一种晶圆对中机构的制作方法

[0001]
本实用新型涉及半导体零件定位相关领域，具体是一种晶圆对中机构。


背景技术：

[0002]
晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)，由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆，衬底材料有硅、锗、gaas、inp、gan等，由于硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆，晶圆对中机构是对晶圆进行定位检测的结构设备。
[0003]
当进行使用时，由于需控制晶圆中心与探测灯发射出的灯体进行照射，而在持续的晶圆检测过程中，测光半径大小固定，难以高效阻隔照射源控制检测光源呈像半径，且内部配合结构配合效果一般。


技术实现要素：

[0004]
(一)解决的技术问题
[0005]
因此，为了解决上述不足，本实用新型在此提供一种晶圆对中机构。
[0006]
(二)技术方案
[0007]
本实用新型是这样实现的，构造一种晶圆对中机构，该装置包括网板、对中台、中心孔、底圆盘、安装盒、转动盘、控制把、按键板和调控组件，所述网板嵌入安装于安装盒右侧面上，所述对中台中心贯穿设有中心孔，所述对中台底端紧固安装于底圆盘上，所述安装盒侧面上转动安装有转动盘，所述转动盘上紧固安装有控制把，所述按键板嵌套于安装盒侧面上，所述调控组件装设于安装盒内部，所述调控组件包括架板、传递杆、斜杆、壳体、遮控组环件、三角板、探测灯、弹簧、方板、粗杆、灯路板、镂空槽和散热扇，所述架板上滑动安装有传递杆，所述传递杆左侧与转动盘紧固连接，所述斜杆与三角板铰链连接，所述壳体上紧固安装有镂空槽，所述镂空槽上锁固安装有散热扇，所述遮控组环件与架板转动连接，所述探测灯嵌套于灯路板左侧，所述弹簧与方板弹性连接，所述方板与粗杆铰链连接。
[0008]
优选的，所述遮控组环件包括l架片、第一半环、阻隔环片和第二半环，所述l架片插接固定于第一半环外侧端，所述第一半环内侧粘结安装有阻隔环片，所述第一半环与第二半环结构相同，所述阻隔环片中心与中心孔竖直相对应。
[0009]
优选的，所述散热扇包括扇外体、扇叶和驱动电机，所述扇外体上固定安装有驱动电机，所述驱动电机侧端紧固安装有扇叶，所述扇外体位于安装盒侧端。
[0010]
优选的，所述弹簧共设有两个，并且架设安装于壳体内壁上。
[0011]
优选的，所述架板两侧固定安装于壳体上，所述灯路板外体为长方体结构。
[0012]
优选的，所述网板四个角点位置预制设有圆孔，所述中心孔的半径大于二厘米。
[0013]
优选的，所述三角板设有三个角点，并且三个角点分别与斜杆、遮控组环件、方板铰链连接。
[0014]
优选的，所述安装盒上从顶端到底端依次安装设有对中台、底圆盘和调控组件。
[0015]
优选的，所述传递杆为铝合金制成，质量轻、硬度大。
[0016]
优选的，所述弹簧为弹簧钢制成，弹性势能大。
[0017]
(三)有益效果
[0018]
与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆对中机构，具备以下有益效果：
[0019]
优点1：本实用新型所述一种晶圆对中机构，通过优化设置了调控组件，利用外置控制把、转动盘简易控制传递杆位置，使得铰件间的铰点夹角变化进而间接控制探测灯上阻隔件位置变动，结构简单，高效阻隔照射源控制检测光源呈像半径，使用效果好。
[0020]
优点2：本实用新型所述一种晶圆对中机构，通过优化设置了遮控组环件，简易的第一半环、阻隔环片配合结构在l架片被带动转动，能够利用简易的第一半环、第二半环配合阻隔局部光源向上传递，内部配合结构配合效果好。
附图说明
[0021]
图1是本实用新型结构示意图；
[0022]
图2是本实用新型调控组件安装位置结构示意图；
[0023]
图3是本实用新型调控组件俯视结构示意图；
[0024]
图4是本实用新型遮控组环件结构示意图；
[0025]
图5是本实用新型散热扇立体结构示意图。
[0026]
其中：网板-1、对中台-2、中心孔-3、底圆盘-4、安装盒-5、转动盘-6、控制把-7、按键板-8、调控组件-9、架板-901、传递杆-902、斜杆-903、壳体-904、遮控组环件-905、三角板-906、探测灯-907、弹簧-908、方板-909、粗杆-910、灯路板-911、镂空槽-912、散热扇-913、l架片-9051、第一半环-9052、阻隔环片-9053、第二半环-9054、扇外体-9131、扇叶-9132、驱动电机-9133。
具体实施方式
[0027]
