一种新型晶圆片筐的制作方法

1.本实用新型涉及半导体器件芯片制造设备领域，具体地，涉及一种新型晶圆片筐。


背景技术：

2.半导体元器件生产行业中各工序，硅片传送需要用片筐承载，片筐材质有金属、非金属，每片硅片均需要从片筐传送到设备，执行完工艺后再传送回片筐。由于传送精度要求较高，每一个片筐上的片筐槽尺寸狭小，有概率导致硅片与片筐槽的内壁撞击造成传送位置偏差，导致碎片等一系列严重后果，严重影响设备利用率，增加成本损失。
3.因此亟需一种新型的晶圆片筐，通过增加传片容错率，避免传片不到位、传片卡壳问题，从而提高设备稳定性，提高传片成功率。


技术实现要素：

4.为克服上述现有技术的不足，本实用新型提供一种新型晶圆片筐，使每一片晶圆回传后可以更容易回到目标位置，降低阻力，提高传送成功率的装置，保证设备利用率。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
6.一种新型晶圆片筐，结构包括左壁、右壁、顶板、连接杆，所述顶板与连接杆均固定连接于左壁与右壁之间，所述左壁与右壁相互对应且结构对称，以左壁为例，所述左壁的内侧自上而下间隔设有一定数量的扁平状的凸起一，相邻的凸起一之间形成一个片筐槽一，所述凸起一的前端还设有一个斜面，所述左壁上位于最上端的凸起一的顶部还设有一个长条形的凸起二，所述顶板的两端分别固定连接于左壁与右壁的凸起二上，进而实现顶板与左壁和右壁的固定连接，所述连接杆的两端分别固定连接于左壁和右壁的下部，并位于最底端的凸起一的下方，进而实现连接杆与左壁和右壁的固定连接，所述右壁与左壁的外侧面均设有一个方形的凹陷。
7.优选地，所述凸起一与凸起二之间形成一个片筐槽二，所述片筐槽二与片筐槽一外形尺寸相同。
8.优选地，所述凸起一与凸起二的尾端还固定连接有一个竖直向下贯通的加强筋。
9.本实用新型的有益效果为：
10.本实用新型在每一个凸起一的前端延入片方向一侧做单面斜坡，可以有效增加横向入片时入片位置的容错率，避免传片不到位、传片卡壳问题，从而提高设备稳定性，提高传片成功率，防止晶圆在传送过程中碎片的问题发生，该片筐对于重量较高晶圆或有托晶圆作用更明显，而且其结构简单，除了设有必要的支撑，其他的地方均为镂空状，质量大大减轻，节省了传片时的劳动强度。
附图说明
11.图1为本实用新型的结构示意图；
12.图2为本实用新型的爆炸视图；
13.图中所示附图标记为：1-左壁、2-右壁、3-顶板、4-连接杆、5-凸起一、6-片筐槽一、7-斜面、8-凸起二、9-凹陷、10-片筐槽二、11-加强筋。
具体实施方式
14.以下结合附图对本设计方案进行详细说明。
15.如图1-图2所示，一种新型晶圆片筐，结构包括左壁1、右壁2、顶板3、连接杆4，其中顶板3与连接杆4均固定连接于左壁1与右壁2之间，左壁1与右壁2相互对应且结构对称，以左壁1为例，左壁1的内侧自上而下间隔设有一定数量的扁平状的凸起一5，相邻的凸起一5之间形成一个片筐槽一6，凸起一5的前端还设有一个斜面7，左壁1上位于最上端的凸起一5的顶部还设有一个长条形的凸起二8，顶板3的两端分别固定连接于左壁1与右壁2的凸起二上，进而实现顶板3与左壁1和右壁2的固定连接，连接杆4的两端分别固定连接于左壁1和右壁2的下部，并位于最底端的凸起一5的下方，进而实现连接杆4与左壁1和右壁2的固定连接，右壁2与左壁1的外侧面均设有一个方形的凹陷9。
16.其中，凸起一5与凸起二8之间形成一个片筐槽二10，片筐槽二10与片筐槽一6外形尺寸相同。
17.其中，凸起一5与凸起二8的尾端还固定连接有一个竖直向下贯通的加强筋11，用于对晶圆片筐的加固。
18.实施例
19.本实用新型在将硅片传送回晶圆片筐的过程中使用，使用时，将每个硅片对准相对应的片筐槽一6与片筐槽二10，推入晶圆片筐内，由于凸起一5设有的斜面7结构，使得片筐槽一6与片筐槽二10的进口处宽度增加，并具备导向的功能，可以有效增加横向入片时入片位置的容错率，本实用新型的晶圆片筐，运行可靠，极大降低传动故障率及相应的碎片率，可以有效提高设备稳定性，对于重量较高晶圆或有托晶圆作用更明显。


技术特征：
1.一种新型晶圆片筐，其特征在于，结构包括左壁、右壁、顶板、连接杆，所述顶板与连接杆均固定连接于左壁与右壁之间，所述左壁与右壁相互对应且结构对称，以左壁为例，所述左壁的内侧自上而下间隔设有一定数量的扁平状的凸起一，相邻的凸起一之间形成一个片筐槽一，所述凸起一的前端还设有一个斜面，所述左壁上位于最上端的凸起一的顶部还设有一个长条形的凸起二，所述顶板的两端分别固定连接于左壁与右壁的凸起二上，进而实现顶板与左壁和右壁的固定连接，所述连接杆的两端分别固定连接于左壁和右壁的下部，并位于最底端的凸起一的下方，进而实现连接杆与左壁和右壁的固定连接，所述右壁与左壁的外侧面均设有一个方形的凹陷。2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆片筐，其特征在于，所述凸起一与凸起二之间形成一个片筐槽二，所述片筐槽二与片筐槽一外形尺寸相同。3.根据权利要求1所述的一种新型晶圆片筐，其特征在于，所述凸起一与凸起二的尾端还固定连接有一个竖直向下贯通的加强筋。

技术总结
本实用新型公开了一种新型晶圆片筐，结构包括左壁、右壁、顶板、连接杆，其中顶板与连接杆均固定连接于左壁与右壁之间，左壁与右壁相互对应且结构对称，以左壁为例，左壁的内侧自上而下间隔设有一定数量的扁平状的凸起一，相邻的凸起一之间形成一个片筐槽一，凸起一的前端还设有一个斜面，左壁上位于最上端的凸起一的顶部还设有一个长条形的凸起二，顶板的两端分别固定连接于左壁与右壁的凸起二上，连接杆的两端分别固定连接于左壁和右壁的下部，并位于最底端的凸起一的下方，右侧壁与左侧壁的外侧面均设有一个方形的凹陷，本实用新型使每一片晶圆回传后可以更容易回到目标位置，降低阻力，提高传送成功率的装置，保证设备利用率。保证设备利用率。保证设备利用率。


技术研发人员：王子彤 解庆权
受保护的技术使用者：吉林华微电子股份有限公司
技术研发日：2021.08.11
技术公布日：2022/1/7