有硅片收集盒。

有益效果：本发明可以消除侧面pn结，使得硅片充分使用，有效避免做成电池片的漏电现象。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明专利的底部结构示意图；

图3是刻蚀装置的结构示意图；

图4是传送装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明进行进一步说明。

如图1-3所示，本发明公开的硅片刻蚀设备，包括机架1，机架1上设置有传送装置2和刻蚀装置3，传送装置2包括若干滚筒和电机4，若干滚筒并排设置在机架1内，电机4通过皮带驱动滚筒转动，传送装置硅片入口处设置有硅片限位块21和光电传感器22，机架1上对应传送装置硅片出口处设置有硅片收集盒，刻蚀装置3设置在传送装置2一侧，刻蚀装置3包括驱动装置、安装板31和泡棉棒32，安装板31安装在机架1上，泡棉棒32设置在安装板31两侧，泡棉棒32下端浸泡在清洗剂池内，驱动装置包括电机4、联轴器33和转轴34，电机4通过联轴器44和转轴34连接，转轴34通过皮带与泡棉棒32连接，安装架上设置有通槽。

使用本发明时，硅片从传送装置硅片入口进入，限位块进行限位放置左右失衡，传送装置将硅片传送至刻蚀装置工位，驱动装置通过皮带驱动浸了化学清洁剂的泡棉棒转动对硅片两侧进行清洗。

技术特征：

1.一种硅片刻蚀设备，其特征在于，包括机架(1)，所述机架上设置有传送装置(2)和刻蚀装置(3)，所述刻蚀装置(3)设置在传送装置(2)一侧，所述刻蚀装置(3)包括驱动装置、安装板(31)和泡棉棒(32)，所述安装板(31)安装在机架(1)上，所述泡棉棒(32)转动设置在所述安装板(31)两侧，所述驱动装置驱动泡棉棒(32)转动，所述泡棉棒(32)下端浸泡在清洗剂池内，所述传送装置(2)将硅片传送至刻蚀装置工位，驱动装置驱动泡棉棒(32)转动对硅片两侧进行清洗。

2.根据权利要求1所述的硅片刻蚀设备，其特征在于，所述传送装置包括若干滚筒和电机，若干滚筒并排设置在机架内，所述电机通过皮带驱动滚筒转动。

3.根据权利要求1所述的硅片刻蚀设备，其特征在于，所述传送装置硅片入口处设置有硅片限位块(21)和光电传感器(22)。

4.根据权利要求1所述的硅片刻蚀设备，其特征在于，所述驱动装置包括电机(4)、联轴器(33)和转轴(34)，所述电机(4)通过联轴器(33)和转轴(34)连接，所述转轴(34)通过皮带与所述泡棉棒(32)连接。

5.根据权利要求1所述的硅片刻蚀设备，其特征在于，所述安装架上设置有通槽。

6.权利要求1所述的硅片刻蚀设备，其特征在于，所述机架上对应传送装置硅片出口处设置有硅片收集盒。

技术总结
本发明公开了一种硅片刻蚀设备，包括机架，所述机架上设置有传送装置和刻蚀装置，所述刻蚀装置设置在传送装置一侧，所述刻蚀装置包括驱动装置、安装板和泡棉棒，所述安装板安装在机架上，所述泡棉棒转动设置在所述安装板两侧，所述驱动装置驱动泡棉棒转动，所述泡棉棒下端浸泡在清洗剂池内，所述传送装置将硅片传送至刻蚀装置工位，驱动装置驱动泡棉棒转动对硅片两侧进行清洗。本发明可以消除侧面PN结，使得硅片充分使用，有效避免做成电池片的漏电现象。

技术研发人员：蒋旭东;张弛;王志刚;王四海;蒋成斌;顾建
受保护的技术使用者：南京卓胜自动化设备有限公司
技术研发日：2020.08.17
技术公布日：2020.11.10