硅片碎片检测机构的制作方法

1.本实用新型涉及硅片生产加工技术领域，具体为硅片碎片检测机构。


背景技术：

2.在硅片生产的过程中，硅片必须经过严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。
3.而在实际操作的过程中，为了提高整体清洗过程的速度，往往采用自动化机械设备替代人工进行清洗操作，但是在清洗的过程中，硅片经由输送部件进行移动，难免存在与设备发生碰撞或者是前期生产未发觉到的瑕疵和残缺，如果不及时查找出来，后期应用到半导体器件上，会直接导致该半导体器件为不合格产品，耗费更多的人力和成本，而传统的人工检测效率非常慢，而且精准度较差，因此需要提供一种硅片碎片检测机构，以此解决上述问题。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型公开了硅片碎片检测机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：硅片碎片检测机构，包括龙门架，所述龙门架的顶端固定安装有检测相机，所述龙门架的底端两侧均固定安装有固定组件，所述固定组件的内侧壁活动安装有照明灯。
8.优选的，所述龙门架包括支撑柱、顶部横梁、安装杆和支撑杆，所述顶部横梁固定安装在支撑柱的顶端，所述安装杆固定安装在支撑柱的底端，所述支撑杆的两端分别固定安装在支撑柱和安装杆的外表面。
9.优选的，所述检测相机的侧面固定安装有安装座，所述安装座通过螺栓固定安装在顶部横梁的外表面。
10.优选的，所述固定组件的背面固定安装有装配板，所述装配板固定安装在支撑柱的外表面，所述安装杆的底部固定安装有支撑垫板。
11.优选的，所述固定组件包括固定板、安装架和挡片，所述固定板固定安装在装配板的外表面，所述安装架固定安装在固定板的两侧，所述挡片固定连接在安装架的端部。
12.优选的，所述安装架的内部且靠近固定板的一端固定安装有限位板，所述照明灯的两端分别转动连接在限位板和挡片的内部。
13.优选的，所述照明灯的两端均固定连接有限位轴，所述限位板和挡片的外表面均开设有弧形槽，所述限位轴滑动连接在弧形槽的内部，所述照明灯的外表面固定安装有电
源线。
14.本实用新型公开了硅片碎片检测机构，其具备的有益效果如下：
15.1、该硅片碎片检测机构，通过将龙门架整体架设在插片清洗一体机上，通过螺栓将支撑垫板与清洗机主体进行安装，然后通过将装配板安装在支撑柱外表面适合的高度，在使用时，硅片从固定组件的下方经过，此时照明灯对硅片进行照明，使得硅片表面的细微痕迹能够很好地被检测相机捕捉到，当有瑕疵的硅片经过固定组件下方时，检测相机捕捉到瑕疵情况并给出反馈，使得清洗机的输送部件做出反应直接将该瑕疵硅片剔除掉，以此提高硅片的成品合格率，同时提升检测的效率。
16.2、该硅片碎片检测机构，通过在照明灯的两端均固定连接有限位轴，限位板和挡片的外表面均开设有弧形槽，限位轴滑动连接在弧形槽的内部，在使用时通过转动照明灯，使得限位轴在弧形槽内部转动，以此调整照明灯照明角度。
附图说明
17.图1为本实用新型整体结构示意图；
18.图2为本实用新型整体结构爆炸图；
19.图3为本实用新型固定组件外表面结构爆炸图；
20.图4为本实用新型检测相机外表面结构示意图。
21.图中：1、龙门架；101、支撑柱；102、顶部横梁；103、安装杆；104、支撑杆；2、固定组件；201、固定板；202、安装架；203、挡片；3、检测相机；4、支撑垫板；5、装配板；6、照明灯；7、限位板；8、电源线；9、弧形槽；10、安装座；11、限位轴。
具体实施方式
22.本实用新型实施例公开硅片碎片检测机构，如图1-4所示，包括龙门架1，龙门架1的顶端固定安装有检测相机3，龙门架1的底端两侧均固定安装有固定组件2，固定组件2的内侧壁活动安装有照明灯6。
23.参照附图2，龙门架1包括支撑柱101、顶部横梁102、安装杆103和支撑杆104，顶部横梁102固定安装在支撑柱101的顶端，安装杆103固定安装在支撑柱101的底端，支撑杆104的两端分别固定安装在支撑柱101和安装杆103的外表面，提升龙门架1整体的结构强度和支撑强度。
24.参照附图2和4，检测相机3的侧面固定安装有安装座10，安装座10通过螺栓固定安装在顶部横梁102的外表面，检测相机3的输出端竖直向下正对固定组件2，同时检测相机3采用ccd视觉检测，可检测小于三毫米的缺角崩边。
