一种用于半导体器件测试的精密调节探针台的制作方法

本实用新型属于半导体测试技术领域，尤其涉及一种用于半导体器件测试的精密调节探针台。

背景技术：

探针台主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及芯片上的高精密电学测量。随着行业的发展，被测器件的种类越来越多，要求也越来越复杂，探针台的功能必须有相应的提升。被测器件对于被测环境的要求越来越多，不同温度的变化是其中非常重要的要求，在此基础上，测试效率也是不可忽视的重要因素。

而现有探针台都不能实现针座平台的升降，当实验过程中使用的探针数量较多时，如果不能实现针座平台的升降，而对每一个探针单独操作，这样严重影响了实验效率。

技术实现要素：

针对上述技术问题，本实用新型提供一种用于半导体器件测试的精密调节探针台，通过对针座平台的升降调节探针的高低，提升探针测试半导体器件的效率。

一种用于半导体器件测试的精密调节探针台，包括底座、针座平台、载物台和探针座，所述针座平台通过升降机构安装于底座上，所述载物台通过平移台安装于底座上，并且针座平台开设通孔，载物台对应设置于针座平台开设的通孔处，所述探针座安装于针座平台上，且环绕针座平台开设的通孔设置。

作为本实用新型一种用于半导体器件测试的精密调节探针台的进一步改进，所述升降机构包括安装于底座和针座平台之间的四根升降丝杆和两根弹性支撑柱。

作为本实用新型一种用于半导体器件测试的精密调节探针台的进一步改进，所述升降机构还包括设置于底座下面的快速升降调节机构，所述快速升降调节机构包括两根平行的横梁，两根横梁之间通过两条同步带连接在一起，并且两根横梁的四个端角分别固定连接一个凸轮，四个凸轮与四根升降丝杆的调节螺母对应相抵，其中一根横梁由操作杆控制旋转。

作为本实用新型一种用于半导体器件测试的精密调节探针台的进一步改进，所述针座平台下面设置微调机构，所述微调机构包括同步带、同步轮、和手轮，所述同步轮固接于升降丝杆的上端，所述同步带经过手轮将四个同步轮连接在一起，所述手轮安装在控制丝杆上。

作为本实用新型一种用于半导体器件测试的精密调节探针台的进一步改进，所述平移台为xy轴位平移台，xy轴位平移台下端固接于底座上，xy轴位平移台下端安装旋转台，载物台固接于所述旋转台上。

作为本实用新型一种用于半导体器件测试的精密调节探针台的进一步改进，所述载物台上设置与负压管相连的吸附孔。

作为本实用新型一种用于半导体器件测试的精密调节探针台的进一步改进，所述探针座固定连接探针夹具，所述探针夹具上固定连接探针。

该实用新型一种用于半导体器件测试的精密调节探针台的有益效果：底座和针座平台之间设置升降机构，控制针座平台的升降，从而一步调节针座平台上所有探针与载物台之间的距离，相比单独一个个调节每个探针与载物台之间的距离，效率更高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型针座平台的结构示意图；

图3为本实用新型密针座平台的侧视图；

图4为本实用新型快速升降调节机构的结构示意图；

图5为本实用新型微调机构的结构示意图；

图中：1、底座，2、针座平台，3、载物台，301、平移台，302、吸附孔，303、旋转台，4、探针座，401、探针夹具，402、探针，5、升降丝杆，6、弹性支撑柱，7、横梁，8、凸轮，9、皮带，10、操作杆，11、同步带，12、同步轮，13、手轮。

具体实施方式

以下结合实施例对本实用新型作进一步的阐述，所述的实施例仅为本实用新型一部分的实施例，这些实施例仅用于解释本实用新型，对本实用新型的范围并不构成任何限制。

如说明书附图所示，一种用于半导体器件测试的精密调节探针台，主要由底座1、针座平台2、载物台3和探针座4组成，其中针座平台2通过升降机构安装于底座1上，载物台3通过平移台301安装于底座1上，并且针座平台2开设通孔，载物台3对应设置于针座平台2开设的通孔处，探针座4安装于针座平台2上，且环绕针座平台2开设的通孔设置。

其中平移台301为xy轴位平移台，xy轴位平移台下端固接于底座1上，xy轴位平移台上端安装旋转台303，载物台3固接于所述旋转台303上，通过平移台301能够调节载物台3的位置。

