一种用于半导体动态参数测试的工装夹具的制作方法

本实用新型涉及检测装置技术领域，具体为一种用于半导体动态参数测试的工装夹具。

背景技术：

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。半导体在实际应用时，往往需要对其动态参数进行测试。传统的半导体测试装置一般兼备夹持和测试的功能。为测试半导体内部的元件功能，传统的半导体测试夹具上通常布置有测试线路，待半导体产品被夹具夹持固定后，该测试线路与半导体上的导电触点接触，此时半导体在夹具上则可通过测试仪器的端子(如金属探针)接触从而作模拟试验或测试，继而该测试仪器则能获取半导体产品的相关测试数据。但是，将半导体安装在夹具上时，必须使其触点与测试端子正好接触，操作不便。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体动态参数测试的工装夹具，用于解决目前夹具不具备将半导体触点自动调整至与测试端子相对应位置的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体动态参数测试的工装夹具，包括底座和检测探头，所述底座的上表面设置有检测台，所述底座上表面的居中位置转动安装有中间基块，所述中间基块侧面的底端固定连接有连接板，所述检测台沿所述连接板的轴向滑动卡接在所述连接板的上表面，所述中间基块的内腔设置有第一电机，所述第一电机的动力是输出端连接有螺纹杆，所述螺纹杆与所述检测台侧面开设的螺纹通孔螺纹套接，所述底座上表面的一端位置固定连接有基架，所述基架呈倒l形，且基架顶部的水平延伸端固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的伸出端竖直向下设置，且检测探头固定连接在所述伸缩杆伸出端的底端，所述底座的内腔设置有驱动所述中间基块转动的动力装置，所述检测台的上表面固定连接有吸盘。

优选的，所述底座内腔位于所述中间基块下方的位置设置有第二电机，所述第二电机的动力输出端与所述中间基块下表面的居中位置固定套接。

优选的，所述吸盘设置有多个，且吸盘的底端垂直固定在所述检测台的上表面。

优选的，所述伸缩杆为电动伸缩杆。

优选的，所述基架里侧与所述中间基块侧面之间的距离大于所述连接板的长度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型涉及的装置在检测半导体元件动态参数时，先将半导体元件通过吸盘固定在检测台上；然后底座内的动力装置驱动中间基块和连接板带动检测台在底座的上表面转动，当检测台转动至检测探头下方位置时停止中间基块的转动；然后由第一电机通过螺纹杆驱动检测台承载着半导体元件沿连接板滑动，并配合中间基块的转动，以便于将半导体元件的触点恰好移动至检测探头的正下方，伸缩杆向下伸长，以使得检测探头向下移动与触点接触，以方便快捷地完成对半导体元件的定位和参数检测。

附图说明

图1为本实用新型整体的主视结构示意图；

图2为本实用新型图1中a-a剖视结构示意图。

图中：1-底座；11-基架；2-检测探头；3-检测台；31-吸盘；4-中间基块；41-连接板；5-第一电机；6-第二电机；7-螺纹杆；8-伸缩杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案，一种用于半导体动态参数测试的工装夹具，包括底座1和检测探头2，底座1的上表面设置有检测台3，底座1上表面的居中位置转动安装有中间基块4，中间基块4侧面的底端固定连接有连接板41，检测台3沿连接板41的轴向滑动卡接在连接板41的上表面，中间基块4的内腔设置有第一电机5，第一电机5的动力是输出端连接有螺纹杆7，螺纹杆7与检测台3侧面开设的螺纹通孔螺纹套接，底座1上表面的一端位置固定连接有基架11，基架11呈倒l形，且基架11顶部的水平延伸端固定连接有伸缩杆8，伸缩杆8的伸出端竖直向下设置，且检测探头2固定连接在伸缩杆8伸出端的底端，底座1的内腔设置有驱动中间基块4转动的动力装置，检测台3的上表面固定连接有吸盘31。

综上，使用时，先将半导体元件通过吸盘31固定在检测台3上；然后底座1内的动力装置驱动中间基块4和连接板41带动检测台3在底座1的上表面转动，当检测台3转动至检测探头2下方位置时暂停中间基块4的转动；然后由第一电机5通过螺纹杆7驱动检测台3承载着半导体元件沿连接板41滑动，此时配合中间基块4的转动，以便于将半导体元件的触点恰好移动至检测探头2的正下方，然后将伸缩杆8向下伸长，以使得检测探头2向下移动与触点接触，以方便快捷地完成对半导体元件的定位和参数检测。

