1.本发明涉及半导体加工设备相关技术领域,尤其涉及一种点芯用引线框架上料装置。
背景技术:2.常见的半导体通常由连接引脚、芯片以及外壳构成,其中,由于引脚的体积较小且结构要求较多,因此常将铜合金或者铝合金加工为多个触点并在触点处引出了多个引脚,而后通过印刷或者点胶的方式将锡膏涂覆在对应的触点位置处,而后将对应的芯片转移至锡膏上,接着通过固化的方式进行芯片和引线框架之间的固定,固定完成后通过注塑成形的方式在对应的位置处成形防护壳。
3.而现有的在进行点芯操作时,常通过传输带将芯片逐个地转移至点芯装置的对应位置处,而后通过印刷或者点胶的方式将锡膏涂覆在触点位置处,完成后进行芯片的精确转移。这种操作方式显然提高了点芯的效率,但是在操作中,这种操作方式不方便进行引线框架的定位,从而在点芯的过程中常出现点芯位置出现偏差,容易出现废品,同时也对点胶操作也造成了上述问题,同时现有的这种方式在进行引线框架的输送时,容易导致引线框架的变形,或者引线框架在输送前就发生了变形,而引线框架的变形无疑也对点芯操作造成一定的影响。
技术实现要素:4.本发明提供一种点芯用引线框架上料装置,以解决上述现有技术的不足,在进行半导体生产时,方便进行引线框架的自动输送,在进行引线框架的输送时,能对引线框架进行矫正操作,在进行引线框架转移时能对引线框架的姿态进行调节,从而确保点芯的精确性和可靠性,具有较强的实用性。
5.为了实现本发明的目的,拟采用以下技术:一种点芯用引线框架上料装置,包括上料组件,上料组件设有输送组件,输送组件的上部设有点芯组件,多个引线框架置于上料组件内,并通过上料组件逐个地将引线框架转移至输送组件上,输送组件对转移至其上的引线框架进行姿态调节,并转移至点芯组件的下方,以使点芯组件将芯片转移至引线框架对应的点位处;上料组件包括上料机构,上料机构的出料端设有移出机构,上料机构用于多个引线框架的放置并推动位于底层的引线框架向移出机构运动,以使移出机构将引线框架转移至输送组件上;点芯组件包括下衬构件,下衬构件设有点芯机构,下衬构件用于置芯盘的放置,点芯机构用于将置芯盘上的芯片转移至引线框架对应的点位处。
6.进一步地,上料机构包括多根支撑腿,支撑腿的上端安装有基板,基板上安装有多个连接件,连接件的上端设有放置底板,放置底板呈矩形结构,放置底板的四个角均向上延伸地安装有四个l形护板,位于前侧的一对l形护板根部均设有出料豁口,基板的一端安装
有一对第一轴承座,其中一个第一轴承座安装有上料电机,上料电机的输出轴连接有一对上料盘,上料盘之间设有连接筒,第一轴承座之间设有转动座,转动座内穿有转轴,转轴的两端均设有连接板,连接板的另一端成形有键形孔,连接板的另一端之间设有连接杆,放置底板的后侧开设有运动槽,放置底板的下壁安装有一对凸形导向件,凸形导向件位于运动槽的两侧,凸形导向件之间设有推料块,推料块上安装有一对推料杆,凸形导向件均成形有推料孔,推料块的两侧均设有穿杆,穿杆均穿于推料孔,推料孔的外侧端均设有连接外板,连接外板的另一端外壁均设有带动杆,带动杆均穿于键形孔,凸形导向件的内侧端下壁安装有固定座,固定座的下端设有固定杆,固定杆挂设有拉簧,拉簧的另一端挂设于连接杆,连接板的下端外壁均设有作用轮,作用轮与上料盘相切,上料盘作用于作用轮,在拉簧的作用下,使得连接板往复摆动。
7.进一步地,上料盘呈盘形结构,上料盘呈对称结构的成形有缺口,缺口处为斜壁。
8.进一步地,移出机构包括连接于上料电机输出轴外侧端的驱动轮,驱动轮的套设有传动带,基板的前侧端安装有一对凹形安装件,凹形安装件上端安装有移出侧板,移出侧板上端开口地均成形有凹形槽,凹形槽的两侧均成形有调节孔,凹形槽内均设有活动座,凹形槽的下端均安装有固定轴承座,固定轴承座之间设有下输送辊,活动座之间设有上输送辊,移出侧板的上端均安装有盖板,盖板中间位置处安装有调节丝套,调节丝套内设有调节丝杆,调节丝杆的上端设有调节帽,调节丝杆的下端设有连接转座,连接转座安装于活动座,下输送辊的一端连接有从动轮,传动带另一端套设于从动轮。
9.进一步地,输送组件包括输送底板,输送底板呈长条状结构,输送底板向下延伸地设有四个支撑杆,输送底板开设有长条孔,输送底板的下壁安装有一对输送轴承座,其中一个输送轴承座安装有输送电机,输送轴承座之间设有多根输送导杆,其中一个输送轴承座安装有输送电机,输送电机的输出轴连接有输送丝杆,输送丝杆设有输送座,输送座向上延伸地设有穿块,穿块穿于长条孔,穿块的上端设有固定底板。
10.进一步地,固定底板的上端安装有下衬板,下衬板的两端均安装有一对调姿座,调姿座均安装有伺服电机,伺服电机的输出轴均连接有调姿轮。
11.进一步地,下衬构件包括位于输送底板上方的下衬基板,下衬基板向下延伸地设有四根下延杆,下衬基板成形有点芯矩形孔,下衬基板的一侧安装有安装竖板,安装竖板的一侧安装有工形安装架。
12.进一步地,点芯机构包括第一移动构件、第二移动构件、第三移动构件以及点芯头,第一移动构件、第二移动构件以及第三移动构件的结构相同,第一移动构件设于安装竖板,第二移动构件设于工形安装架的上端,第三移动构件设于下衬基板,第一移动构件、第二移动构件以及第三移动构件的运动方向相互垂直,第一移动构件的运动方向为竖直方向,第二移动构件的运动方向与输送组件的运动方向相互平行,第三移动构件的运动方向与输送组件的运动方向相互垂直,第一移动构件、第二移动构件以及第三移动构件带动点芯头进行三维移动,以使点芯头将芯片转移至位于点芯矩形孔处的引线框架处。
13.进一步地,第一移动构件包括一对安装底板,安装底板内侧端均设有一对凸板,每对凸板之间均设有移动导杆,安装底板均安装有一对移动轴承座,每对移动轴承座之间设有移动轮,移动轮之间套设有移动带,其中一个移动轮连接有移动电机,移动带安装有移动座,移动座的外壁安装有铰接座,铰接座铰接有第一铰接板,第一铰接板铰接有第二铰接
板,第二铰接板的另一端铰接有铰接固定座。
14.进一步地,点芯头包括安装于铰接固定座的三角板,三角板的几何中心位置处设有吸头。
15.上述技术方案的优点在于:本发明在进行半导体生产时,方便进行引线框架的自动输送,在进行引线框架的输送时,能对引线框架进行矫正操作,在进行引线框架转移时能对引线框架的姿态进行调节,从而确保点芯的精确性和可靠性,并且能够自动地实现引线框架的点芯操作,提高了点芯操作的自动化程度,同时提高了成品率,具有较强的实用性。
