一种晶圆转置装置的制作方法

本实用新型涉及一种晶圆转移工装，具体涉及一种晶圆转置装置。

背景技术：

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在晶圆加工过程中，需要对晶圆进行多种加工操作。晶圆在生产过程需要多次在不同的装载盒中转换，一盒晶圆需要整齐的转入另一装载盒，过程繁琐；传统的转移方法很难将晶圆准确且有效地组装到目标位置上，会有推偏的情况出现，效率低下；另外由于不同规格的晶圆大小不同，因此晶圆装载盒的规格存在差异，传统的晶圆转置装置只能对应一种规格的转置盒，无法适应不同规格的装载盒，实用性差。

技术实现要素：

本实用新型提供一种晶圆转置装置，以解决现有技术存在的传统的晶圆转移装置晶圆转移的准确性差，容易推偏的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆转置装置，包括底板，所述底板上安装有第一转置盒，第一转置盒内放置有待转置的晶圆，底板上靠近第一转置盒的一侧安装有第二转置盒，第一转置盒和第二转置盒相互连接在一起，所述底板的底部安装有滑动组件，滑动组件可以在底板的底部沿长度方向来回滑动，滑动组件上安装有推把，推把上安装有活动挡板，活动挡板的一端铰接在推把上，活动挡板可以立直在推把上，也可以水平放倒。

进一步的，所述第一转置盒和第二转置盒通过定位板固定在底板上。

进一步的，所述推把的上边沿一端为凹槽结构。

进一步的，所述滑动组件包括滑块，所述底板的底部设有滑槽，所述滑块的一部分卡合于所述滑槽内，所述推把的一端与所述滑块固定连接。

进一步的，所述活动挡板的中间位置铰接有支撑板，支撑板的一端铰接在活动挡板上，另一端可以抵在推把的凹槽里。

进一步的，所述底板上设置有安装孔。

本实用新型带来的有益效果：本实用新型的晶圆转置装置，推把在滑动组件的带动下，可以在底板上规则的移动，推把上安装有活动挡板，可以将晶圆从一个转置盒中转移到另一个转置盒中，使得晶圆转移的准确性大大提升，有效防止推偏，效率大大提升；活动挡板可以在直立和放倒之间方便的切换，同一装置可以适应两种规格的晶圆装载盒，适应性强。

附图说明

图1是本实用新型的晶圆转置装置的结构示意图。

其中，1-底板，2-第一转置盒，3-晶圆，4-推把，5-活动挡板，6-滑动组件，7-定位板，8-第二转置盒，9-支撑板。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，以下结合附图及具体实施例，对本实用新型作进一步地详细说明。

如图1所示，本实用新型提供一种晶圆转置装置，包括底板1，所述底板1上安装有第一转置盒2，第一转置盒2内放置有待转置的晶圆3，底板上靠近第一转置盒的一侧安装有第二转置盒8，第一转置盒和第二转置盒相互连接在一起，所述底板1的底部安装有滑动组件6，滑动组件可以在底板的底部沿长度方向来回滑动，滑动组件上安装有推把4，推把上安装有活动挡板5，活动挡板5的一端铰接在推把上，活动挡板可以立直在推把上，也可以水平放倒。

进一步来说，所述第一转置盒2和第二转置盒8通过定位板7固定在底板上，底板上设置有不同位置的孔位，定位板7通过与孔位配合将装置盒固定在底板上，底板上设置的多个孔位，可以便于对不同规格的装载盒进行定位。

所述推把4的上边沿一端为凹槽结构，推把4在滑动组件的带动下，可以在底板的底部沿长度方向来回滑动。

所述滑动组件6包括滑块，所述底板的底部设有滑槽，所述滑块的一部分卡合于所述滑槽内，所述推把4的一端与所述滑块固定连接。

所述活动挡板5的中间位置铰接有支撑板9，支撑板的一端铰接在活动挡板上，另一端可以抵在推把的凹槽里，当支撑板另一端抵在推把上时，可以使活动挡板直立，当支撑板收起时，活动挡板可以水平放倒。活动挡板水平和放倒放置，从而对应不同规格的装载盒转载需要。

所述底板上设置有安装孔，以便于将底板安装在不同的工位。

在本实用新型中，推把固定在滑道组件上，滑道组件可以底板的底部沿长度方向来回滑动；当活动挡板立直时，可以对较大规格晶圆进行转载；当活动挡板放倒时，可以对较小晶圆进行转移；定位板的作用是对装载盒进行定位，底板上有多个孔位，以适应两种规格的装载盒。

综上所述，本实用新型的晶圆转置装置，推把在滑动组件的带动下，可以在底板上规则的移动，推把上安装有活动挡板，可以将晶圆从一个转置盒中转移到另一个转置盒中，使得晶圆转移的准确性大大提升，有效防止推偏，效率大大提升；活动挡板可以在直立和放倒之间方便的切换，同一装置可以适应两种规格的晶圆装载盒，适应性强。

以上所述仅为本实用新型的实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。

技术特征：

1.一种晶圆转置装置，其特征在于，包括底板(1)，所述底板(1)上安装有第一转置盒(2)，第一转置盒(2)内放置有待转置的晶圆(3)，底板上靠近第一转置盒的一侧安装有第二转置盒(8)，第一转置盒和第二转置盒相互连接在一起，所述底板(1)的底部安装有滑动组件(6)，滑动组件可以在底板的底部沿长度方向来回滑动，滑动组件上安装有推把(4)，推把上安装有活动挡板(5)，活动挡板(5)的一端铰接在推把上，活动挡板可以立直在推把上，也可以水平放倒。

2.如权利要求1所述的晶圆转置装置，其特征在于，所述第一转置盒(2)和第二转置盒(8)通过定位板(7)固定在底板上。

3.如权利要求1所述的晶圆转置装置，其特征在于，所述推把(4)的上边沿一端为凹槽结构。

4.如权利要求1所述的晶圆转置装置，其特征在于，所述滑动组件(6)包括滑块，所述底板的底部设有滑槽，所述滑块的一部分卡合于所述滑槽内，所述推把(4)的一端与所述滑块固定连接。

5.如权利要求3所述的晶圆转置装置，其特征在于，所述活动挡板(5)的中间位置铰接有支撑板(9)，支撑板的一端铰接在活动挡板上，另一端可以抵在推把的凹槽里。

6.如权利要求1所述的晶圆转置装置，其特征在于，所述底板上设置有安装孔。

技术总结
本实用新型提供一种晶圆转置装置，包括底板，所述底板上安装有第一转置盒，第一转置盒内放置有待转置的晶圆，底板上靠近第一转置盒的一侧安装有第二转置盒，第一转置盒和第二转置盒相互连接在一起，所述底板的底部安装有滑动组件，滑动组件可以在底板的底部沿长度方向来回滑动，滑动组件上安装有推把，推把上安装有活动挡板，活动挡板的一端铰接在推把上，活动挡板可以立直在推把上，也可以水平放倒。通过本实用新型，以解决现有技术存在的传统的晶圆转移装置晶圆转移的准确性差，容易推偏的问题。

技术研发人员：陈雅德
受保护的技术使用者：无锡市佰林德机械设备有限公司
技术研发日：2020.01.10
技术公布日：2020.07.03