其中探针座4固定连接探针夹具401，探针夹具401上固定连接探针402，探针402用以与载物台3放置的半导体器件相接触来测量其性能，探针夹具401用以连接电信号的传输线，将探针402测试的性能参数传出。为了让载物台3放置半导体器件更加稳定，载物台3上的中心设置吸附孔302，吸附孔连接真空吸附管路，真空吸附管路设置气阀开关，配合载物台3使用。

其中升降机构包括安装于底座1和针座平台2之间的四根升降丝杆5和两根弹性支撑柱6，并通过的快速升降调节机构和微调机构对其进行调节。所述快速升降调节机构包括两根平行的横梁7，两根横梁7之间通过两条皮带9连接在一起，并且两根横梁7的四个端角分别固定连接一个凸轮8，四个凸轮8与四根升降丝杆5的调节螺母对应相抵，其中一根横梁7由操作杆10控制旋转，操作杆10设置于底座1的侧面。控制横梁7旋转，皮带9使得两根横梁7同步旋转，从而带动四个凸轮8旋转，四个凸轮8的旋转会产生不同的高度，从而抵着四根升降丝杆5的调节螺母快速升降，实现针座平台2的快速升降，进一步带着针座平台2上所有探针座4升降，从而一步调节所有探针402与载物台3之间的距离，相比单独一个个调节每个探针402与载物台3之间的距离，效率更高；

所述微调机构包括同步带11、同步轮12和手轮13，同步轮12固接于升降丝杆5的上端，同步带11经过手轮13将四个同步轮12连接在一起，手轮13安装在控制丝杆上，则通过旋转手轮13，带动同步带11旋转，同步带11带动四根升降丝杆5旋转，从而带动针座平台2的微调升降。其中升降丝杆5的工作原理是本领域技术人员所熟知的，在此不做具体的阐述。

其以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

技术特征：

1.一种用于半导体器件测试的精密调节探针台，其特征在于：包括底座、针座平台、载物台和探针座，所述针座平台通过升降机构安装于底座上，所述载物台通过平移台安装于底座上，并且针座平台开设通孔，载物台对应设置于针座平台开设的通孔处，所述探针座安装于针座平台上，且环绕针座平台开设的通孔设置。

2.根据权利要求1所述一种用于半导体器件测试的精密调节探针台，其特征在于：所述升降机构包括安装于底座和针座平台之间的四根升降丝杆和两根弹性支撑柱。

3.根据权利要求1所述一种用于半导体器件测试的精密调节探针台，其特征在于：所述升降机构还包括设置于底座下面的快速升降调节机构，所述快速升降调节机构包括两根平行的横梁，两根横梁之间通过两条皮带连接在一起，并且两根横梁的四个端角分别固定连接一个凸轮，四个凸轮与四根升降丝杆的调节螺母对应相抵，其中一根横梁由操作杆控制旋转。

4.根据权利要求1所述一种用于半导体器件测试的精密调节探针台，其特征在于：所述针座平台下面设置微调机构，所述微调机构包括同步带、同步轮、和手轮，所述同步轮固接于升降丝杆的上端，所述同步带经过手轮将四个同步轮连接在一起，所述手轮安装在控制丝杆上。

5.根据权利要求1所述一种用于半导体器件测试的精密调节探针台，其特征在于：所述平移台为xy轴位平移台，xy轴位平移台下端固接于底座上，xy轴位平移台上端安装旋转台，载物台固接于所述旋转台上。

6.根据权利要求1所述一种用于半导体器件测试的精密调节探针台，其特征在于：所述载物台上设置与负压管相连的吸附孔。

7.根据权利要求1所述一种用于半导体器件测试的精密调节探针台，其特征在于：所述探针座固定连接探针夹具，所述探针夹具上固定连接探针。

技术总结
本实用新型属于半导体测试技术领域，尤其涉及一种用于半导体器件测试的精密调节探针台，包括底座、针座平台、载物台和探针座，所述针座平台通过升降机构安装于底座上，所述载物台通过平移台安装于底座上，并且针座平台开设通孔，载物台对应设置于针座平台开设的通孔处，所述探针座安装于针座平台上，且环绕针座平台开设的通孔设置，底座和针座平台之间设置的升降机构还包括快速升降调节机构和微调机构，用以控制针座平台的升降，从而调节针座平台上所有探针与载物台之间的距离，相比单独一个个调节每个探针与载物台之间的距离，效率更高。

技术研发人员：肖体春
受保护的技术使用者：深圳市森东宝科技有限公司
技术研发日：2020.01.17
技术公布日：2020.07.28