附图说明
16.图1示出了本发明的立体结构图。
17.图2示出了上料组件的立体结构图一。
18.图3示出了上料组件的立体结构图二。
19.图4示出了图3中所示的a处放大图。
20.图5示出了图3中所示的b处放大图。
21.图6示出了输送组件与点芯组件的立体结构图一。
22.图7示出了输送组件与点芯组件的立体结构图二。
23.图8示出了图6中所示的c处放大图。
24.图9示出了图6中所示的d处放大图。
25.附图标记:上料组件
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1,输送组件
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2,点芯组件
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3,下衬构件
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30,点芯机构
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31,支撑腿
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100,基板
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101,连接件
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102,l形护板
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103,出料豁口
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104,放置底板
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105,第一轴承座
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106,上料电机
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107,上料盘
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108,连接筒
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109,驱动轮
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110,转动座
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111,连接板
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112,作用轮
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113,键形孔
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114,连接杆
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115,连接外板
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116,凸形导向件
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117,推料块
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118,推料杆
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119,固定座
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120,固定杆
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121,拉簧
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122,传动带
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123,凹形安装件
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133,移出侧板
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134,凹形槽
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135,调节孔
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136,固定轴承座
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137,下输送辊
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138,活动座
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139,t形板
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140,盖板
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141,调节丝套
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142,调节丝杆
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143,调节帽
