一种晶圆传送轨道装置的制作方法

1.本实用新型主要涉及半导体设备领域，尤其涉及一种晶圆传送轨道装置。


背景技术：

2.背面研磨工序，晶圆作业完成后，需要从台盘上传送到料盒中。需要通过轨道传送装置进行中间作业。轨道传送装置的工作原理：1. 轨道抬升，将晶圆从台盘上剥离；2.台盘回退至轨道动作区域以外； 3.轨道下降(携带晶圆)；4.推手将晶圆从轨道推送至料盒中。原来的传送轨道特点：是直通式的，轨道宽度10毫米，此种轨道的设计存在以下问题：台盘回退的动作带走晶圆(静电、粘粘等问题)；晶圆从轨道上脱落，设备其他部位动作时会撞击晶圆；以上问题点发生时，会造成大量的不良。


技术实现要素：

3.针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种晶圆传送轨道装置，包括轨道1，轨道上设有多个光电传感器4，所述轨道1的顶端设置封闭块2，所述轨道1上设有滑槽，封闭块2位于滑槽的末端处防止晶圆脱落，所述光电传感器4连接控制器，所述控制器连接报警装置，所述轨道1为一体式铣出。
4.优选的，所述轨道通过螺丝孔3固定。
5.优选的，所述轨道1位两根平行的轨道，晶圆移动装置沿着两根轨道滑动。
6.优选的，所述光电传感器4分别设置在两根轨道上。
7.优选的，所述光电传感器4设有三个。
8.优选的，三个光电传感器4分别位于两根轨道上，且交错设置。
9.优选的，两根轨道距离为15mm。
10.本实用新型的有益效果：
11.实时监控晶圆在轨道上的位置，在晶圆掉落轨道时，实时报警，实现晶圆异常状态(掉落、脱落等)的报警。
附图说明
12.图1为本实用新型的轨道结构图；
13.图2为图1中封闭块2的结构放大图；
14.图3为本实用新型的结构图。
具体实施方式
15.为了使本技术领域人员更好地理解本发明的技术方案，并使本发明的上述特征、目的以及优点更加清晰易懂，下面结合实施例对本发明做进一步的说明。实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。
16.如图1
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3所示可知，本实用新型包括有：
17.一种晶圆传送轨道装置，包括轨道1，轨道上设有多个光电传感器4，所述轨道1的顶端设置封闭块2，所述轨道1上设有滑槽，封闭块2位于滑槽的末端处防止晶圆脱落，所述光电传感器4连接控制器，所述控制器连接报警装置，所述轨道1为一体式铣出。
18.在本实施中优选的，所述轨道通过螺丝孔3固定。
19.在本实施中优选的，所述轨道1位两根平行的轨道，晶圆移动装置沿着两根轨道滑动。
20.在本实施中优选的，所述光电传感器4分别设置在两根轨道上。
21.在本实施中优选的，所述光电传感器4设有三个。
22.在本实施中优选的，三个光电传感器4分别位于两根轨道上，且交错设置。
23.在本实施中优选的，两根轨道距离为15mm。
24.直通式的轨道更改为半封闭式，轨道加宽至15mm；直通式轨道会出现轨道两端产品都可以进出，采用半封闭式的轨道，只保留轨道固定的出口端，防止台盘因为静电或粘黏问题带走晶圆，造成品质不良；轨道上增加光电传感器；增加了光电传感器，实时监控晶圆在轨道上的位置；增加控制器在晶圆掉落轨道时，实时报警；通过对光电传感器信息的分析，实现晶圆异常状态(掉落、脱落等)的报警。轨道加宽至15mm。整个轨道通过一体化铣出，保证精度的同时增加轨道的刚性，电气路。
25.在两侧的轨道上增加3个传感器，在晶圆送出的动作期间，通过三个传感器监控晶圆的位置，当三个传感器全部感应不到晶圆时，送出报警信号给设备。
26.上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效，而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本专利请的权利要求所涵盖。


技术特征：
1.一种晶圆传送轨道装置，其特征在于，包括轨道(1)，轨道上设有多个光电传感器(4)，所述轨道(1)的顶端设置封闭块(2)，所述轨道(1)上设有滑槽，封闭块(2)位于滑槽的末端处防止晶圆脱落，所述光电传感器(4)连接控制器，所述控制器连接报警装置，所述轨道(1)为一体式铣出。2.根据权利要求1所述的一种晶圆传送轨道装置，其特征在于：所述轨道通过螺丝孔(3)固定。3.根据权利要求2所述的一种晶圆传送轨道装置，其特征在于：所述轨道(1)位两根平行的轨道，晶圆移动装置沿着两根轨道滑动。4.根据权利要求3所述的一种晶圆传送轨道装置，其特征在于：所述光电传感器(4)分别设置在两根轨道上。5.根据权利要求4所述的一种晶圆传送轨道装置，其特征在于：所述光电传感器(4)设有三个。6.根据权利要求5所述的一种晶圆传送轨道装置，其特征在于：三个光电传感器(4)分别位于两根轨道上，且交错设置。7.根据权利要求6所述的一种晶圆传送轨道装置，其特征在于：两根轨道距离为15mm。

技术总结
本实用新型提供一种晶圆传送轨道装置，包括轨道，轨道上设有多个光电传感器，所述轨道的顶端设置封闭块，所述导轨上设有滑槽，封闭块位于滑槽的末端处防止晶圆脱落，所述光电传感器连接控制器，所述控制器连接报警装置，所述轨道为一体式铣出，实时监控晶圆在轨道上的位置，在晶圆掉落轨道时，实时报警，实现晶圆异常状态的报警。常状态的报警。常状态的报警。


技术研发人员：梅雪军 朱文龙
受保护的技术使用者：海太半导体（无锡）有限公司
技术研发日：2021.04.30
技术公布日：2021/12/24