晶圆夹持装置的制作方法

本发明涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆夹持装置。

背景技术：

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和英寸为主。

厂家在交货或者收货环节，经常要对其品质检验。除了正面检测，还需要对反面也进行检测，现有技术中大多采用吸盘对晶圆进行移动、翻转等。然后吸盘具有一定的面积，其位于晶圆表面时，会导致该区域无法检测或造成污染，甚至会出现真空不足造成吸附不牢而晶圆破损。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是解决上述现有技术的不足，提供一种可对晶圆进行夹持固定的装置。

为了解决上述现有技术的不足，本实用新型采用的技术方案为：一种晶圆夹持装置，包括两个夹臂用于夹持晶圆，还包括一个滑轨以及转台，夹臂的端部设置在滑轨上可沿其滑动，两个夹臂位于滑轨上的端部分别铰接一个连接片，连接片的另一端与转台铰接，转台连接电机转轴由其带动转动；当两个夹臂夹紧后，连接片与转台的铰接轴心与电机轴心位于同一平面，且该平面与滑轨平行，且任意连接片的两端均位于电机轴心的两侧。

进一步的，所述连接片与转台连接的端部呈半圆形。

进一步的，连接片的两端连线与电机轴心线垂直相交。

进一步的，所述夹臂上设置若干个夹块，夹块表面设置有凹槽，凹槽与晶圆外边缘相配合。

进一步的，还包括一个传感器用于感知夹臂之间是否存在晶圆。

进一步的，还包括两个位置传感器，所述夹臂位于转台的端部还设置有感应片，位置传感器用于探测感应片。

从上述技术方案可以看出本发明具有以下优点：本装置可以对晶圆边缘进行夹持固定，不影响正反两面的检测；此外，夹紧后，即使断电，夹紧装置可以保持夹紧装置，防止晶圆脱落。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型隐藏底座的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式做具体说明。

如图1和图2所示，本实用新型的晶圆夹持装置包括两个夹臂1用于夹持晶圆，夹臂呈圆弧形，其上设置若干个夹块2，夹块表面设置有凹槽，凹槽与晶圆外边缘相配合。夹块2可以采用质量较软的材料，减少晶圆的磨损，才外采用夹块的方式可以减少与晶圆的直接接触，减少污染面积。在夹臂上方可以设置一个传感器3用于感知夹臂之间是否存在晶圆。

本实用新型还包括一个底座9，在底座9上设置一个滑轨4以及转台8，夹臂的端部设置在滑轨4上可沿其滑动，两个夹臂位于滑轨上的端部分别铰接一个连接片7，连接片呈“s”型或者“c”型，连接片7的另一端与转台8铰接，转台连接电机10的转轴由其带动转动；当两个夹臂夹紧后，连接片与转台的铰接轴心与电机轴心位于同一平面，且该平面与滑轨平行，且任意连接片的两端均位于电机轴心的两侧，连接片的两端连线与电机轴心线垂直相交。此时即使电机断电，由于连接片的铰接点、转台与电机的连接点、位于同一条直线上，且该直线与滑轨平行，此时转台只受到平行与滑轨方向上的作用力，转台并不会发生转动，因此夹臂可以保持锁定状态，晶圆不会发生脱落。为了便于连接片的转动，连接片与转台连接的端部可以设置成半圆形。两个连接片之间转动互不影响。

此外，本实用新型还设置了两个位置传感器5，夹臂位于转台的端部还设置有感应片6，位置传感器用于探测感应片。从而判断夹臂的移动位置。精准控制夹持力度，防止晶圆损坏。

此外，通过底座还可以连接外部设备，比如连接一个机械手从而实现晶圆的夹持翻转。

技术特征：

1.一种晶圆夹持装置，包括两个夹臂用于夹持晶圆，其特征在于：还包括一个滑轨以及转台，夹臂的端部设置在滑轨上可沿其滑动，两个夹臂位于滑轨上的端部分别铰接一个连接片，连接片的另一端与转台铰接，转台连接电机转轴由其带动转动；当两个夹臂夹紧后，连接片与转台的铰接轴心与电机轴心位于同一平面，且该平面与滑轨平行，且任意连接片的两端均位于电机轴心的两侧。

2.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于：所述连接片与转台连接的端部呈半圆形。

3.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于：连接片的两端连线与电机轴心线垂直相交。

4.根据权利要求1或者2所述的晶圆夹持装置，其特征在于：所述夹臂上设置若干个夹块，夹块表面设置有凹槽，凹槽与晶圆外边缘相配合。

5.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于：还包括一个传感器用于感知夹臂之间是否存在晶圆。

6.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于：还包括两个位置传感器，所述夹臂位于转台的端部还设置有感应片，位置传感器用于探测感应片。

技术总结
本发明公开了一种晶圆夹持装置，包括两个夹臂用于夹持晶圆，还包括一个滑轨以及转台，夹臂的端部设置在滑轨上可沿其滑动，两个夹臂位于滑轨上的端部分别铰接一个连接片，连接片的另一端与转台铰接，转台连接电机转轴由其带动转动；当两个夹臂夹紧后，连接片与转台的铰接轴心与电机轴心位于同一平面，且该平面与滑轨平行，且任意连接片的两端均位于电机轴心的两侧。本装置可以对晶圆边缘进行夹持固定，不影响正反两面的检测；此外，夹紧后，即使断电，夹紧装置可以保持夹紧装置，防止晶圆脱落。

技术研发人员：肖宇;易涛;岳湘
受保护的技术使用者：无锡奇众电子科技有限公司
技术研发日：2020.12.30
技术公布日：2021.06.22