一种晶片浸液治具的制作方法

1.本实用新型涉及晶片制造领域，尤其涉及一种晶片浸液治具。


背景技术：

2.随着微电子行业的日益发展，各类芯片用到的晶片需求量越大。由于晶片的需求量大故生产效率需同步进行提升。晶片生产中有一制程需要对晶片进行浸液清洗。
3.因此，需要开发了晶片浸液治具，以提高制程的效率。


技术实现要素：

4.（一）实用新型目的
5.为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种晶片浸液治具，实现产品的快速放置和拆卸；第一齿板和第二齿板还能够放置产品晃动及滑出；设备设备机械结构紧凑小巧。
6.（二）技术方案
7.为解决上述问题，本实用新型提出了一种晶片浸液治具，包括安装板、定位挡块、活动挡块、限位杆、第一限位件、第一调节件、第二限位件、第二调节件、底部限位件和第三调节件；
8.安装板包括前安装板和后安装板；前安装板和后安装板之间设置多个支撑杆；
9.前安装板和后安装板的上端均设有开口向上的凹槽，限位杆的两端放置在该凹槽内；其中，在前安装板上，限位杆的端部通过定位挡块进行限位；在后安装板上，限位杆的端部通过活动挡块进行限位；
10.第一限位件与第二限位件并排设置；
11.第一限位件的两端沿横向滑动设置在安装板上；第一限位件的上表面和下表面均设置第一齿板，并且第一齿板通过第一调节件沿纵向滑动设置在第一限位件上；
12.第二限位件的两端沿横向滑动设置在安装板上；第二限位件的上表面和下表面均设置第二齿板；并且第二齿板通过第二调节件沿纵向滑动设置在第二限位件上；
13.底部限位件位于第一限位件及第二限位件中间位置处的正下方；
14.底部限位件两端通过第三调节件与安装板滑动连接，底部限位件两沿安装板的竖直方向滑动。
15.优选的，包括提手和连杆；提手两端均连接连杆，接连杆外周设置接连套；两个连杆的下端分别通过接连套转动连接前安装板和后安装板。
16.本实用新型中，第一限位件与第二限位件能够沿横向移动进行调整，以适应不同长度产品的放置；两个第一齿板和两个第二齿板能够沿纵向滑动进行调整，以适应产品的放置角度（或产品本身存在的角度），底部限位件位能够沿竖直方向进行滑动调整，以适应不同宽度产品的放置。
17.本实用新型，实现产品的快速放置和拆卸；第一齿板和第二齿板还能够放置产品
晃动及滑出；设备设备机械结构紧凑小巧。
附图说明
18.图1为本实用新型提出的晶片浸液治具的结构示意图。
19.图2为本实用新型提出的晶片浸液治具中部分结构示意图。
具体实施方式
20.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
21.如图1
‑
2所示，本实用新型提出的一种晶片浸液治具，包括安装板、定位挡块3、活动挡块8、限位杆9、第一限位件10、第一调节件11、第二限位件12、第二调节件13、底部限位件15和第三调节件14；
22.安装板包括前安装板4和后安装板7；前安装板4和后安装板7之间设置多个支撑杆6；
23.前安装板4和后安装板7的上端均设有开口向上的凹槽，限位杆9的两端放置在该凹槽内；其中，在前安装板4上，限位杆9的端部通过定位挡块3进行限位；在后安装板7上，限位杆9的端部通过活动挡块8进行限位；
24.第一限位件10与第二限位件12并排设置；
25.第一限位件10的两端沿横向滑动设置在安装板上；第一限位件10的上表面和下表面均设置第一齿板，并且第一齿板通过第一调节件11沿纵向滑动设置在第一限位件10上；
26.第二限位件12的两端沿横向滑动设置在安装板上；第二限位件12的上表面和下表面均设置第二齿板；并且第二齿板通过第二调节件13沿纵向滑动设置在第二限位件12上；
27.底部限位件15位于第一限位件10及第二限位件12中间位置处的正下方；
28.底部限位件15两端通过第三调节件14与安装板滑动连接，底部限位件15两沿安装板的竖直方向滑动。
29.本实用新型中，第一限位件10与第二限位件12能够沿横向移动进行调整，以适应不同长度产品的放置；两个第一齿板和两个第二齿板能够沿纵向滑动进行调整，以适应产品的放置角度（或产品本身存在的角度），底部限位件15位能够沿竖直方向进行滑动调整，以适应不同宽度产品的放置。
30.本实用新型，实现产品的快速放置和拆卸；第一齿板和第二齿板还能够放置产品晃动及滑出；设备设备机械结构紧凑小巧。
31.在一个可选的实施例中，包括提手1和连杆2；提手1两端均连接连杆2，接连杆2外周设置接连套5；两个连杆2的下端分别通过接连套5转动连接前安装板4和后安装板7。
32.需要说明的是，设备移动方便，使用更加便捷。
33.应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，
本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。