本实施例中，底座1内腔位于中间基块4下方的位置设置有第二电机6，第二电机6的动力输出端与中间基块4下表面的居中位置固定套接；使得使用时，第二电机6驱动中间基块4转动。

本实施例中，吸盘31设置有多个，且吸盘31的底端垂直固定在检测台3的上表面；使得使用时，多个吸盘31可以对半导体元件的下表面牢固平稳地吸附固定。

本实施例中，伸缩杆8为电动伸缩杆。

本实施例中，基架11里侧与中间基块4侧面之间的距离大于连接板41的长度；使得使用时，中间基块4带动连接板41转动时避免与基架11发生抵触。

工作原理：使用时，先将半导体元件通过吸盘31固定在检测台3上；然后底座1内的第二电机6驱动中间基块4和连接板41带动检测台3在底座1的上表面转动，当检测台3转动至检测探头2下方位置时暂停中间基块4的转动；然后由第一电机5通过螺纹杆7驱动检测台3承载着半导体元件沿连接板41滑动，此时配合中间基块4的转动，以便于将半导体元件的触点恰好移动至检测探头2的正下方；然后将伸缩杆8向下伸长，以使得检测探头2向下移动与触点接触，以完成对半导体元件的参数检测。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种用于半导体动态参数测试的工装夹具，包括底座(1)和检测探头(2)，所述底座(1)的上表面设置有检测台(3)，其特征在于：所述底座(1)上表面的居中位置转动安装有中间基块(4)，所述中间基块(4)侧面的底端固定连接有连接板(41)，所述检测台(3)沿所述连接板(41)的轴向滑动卡接在所述连接板(41)的上表面，所述中间基块(4)的内腔设置有第一电机(5)，所述第一电机(5)的动力是输出端连接有螺纹杆(7)，所述螺纹杆(7)与所述检测台(3)侧面开设的螺纹通孔螺纹套接，所述底座(1)上表面的一端位置固定连接有基架(11)，所述基架(11)呈倒l形，且基架(11)顶部的水平延伸端固定连接有伸缩杆(8)，所述伸缩杆(8)的伸出端竖直向下设置，且检测探头(2)固定连接在所述伸缩杆(8)伸出端的底端，所述底座(1)的内腔设置有驱动所述中间基块(4)转动的动力装置，所述检测台(3)的上表面固定连接有吸盘(31)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体动态参数测试的工装夹具，其特征在于：所述底座(1)内腔位于所述中间基块(4)下方的位置设置有第二电机(6)，所述第二电机(6)的动力输出端与所述中间基块(4)下表面的居中位置固定套接。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体动态参数测试的工装夹具，其特征在于：所述吸盘(31)设置有多个，且吸盘(31)的底端垂直固定在所述检测台(3)的上表面。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体动态参数测试的工装夹具，其特征在于：所述伸缩杆(8)为电动伸缩杆。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体动态参数测试的工装夹具，其特征在于：所述基架(11)里侧与所述中间基块(4)侧面之间的距离大于所述连接板(41)的长度。

技术总结
本实用新型涉及检测装置技术领域，具体为一种用于半导体动态参数测试的工装夹具，底座上表面的居中位置转动安装有中间基块，中间基块侧面的底端固定连接有连接板，检测台沿连接板的轴向滑动卡接在连接板的上表面，中间基块内腔设置的第一电机的动力是输出端连接有螺纹杆，螺纹杆与检测台侧面开设的螺纹通孔螺纹套接，底座上表面的一端位置固定连接有基架，基架顶部的水平延伸端固定连接有伸缩杆，伸缩杆的伸出端竖直向下设置，且检测探头固定连接在伸缩杆伸出端的底端，底座的内腔设置有驱动中间基块转动的动力装置，检测台的上表面固定连接有吸盘；解决了目前夹具不具备将半导体触点自动调整至与测试端子相对应位置的问题。

技术研发人员：朱岩枫
受保护的技术使用者：安徽中凌电子科技有限公司
技术研发日：2020.01.14
技术公布日：2020.07.17