一种硅片自动校准机构的制作方法

1.本实用新型涉及自动校准技术领域，特别涉及一种硅片自动校准机构。


背景技术：

2.硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，甚至悄悄进入每一个家庭。硅片在生产的过程中需要进行自动校准定位，便于操作和加工。
3.现有的硅片自动校准机构存在以下缺点：1、硅片自动校准机构不能在横向和纵向上精准校准定位；2、滑动的过程中稳定效果不显著。为此，我们提出一种硅片自动校准机构。


技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的在于提供一种硅片自动校准机构，可以有效解决背景技术中的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
6.一种硅片自动校准机构，包括纵向滑轨、横向滑轨和基板，所述基板的下端通过限位槽嵌设有纵向滑轨，所述纵向滑轨之间焊接有导向套，所述基板的顶部两侧通过限位螺钉设置有横向滑轨，所述横向滑轨之间通过聚氨酯胶粘结有固定条，所述横向滑轨的顶部设置有硅片承载板。
7.进一步地，所述导向套内贯穿有导向杆，所述导向杆的一端通过螺钉安装有l形推杆，所述l形推杆的顶部一端通过定位螺栓安装有硅片推板，所述基板的底部一端焊接有固定端块，所述固定端块内通过螺栓孔安装有调节螺杆，且调节螺杆的一端部通过轴承固定在导向杆一端。
8.进一步地，所述基板的底部两端通过螺钉安装有纵向滑块，且纵向滑块位于纵向滑轨；利用纵向滑块位于纵向滑轨内，使基板在纵向滑轨上纵向滑动到指定的位置。
9.进一步地，所述固定条上设置有减速槽，且固定条为pp材料制成。
10.进一步地，所述硅片承载板的底部两端通过螺钉安装有横向滑块，且横向滑块位于横向滑轨内；从而使l形推杆一侧的硅片推板推动硅片承载板进行横向滑动。
11.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
12.1.本实用新型一种硅片自动校准机构，首先将硅片置于硅片承载板的顶部，利用纵向滑块位于纵向滑轨内，使基板在纵向滑轨上纵向滑动到指定的位置，纵向位置确定后，工作人员旋动固定端块一侧的调节螺杆，带动导向杆在导向套内水平移动，从而使l形推杆一侧的硅片推板推动硅片承载板进行横向滑动。
13.2.本实用新型一种硅片自动校准机构，利用横向滑块在横向滑轨内滑动，使硅片
推板顶部的硅片平稳运行，实现精准横向定位，并且利用固定条顶部的减速槽，增加与硅片承载板之间的阻力，使硅片承载板稳定效果显著，防止晃动，固定条为pp材料制成，弹性高，密贴效果好，并且耐酸碱腐蚀，不易损坏，经久耐用。
附图说明
14.图1为本实用新型一种硅片自动校准机构的侧视图。
15.图2为本实用新型一种硅片自动校准机构的俯视图。
16.图3为本实用新型一种硅片自动校准机构的固定端块和调节螺杆结构示意图。
17.图中：1、基板；2、固定条；3、横向滑轨；4、导向套；5、固定端块；6、调节螺杆；7、纵向滑轨；8、l形推杆；9、硅片推板；10、硅片承载板；11、限位螺钉；12、导向杆；13、纵向滑块；14、定位螺栓；15、横向滑块。
具体实施方式
18.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
19.如图1
‑
3所示，一种硅片自动校准机构，包括纵向滑轨7、横向滑轨3和基板1，所述基板1的下端通过限位槽嵌设有纵向滑轨7，所述纵向滑轨7之间焊接有导向套4，所述基板1的顶部两侧通过限位螺钉11设置有横向滑轨3，所述横向滑轨3之间通过聚氨酯胶粘结有固定条2，所述横向滑轨3的顶部设置有硅片承载板10。
20.其中，所述导向套4内贯穿有导向杆12，所述导向杆12的一端通过螺钉安装有l形推杆8，所述l形推杆8的顶部一端通过定位螺栓14安装有硅片推板9，所述基板1的底部一端焊接有固定端块5，所述固定端块5内通过螺栓孔安装有调节螺杆6，且调节螺杆6的一端部通过轴承固定在导向杆12一端。