技术特征：
1.一种晶片浸液治具，其特征在于，包括安装板、定位挡块（3）、活动挡块（8）、限位杆（9）、第一限位件（10）、第一调节件（11）、第二限位件（12）、第二调节件（13）、底部限位件（15）和第三调节件（14）；安装板包括前安装板（4）和后安装板（7）；前安装板（4）和后安装板（7）之间设置多个支撑杆（6）；前安装板（4）和后安装板（7）的上端均设有开口向上的凹槽，限位杆（9）的两端放置在该凹槽内；其中，在前安装板（4）上，限位杆（9）的端部通过定位挡块（3）进行限位；在后安装板（7）上，限位杆（9）的端部通过活动挡块（8）进行限位；第一限位件（10）与第二限位件（12）并排设置；第一限位件（10）的两端沿横向滑动设置在安装板上；第一限位件（10）的上表面和下表面均设置第一齿板，并且第一齿板通过第一调节件（11）沿纵向滑动设置在第一限位件（10）上；第二限位件（12）的两端沿横向滑动设置在安装板上；第二限位件（12）的上表面和下表面均设置第二齿板；并且第二齿板通过第二调节件（13）沿纵向滑动设置在第二限位件（12）上；底部限位件（15）位于第一限位件（10）及第二限位件（12）中间位置处的正下方；底部限位件（15）两端通过第三调节件（14）与安装板滑动连接，底部限位件（15）两沿安装板的竖直方向滑动。2.根据权利要求1所述的晶片浸液治具，其特征在于，包括提手（1）和连杆（2）；提手（1）两端均连接连杆（2），连杆（2）外周设置接连套（5）；两个连杆（2）的下端分别通过接连套（5）转动连接前安装板（4）和后安装板（7）。

技术总结
一种晶片浸液治具，包括安装板、定位挡块、活动挡块、限位杆、第一限位件、第一调节件、第二限位件、第二调节件、底部限位件和第三调节件；安装板包括前安装板和后安装板；前安装板和后安装板之间设置多个支撑杆；前安装板和后安装板的上端均设有开口向上的凹槽，限位杆的两端放置在该凹槽内；其中，在前安装板上，限位杆的端部通过定位挡块进行限位；在后安装板上，限位杆的端部通过活动挡块进行限位；第一限位件与第二限位件并排设置；底部限位件位于第一限位件及第二限位件中间位置处的正下方。本实用新型，实现产品的快速放置和拆卸；第一齿板和第二齿板还能够放置产品晃动及滑出；设备设备机械结构紧凑小巧。备设备机械结构紧凑小巧。备设备机械结构紧凑小巧。


技术研发人员：王铭乾 钟兴才 周旦兴
受保护的技术使用者：深圳市鑫亿晶科技有限公司
技术研发日：2021.02.06
技术公布日：2021/9/10