技术总结
本实用新型公开了一种晶圆对中机构，包括网板、对中台、中心孔、底圆盘、安装盒、转动盘、控制把、按键板和调控组件，本实用新型通过优化设置了调控组件，利用外置控制把、转动盘简易控制传递杆位置，使得铰件间的铰点夹角变化进而间接控制探测灯上阻隔件位置变动，结构简单，高效阻隔照射源控制检测光源呈像半径，使用效果好；通过优化设置了遮控组环件，简易的第一半环、阻隔环片配合结构在L架片被带动转动，能够利用简易的第一半环、第二半环配合阻隔局部光源向上传递，内部配合结构配合效果好。好。好。
技术研发人员：徐权锋
受保护的技术使用者：芯米（厦门）半导体设备有限公司
技术研发日：2020.06.23
技术公布日：2021/1/23