21.本实施例中如图1、3所示，工作人员旋动固定端块5一侧的调节螺杆6，带动导向杆12在导向套4内水平移动，从而使l形推杆8一侧的硅片推板9推动硅片承载板10进行横向滑动。
22.其中，所述基板1的底部两端通过螺钉安装有纵向滑块13，且纵向滑块13位于纵向滑轨7。
23.本实施例中如图1、2所示，利用纵向滑块13位于纵向滑轨7内，使基板1在纵向滑轨7上纵向滑动到指定的位置。
24.其中，所述固定条2上设置有减速槽16，且固定条2为pp材料制成。
25.本实施例中如图2所示，固定条2为pp材料制成，弹性高，密贴效果好，并且耐酸碱腐蚀，不易损坏，经久耐用。
26.其中，所述硅片承载板10的底部两端通过螺钉安装有横向滑块15，且横向滑块15位于横向滑轨3内。
27.本实施例中如图1所示，横向滑块15位于横向滑轨3内，使硅片承载板10横向滑动，便于精准定位。
28.需要说明的是，本实用新型为一种硅片自动校准机构，工作时，首先将硅片置于硅片承载板10的顶部，利用纵向滑块13位于纵向滑轨7内，使基板1在纵向滑轨7上纵向滑动到
指定的位置，纵向位置确定后，工作人员旋动固定端块5一侧的调节螺杆6，带动导向杆12在导向套4内水平移动，从而使l形推杆8一侧的硅片推板9推动硅片承载板10进行横向滑动，利用横向滑块15在横向滑轨3内滑动，使硅片推板9顶部的硅片平稳运行，实现精准横向定位，并且利用固定条2顶部的减速槽16，增加与硅片承载板10之间的阻力，使硅片承载板10稳定效果显著，防止晃动，固定条2为pp材料制成，弹性高，密贴效果好，并且耐酸碱腐蚀，不易损坏，经久耐用。
29.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征：
1.一种硅片自动校准机构，包括纵向滑轨(7)、横向滑轨(3)和基板(1)，其特征在于：所述基板(1)的下端通过限位槽嵌设有纵向滑轨(7)，所述纵向滑轨(7)之间焊接有导向套(4)，所述基板(1)的顶部两侧通过限位螺钉(11)设置有横向滑轨(3)，所述横向滑轨(3)之间通过聚氨酯胶粘结有固定条(2)，所述横向滑轨(3)的顶部设置有硅片承载板(10)。2.根据权利要求1所述的一种硅片自动校准机构，其特征在于：所述导向套(4)内贯穿有导向杆(12)，所述导向杆(12)的一端通过螺钉安装有l形推杆(8)，所述l形推杆(8)的顶部一端通过定位螺栓(14)安装有硅片推板(9)，所述基板(1)的底部一端焊接有固定端块(5)，所述固定端块(5)内通过螺栓孔安装有调节螺杆(6)，且调节螺杆(6)的一端部通过轴承固定在导向杆(12)一端。3.根据权利要求1所述的一种硅片自动校准机构，其特征在于：所述基板(1)的底部两端通过螺钉安装有纵向滑块(13)，且纵向滑块(13)位于纵向滑轨(7)。4.根据权利要求1所述的一种硅片自动校准机构，其特征在于：所述固定条(2)上设置有减速槽(16)，且固定条(2)为pp材料制成。5.根据权利要求1所述的一种硅片自动校准机构，其特征在于：所述硅片承载板(10)的底部两端通过螺钉安装有横向滑块(15)，且横向滑块(15)位于横向滑轨(3)内。

技术总结
本实用新型公开了一种硅片自动校准机构，包括纵向滑轨、横向滑轨和基板，所述基板的下端通过限位槽嵌设有纵向滑轨，所述纵向滑轨之间焊接有导向套，所述基板的顶部两侧通过限位螺钉设置有横向滑轨，所述横向滑轨之间通过聚氨酯胶粘结有固定条，所述横向滑轨的顶部设置有硅片承载板。该新型硅片自动校准机构能在横向和纵向上精准校准定位，滑动的过程中稳定效果显著，适合广泛推广使用。适合广泛推广使用。适合广泛推广使用。


技术研发人员：马胜南
受保护的技术使用者：南轩（天津）科技有限公司
技术研发日：2021.05.08
技术公布日：2021/12/28