固体激光器系统、相位匹配方法和电子器件的制造方法与流程

本发明涉及固体激光器系统、相位匹配方法和电子器件的制造方法。

背景技术：

1、近年来，在半导体曝光装置中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，从曝光用光源放出的光的短波长化得以发展。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长大约为248nm的激光的krf准分子激光装置、以及输出波长大约为193nm的激光的arf准分子激光装置。

2、krf准分子激光装置和arf准分子激光装置的自然振荡光的谱线宽度较宽，大约为350～400pm。因此，在利用使krf和arf激光这种紫外线透过的材料构成投影透镜时，有时产生色差。其结果，分辨率可能降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化到能够无视色差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内，为了使谱线宽度窄带化，有时具有包含窄带化元件(标准具、光栅等)的窄带化模块(line narrow module：lnm)。下面，将谱线宽度被窄带化的气体激光装置称为窄带化气体激光装置。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2006-30594号公报

6、专利文献2：日本特开2015-155933号公报

技术实现思路

1、本公开的1个观点的固体激光器系统具有：第1激光装置，其输出第1激光；第2激光装置，其输出第2激光；第1非线性晶体，其基于第1激光生成第1波长转换光；第1调整部，其使第1波长转换光在第1非线性晶体的晶体内相位匹配；第2非线性晶体，其被配置于第1波长转换光的光路上，基于第1波长转换光和第2激光生成第2波长转换光；第2调整部，其使第2波长转换光在第2非线性晶体的晶体内相位匹配；波长选择元件，其被配置于从第2非线性晶体输出的光的光路上；光检测部，其检测在波长选择元件中通过而被选择的波长的光；以及处理器，其根据通过第2非线性晶体且由光检测部检测到的第1波长转换光和第1激光中的至少一方的强度对第1调整部进行控制，根据由光检测部检测到的第2波长转换光和通过第2非线性晶体且由光检测部检测到的第1波长转换光中的至少一方的强度对第2调整部进行控制。

2、本公开的另1个观点的相位匹配方法是波长转换系统的相位匹配方法，波长转换系统具有基于第1激光生成第1波长转换光的第1非线性晶体、以及基于从第1非线性晶体输出的第1波长转换光和第2激光生成第2波长转换光的第2非线性晶体，其中，相位匹配方法包含以下工序：检测通过第2非线性晶体后的第1波长转换光和第1激光中的至少一方；根据检测到的第1波长转换光和第1激光中的至少一方的强度，使第1波长转换光在第1非线性晶体的晶体内相位匹配；在实施了使第1波长转换光在第1非线性晶体的晶体内相位匹配的调整后，检测从第2非线性晶体输出的第2波长转换光和通过第2非线性晶体后的第1波长转换光中的至少一方；以及根据检测到的第2波长转换光和第1波长转换光中的至少一方的强度，使第2波长转换光在第2非线性晶体的晶体内相位匹配。

3、本公开的另1个观点的电子器件的制造方法包含以下工序：使用固体激光器系统生成第3激光，将第3激光输出到曝光装置，在曝光装置内在感光基板上使第3激光进行曝光，以制造电子器件，固体激光器系统具有：第1激光装置，其输出第1激光；第2激光装置，其输出第2激光；第1非线性晶体，其基于第1激光生成第1波长转换光；第1调整部，其使第1波长转换光在第1非线性晶体的晶体内相位匹配；第2非线性晶体，其被配置于第1波长转换光的光路上，基于第1波长转换光和第2激光生成第2波长转换光；第2调整部，其使第2波长转换光在第2非线性晶体的晶体内相位匹配；波长选择元件，其被配置于从第2非线性晶体输出的光的光路上；光检测部，其检测在波长选择元件中通过而被选择的波长的光；以及处理器，其根据透过第2非线性晶体且由光检测部检测到的第1波长转换光和第1激光中的至少一方的强度对第1调整部进行控制，根据由光检测部检测到的第2波长转换光和透过第2非线性晶体且由光检测部检测到的第2激光中的至少一方的强度对第2调整部进行控制。

技术特征：

1.一种固体激光器系统，其具有：

2.根据权利要求1所述的固体激光器系统，其中，

3.根据权利要求1所述的固体激光器系统，其中，

4.根据权利要求3所述的固体激光器系统，其中，

5.根据权利要求3所述的固体激光器系统，其中，

6.根据权利要求3所述的固体激光器系统，其中，

7.根据权利要求6所述的固体激光器系统，其中，

8.根据权利要求1所述的固体激光器系统，其中，

9.根据权利要求8所述的固体激光器系统，其中，

10.根据权利要求1所述的固体激光器系统，其中，

11.根据权利要求1所述的固体激光器系统，其中，

12.根据权利要求1所述的固体激光器系统，其中，

13.根据权利要求1所述的固体激光器系统，其中，

14.一种相位匹配方法，其是波长转换系统的相位匹配方法，所述波长转换系统具有基于第1激光生成第1波长转换光的第1非线性晶体、以及基于从所述第1非线性晶体输出的所述第1波长转换光和第2激光生成第2波长转换光的第2非线性晶体，其中，所述相位匹配方法包含以下工序：

15.根据权利要求14所述的相位匹配方法，其中，

16.根据权利要求14所述的相位匹配方法，其中，

17.根据权利要求14所述的相位匹配方法，其中，

18.根据权利要求17所述的相位匹配方法，其中，

19.根据权利要求14所述的相位匹配方法，其中，

20.一种电子器件的制造方法，其包含以下工序：

技术总结
本公开的一个观点的固体激光器系统具有：第1非线性晶体，其基于从第1激光装置输出的第1激光生成第1波长转换光；第1调整部，其使第1波长转换光在第1非线性晶体的晶体内相位匹配；第2非线性晶体，其基于从第2激光装置输出的第2激光和第1波长转换光生成第2波长转换光；第2调整部，其使第2波长转换光在第2非线性晶体的晶体内相位匹配；光检测部，其检测由波长选择元件选择出的波长的光，该波长选择元件被配置于从第2非线性晶体输出的光的光路上；以及处理器，其根据由光检测部检测到的第1波长转换光和第1激光中的至少一方的强度对第1调整部进行控制，根据由光检测部检测到的第2波长转换光和第1波长转换光中的至少一方的强度对第2调整部进行控制。

技术研发人员：田中洋平,曲晨
受保护的技术使用者：极光先进雷射株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11