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144,连接转座
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145,上输送辊
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146,从动轮
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147,输送底板
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20,长条孔
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21,支撑杆
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22,输送轴承座
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23,输送电机
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24,输送丝杆
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25,输送导杆
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26,输送座
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27,下衬板
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28,调姿座
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29,伺服电机
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290,调姿轮
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291,下衬基板
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300,下延杆
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301,点芯矩形孔
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302,工形安装架
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303,安装竖板
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304,安装底板
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310,凸板
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311,移动导杆
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312,移动轴承座
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313,移动轮
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314,移动电机
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315,移动带
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316,移动座
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317,铰接座
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318,第一铰接板
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319,第二铰接板
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320,三角板
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321,吸头
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322。
具体实施方式
26.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
27.因此,以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围,而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通
技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
28.应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
29.在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
30.术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
31.术语“平行”、“垂直”等并不表示要求部件绝对平行或垂直,而是可以稍微倾斜。如“平行”仅仅是指其方向相对“垂直”而言更加平行,并不是表示该结构一定要完全平行,而是可以稍微倾斜。
32.此外,“大致”、“基本”等用语旨在说明相关内容并不是要求绝对的精确,而是可以有一定的偏差。例如:“大致等于”并不仅仅表示绝对的等于,由于实际生产、操作过程中,难以做到绝对的“相等”,一般都存在一定的偏差。因此,除了绝对相等之外,“大致等于”还包括上述的存在一定偏差的情况。以此为例,其他情况下,除非有特别说明,“大致”、“基本”等用语均为与上述类似的含义。
33.在本发明的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
34.如图1所示,一种点芯用引线框架上料装置,包括上料组件1,上料组件1设有输送组件2,输送组件2的上部设有点芯组件3,多个引线框架置于上料组件1内,并通过上料组件1逐个地将引线框架转移至输送组件2上,输送组件2对转移至其上的引线框架进行姿态调节,并转移至点芯组件3的下方,以使点芯组件3将芯片转移至引线框架对应的点位处。上料组件1包括上料机构,上料机构的出料端设有移出机构,上料机构用于多个引线框架的放置并推动位于底层的引线框架向移出机构运动,以使移出机构将引线框架转移至输送组件2上,点芯组件3包括下衬构件30,下衬构件30设有点芯机构31,下衬构件用于置芯盘的放置,点芯机构31用于将置芯盘上的芯片转移至引线框架对应的点位处。
35.该装置通过上料组件1、输送组件2以及点芯组件3进行芯片和引线框架之间的连接,其中,上料组件1通过上料机构进行多个引线框架的放置,同时推动引线框架向移出机构运动,最终通过移出机构将引线框架转移至输送组件2上,上料机构能够储放多个引线框架,从而方便实现引线框架的自动上料操作,提高了引线框架上料的自动化程度,而移出机构在进行引线框架移出时,还能对引线框架进行矫正,从而确保了点芯的成功率。输送组件2能对转移至其上的引线框架进行调节姿态,也就是说,能对引线框架的位置进行精确的调节,通过这种调节提高了点芯的精确性,同时地还能通过输送组件2将调姿完成的引线框架精确地转移至点芯组件3处。点芯组件3能将放置在芯盘上的芯片逐个地转移至引线框架的触点处,通过该组件实现了引线框架点芯的自动化程度和精确性。
36.在具体的实施的过程中,将多个引线框架置于上料机构上,而后通过上料机构逐个地将引线框架从上料机构的一端推出,而后通过移出机构将引线框架转移至输送组件2上,而后在输送组件2上进行引线框架的姿态调节,当引线框架姿态调节完成后,在输送组件2的带动下将引线框架装置至锡膏印刷或者点胶处,而后将锡膏涂覆在引线框架对应的触点处,锡膏涂覆完成后,在输送组件2的带动下将引线框架转移至点芯组件3处,并通过点芯组件3将放置在芯盘上的芯片转移至引线框架的每个触点处,当点芯完成后,输送组件2将引线框架转移至传输装置上,并接着进行锡膏的固化操作。
37.如图2
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图5所示,上料机构包括多根支撑腿100,支撑腿100的上端安装有基板101,基板101上安装有多个连接件102,连接件102的上端设有放置底板105,放置底板105呈矩形结构,放置底板105的四个角均向上延伸地安装有四个l形护板103,位于前侧的一对l形护板103根部均设有出料豁口104,基板101的一端安装有一对第一轴承座106,其中一个第一轴承座106安装有上料电机107,上料电机107的输出轴连接有一对上料盘108,上料盘108之间设有连接筒109,第一轴承座106之间设有转动座111,转动座111内穿有转轴,转轴的两端均设有连接板112,连接板112的另一端成形有键形孔114,连接板112的另一端之间设有连接杆115,放置底板105的后侧开设有运动槽,放置底板105的下壁安装有一对凸形导向件117,凸形导向件117位于运动槽的两侧,凸形导向件117之间设有推料块118,推料块118上安装有一对推料杆119,凸形导向件117均成形有推料孔,推料块118的两侧均设有穿杆,穿杆均穿于推料孔,推料孔的外侧端均设有连接外板116,连接外板116的另一端外壁均设有带动杆,带动杆均穿于键形孔114,凸形导向件117的内侧端下壁安装有固定座120,固定座120的下端设有固定杆121,固定杆121挂设有拉簧122,拉簧122的另一端挂设于连接杆115,连接板112的下端外壁均设有作用轮113,作用轮113与上料盘108相切,上料盘108作用于作用轮113,在拉簧122的作用下,使得连接板112往复摆动。上料盘108呈盘形结构,上料盘108呈对称结构的成形有缺口,缺口处为斜壁。作为另外一种实施方式,可将上料盘108设置为凸轮的形式。
38.上料机构中的放置底板105和四个l形护板103对放置在其中的引线框架起着限位的作用,从而方便进行引线框架的自动出料操作,其中的放置底板105对引线框架起着下端支撑的作用,而l形护板103对引线框架的四个角起着限位的作用,通过这种限位在出料时确保引线框架的单片推出,而其中设置在其中一对l形护板103根部的出料豁口104仅能允许一片引线框架从其中穿过。
39.上料机构在进行引线框架推出时,上料电机107带动上料盘108进行转动,当上料盘108为凸轮时,上料盘108为偏心转动,而当上料盘108呈对称结构的成形有缺口时,上料盘108与上料电机107的输出轴同心转动,而无论上料盘108是何种结构特征,当上料盘108转动时,都能使得作用轮113周期性的绕着转动座111进行摆动,其中作用轮113的使用能够提高这种摆动的灵活性,同时降低了摩擦力,进而也就提高了该设备的使用寿命。而当作用轮113进行往复摆动时,将使得连接板112在拉簧122的作用下进行往复摆动,而当连接板112进行往复摆动时,将作用于其上端的推料块118沿着凸形导向件117的导向方向进行往复摆动,当推料块118向移出机构处运动时,将使得推料杆119作用于引线框架的后端,并将引线框架推向移出机构处,并最终通过移出机构将引线框架移出。而当推料杆119运动至极限位置后,此时拉簧122处于自然伸长状态,同时,作用轮113位于上料盘108的缺口处,而当
引线框架推出后,上料盘108继续转动,并使得作用轮113作用于上料盘108的弧壁处,而后在上料盘108的作用下作用轮113向后运动,并使得拉簧122被拉伸,直至作用轮113摆动至极限位置处时,推料杆119从放置底板105的后侧端移出,并且此时,位于上侧的引线框架向下运动,而后进行引线框架的再次推送操作。