下面将结合附图1-5对本实用新型进行详细说明，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0028]
请参考图1和图2，本实用新型通过改进在此提供一种晶圆对中机构，包括网板1、对中台2、中心孔3、底圆盘4、安装盒5、转动盘6、控制把7、按键板8和调控组件9(如图2)。网板1嵌入安装于安装盒5右侧面上。对中台2中心贯穿设有中心孔3。对中台2底端紧固安装于底圆盘4上。安装盒5侧面上转动安装有转动盘6。转动盘6上紧固安装有控制把7。按键板8嵌套于安装盒5侧面上。调控组件9装设于安装盒5内部。
[0029]
请参考图3，调控组件9包括架板901、传递杆902、斜杆903、壳体904、遮控组环件905、三角板906、探测灯907、弹簧908、方板909、粗杆910、灯路板911、镂空槽912和散热扇913。架板901上滑动安装有传递杆902，传递杆902左侧与转动盘6紧固连接，斜杆903与三角板906铰链连接。壳体904上紧固安装有镂空槽912，镂空槽912上锁固安装有散热扇913。遮控组环件905与架板901转动连接，便于利用遮控组环件905在三角板906带动下在架板901上发生局部位置转向。探测灯907嵌套于灯路板911左侧。弹簧908与方板909弹性连接，便于弹性配合进行使用。方板909与粗杆910铰链连接。
[0030]
进一步的，如图4，所述遮控组环件905包括l架片9051、第一半环9052、阻隔环片9053和第二半环9054，所述l架片9051插接固定于第一半环9052外侧端，所述第一半环9052内侧粘结安装有阻隔环片9053，所述第一半环9052与第二半环9054结构相同，所述阻隔环片9053中心与中心孔3竖直相对应。
[0031]
进一步的，如图5，所述散热扇913包括扇外体9131、扇叶9132和驱动电机9133，所述扇外体9131上固定安装有驱动电机9133，所述驱动电机9133侧端紧固安装有扇叶9132，所述扇外体9131位于安装盒5侧端。
[0032]
进一步的，请返回参考图3，所述弹簧908共设有两个，并且架设安装于壳体904内壁上，辅助效果好。
[0033]
进一步的，请返回参考图3，所述架板901两侧固定安装于壳体904上，所述灯路板911外体为长方体结构。
[0034]
进一步的，所述网板1四个角点位置预制设有圆孔，所述中心孔3的半径大于二厘米，便于组合安装配合使用。
[0035]
进一步的，请返回参考图3，所述三角板906设有三个角点，并且三个角点分别与斜杆903、遮控组环件905、方板909铰链连接。
[0036]
进一步的，请返回参考图2，所述安装盒5上从顶端到底端依次安装设有对中台2、底圆盘4和调控组件9。
[0037]
进一步的，所述传递杆902为铝合金制成，质量轻、硬度大。
[0038]
进一步的，所述弹簧908为弹簧钢制成，弹性势能大。
[0039]
本实用新型通过改进提供一种晶圆对中机构，工作原理如下；
[0040]
第一，使用时，接通相同电源，控制按下按键板8上的按键，将放置晶圆的片体结构对准中心孔3，利用调控组件9内灯路板911上的探测灯907进行检测；
[0041]
第二，在需要调节探测灯907向上输出灯束半径大小时，手动拉动控制把7，控制把7带动转动盘6向外侧位移，转动盘6右侧连接固定的传递杆902在架板901上稳定滑动；
[0042]
第三，在传递杆902位移时，铰接斜杆903，斜杆903铰接三角板906，进而三角板906所在的铰接体系分别相互影响，即三角板906铰接方板909、方板909铰接粗杆910、粗杆910铰接遮控组环件905、l架片9051铰接带动第一半环9052，进而实现对第一半环9052上阻隔环片9053的位置调节。
[0043]
本实用新型通过改进提供一种晶圆对中机构，通过优化设置了调控组件9，利用外置控制把7、转动盘6简易控制传递杆902位置，使得铰件间的铰点夹角变化进而间接控制探测灯907上阻隔件位置变动，结构简单，高效阻隔照射源控制检测光源呈像半径，使用效果好；通过优化设置了遮控组环件905，简易的第一半环9052、阻隔环片9053配合结构在l架片9051被带动转动，能够利用简易的第一半环9052、第二半环9054配合阻隔局部光源向上传递，内部配合结构配合效果好。
[0044]
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,并且本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。
[0045]
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。