40.移出机构包括连接于上料电机107输出轴外侧端的驱动轮110,驱动轮110的套设有传动带123,基板101的前侧端安装有一对凹形安装件133,凹形安装件133上端安装有移出侧板134,移出侧板134上端开口地均成形有凹形槽135,凹形槽135的两侧均成形有调节孔136,凹形槽135内均设有活动座139,凹形槽135的下端均安装有固定轴承座137,固定轴承座137之间设有下输送辊138,活动座139之间设有上输送辊146,移出侧板134的上端均安装有盖板141,盖板141中间位置处安装有调节丝套142,调节丝套142内设有调节丝杆143,调节丝杆143的上端设有调节帽144,调节丝杆143的下端设有连接转座145,连接转座145安装于活动座139,活动座139的两侧均设置了t形板140,t形板140均穿于调节孔136内,下输送辊138的一端连接有从动轮147,传动带123另一端套设于从动轮147。
41.移出机构中的下输送辊138在转动中能够带动引线框架向外运动,而其中的上输送辊146对引线框架起着限位的作用,同时两者相互配合还能进行引线框架的矫正操作。同时为了确保上输送辊146限位以及矫正的稳定性,因此将上输送辊146设置为可调节的方式,同时地,为了提高上输送辊146和下输送辊138与引线框架之间的摩擦力,同时在矫正的过程中避免对引线框架的结构造成影响,因此在上输送辊146和下输送辊138的外壁均设置了硬质橡胶垫。其中在对上输送辊146的高度进行调节时,通过调节帽144对调节丝杆143进行转动,调节丝杆143在转动时将对活动座139的位置进行调节,并最终实现了上输送辊146高度的调节。而下输送辊138的转动是通过上料电机107带动,这种方式能够确保上料和移出的同步性,且方便进行控制。
42.如图6
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图9所示,输送组件2包括输送底板20,输送底板20呈长条状结构,输送底板20向下延伸地设有四个支撑杆22,输送底板20开设有长条孔21,输送底板20的下壁安装有一对输送轴承座23,其中一个输送轴承座23安装有输送电机24,输送轴承座23之间设有多根输送导杆26,其中一个输送轴承座23安装有输送电机24,输送电机24的输出轴连接有输送丝杆25,输送丝杆25设有输送座27,输送座27向上延伸地设有穿块,穿块穿于长条孔21,穿块的上端设有固定底板。固定底板的上端安装有下衬板28,下衬板28的两端均安装有一对调姿座29,调姿座29均安装有伺服电机290,伺服电机290的输出轴均连接有调姿轮291。该机构中的调姿轮291在伺服电机290的带动下对引线框架的位置进行调节,为了确保调节的可控性和精确性,在下衬板28的两侧各设置一个红外感应器,通过红外感应器标定引线框架的位置,进而提高了引线框架位置调节的精确性。且引线框架最终调节的效果为,引线框架和下衬板28重合。而在进行引线框架转移时采用了移动精度高的丝杠机构。当然也可以采用环形输送带的方式进行引线框架的输送,这种输送方式能够提高点芯的效率。
43.如图6
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图9所示,下衬构件30包括位于输送底板20上方的下衬基板300,下衬基板300向下延伸地设有四根下延杆301,下衬基板300成形有点芯矩形孔302,下衬基板300的一侧安装有安装竖板304,安装竖板304的一侧安装有工形安装架303。其中,点芯矩形孔302的设置能够方便进行点芯操作,同时为了确保点芯时的精确性或者确保引线框架转移的精确性,在点芯矩形孔302的下壁设置对应的红外感应器,通过红外感应器对引线框架的位置确
定。而下衬基板300能够进行芯盘的放置,其中,芯盘是由一个具有空腔的下底板和上盖板组成,其中下底板连通有连接头,而上盖板上成形有多个上端孔径大下端孔径小的孔眼,当在进行芯片装填时,下底板的空腔内通过抽气装置被抽为负压,而当芯片装填在孔眼后取消吸气,而在芯盘放置时,通过由几个气缸定位组成的定位机构对芯盘的位置进行精确固定,而后进行点芯操作。
44.点芯机构31包括第一移动构件、第二移动构件、第三移动构件以及点芯头,第一移动构件、第二移动构件以及第三移动构件的结构相同,第一移动构件设于安装竖板304,第二移动构件设于工形安装架303的上端,第三移动构件设于下衬基板300,第一移动构件、第二移动构件以及第三移动构件的运动方向相互垂直,第一移动构件的运动方向为竖直方向,第二移动构件的运动方向与输送组件2的运动方向相互平行,第三移动构件的运动方向与输送组件2的运动方向相互垂直,第一移动构件、第二移动构件以及第三移动构件带动点芯头进行三维移动,以使点芯头将芯片转移至位于点芯矩形孔302处的引线框架处。第一移动构件包括一对安装底板310,安装底板310内侧端均设有一对凸板311,每对凸板311之间均设有移动导杆312,安装底板310均安装有一对移动轴承座313,每对移动轴承座313之间设有移动轮314,移动轮314之间套设有移动带316,其中一个移动轮314连接有移动电机315,移动带316安装有移动座317,移动座317的外壁安装有铰接座318,铰接座318铰接有第一铰接板319,第一铰接板319铰接有第二铰接板320,第二铰接板320的另一端铰接有铰接固定座。点芯头包括安装于铰接固定座的三角板321,三角板321的几何中心位置处设有吸头322。该机构采用三轴调节方式进行点芯操作,这种点芯操作方式自动化程度高,同时方便控制。而该机构主要的调节方式采用的是移动带316传动的方式,这种传动方式方便控制,同时调节响应速度快。当然也可以采用丝杠调节的方式,这种调节方式具有优异的精确性。而在具体的操作中,主要通过对第一移动构件、第二移动构件以及第三移动构件中的移动座317的位置进行监测来达到控制吸头322位置的目的,这种调节方式能够实现芯片的三维转移,而吸头322通过负压吸附的特点进行芯片本身的吸取固定,并且当芯片转移至对应的触点处时方便取消芯片的固定。
45.以上所述仅为本发明的优选实施例,并不用于限制本发明,显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。