25.参照附图2-3，固定组件2的背面固定安装有装配板5，装配板5固定安装在支撑柱101的外表面，安装杆103的底部固定安装有支撑垫板4。
26.参照附图3，固定组件2包括固定板201、安装架202和挡片203，固定板201固定安装在装配板5的外表面，安装架202固定安装在固定板201的两侧，挡片203固定连接在安装架202的端部，两组固定组件2对称设置在支撑柱101的两侧，提高整体平衡性。
27.参照附图3，安装架202的内部且靠近固定板201的一端固定安装有限位板7，照明灯6的两端分别转动连接在限位板7和挡片203的内部，照明灯6的两端均固定连接有限位轴
11，限位板7和挡片203的外表面均开设有弧形槽9，限位轴11滑动连接在弧形槽9的内部，照明灯6的外表面固定安装有电源线8，通过转动照明灯6，使得限位轴在11弧形槽9内部转动，以此调整照明灯6照明角度，电源线8用于与外部电源进行电性相连接。
28.工作原理：该装置在使用时，通过将龙门架1整体架设在插片清洗一体机上，通过螺栓将支撑垫板4与清洗机主体进行安装，然后通过将装配板5安装在支撑柱101外表面适合的高度，然后将电源线8与外部电源进行电性相连接，同时通过转动照明灯6，使得限位轴在11弧形槽9内部转动，以此调整照明灯6照明角度；
29.在使用时，硅片在清洗机上清洗结束后，通过清洗机的输送机构将硅片输送至插片机位置，在这个过程中，硅片从固定组件2的下方经过，此时照明灯6对硅片进行照明，使得硅片表面的细微痕迹能够很好地被检测相机3捕捉到，当有瑕疵的硅片经过固定组件2下方时，检测相机3捕捉到瑕疵情况并给出反馈，使得清洗机的输送部件做出反应直接将该瑕疵硅片剔除掉，以此提高硅片的成品合格率，同时提升检测的效率。
30.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征：
1.硅片碎片检测机构，包括龙门架(1)，其特征在于；所述龙门架(1)的顶端固定安装有检测相机(3)，所述龙门架(1)的底端两侧均固定安装有固定组件(2)，所述固定组件(2)的内侧壁活动安装有照明灯(6)。2.根据权利要求1所述的硅片碎片检测机构，其特征在于：所述龙门架(1)包括支撑柱(101)、顶部横梁(102)、安装杆(103)和支撑杆(104)，所述顶部横梁(102)固定安装在支撑柱(101)的顶端，所述安装杆(103)固定安装在支撑柱(101)的底端，所述支撑杆(104)的两端分别固定安装在支撑柱(101)和安装杆(103)的外表面。3.根据权利要求2所述的硅片碎片检测机构，其特征在于：所述检测相机(3)的侧面固定安装有安装座(10)，所述安装座(10)通过螺栓固定安装在顶部横梁(102)的外表面。4.根据权利要求3所述的硅片碎片检测机构，其特征在于：所述固定组件(2)的背面固定安装有装配板(5)，所述装配板(5)固定安装在支撑柱(101)的外表面，所述安装杆(103)的底部固定安装有支撑垫板(4)。5.根据权利要求4所述的硅片碎片检测机构，其特征在于：所述固定组件(2)包括固定板(201)、安装架(202)和挡片(203)，所述固定板(201)固定安装在装配板(5)的外表面，所述安装架(202)固定安装在固定板(201)的两侧，所述挡片(203)固定连接在安装架(202)的端部。6.根据权利要求5所述的硅片碎片检测机构，其特征在于：所述安装架(202)的内部且靠近固定板(201)的一端固定安装有限位板(7)，所述照明灯(6)的两端分别转动连接在限位板(7)和挡片(203)的内部。7.根据权利要求6所述的硅片碎片检测机构，其特征在于：所述照明灯(6)的两端均固定连接有限位轴(11)，所述限位板(7)和挡片(203)的外表面均开设有弧形槽(9)，所述限位轴(11)滑动连接在弧形槽(9)的内部，所述照明灯(6)的外表面固定安装有电源线(8)。

技术总结
本实用新型公开硅片碎片检测机构，涉及硅片生产加工领域。该硅片碎片检测机构，包括龙门架，龙门架的顶端固定安装有检测相机，龙门架的底端两侧均固定安装有固定组件，固定组件的内侧壁活动安装有照明灯。该硅片碎片检测机构，在使用时，硅片从固定组件的下方经过，此时照明灯对硅片进行照明，使得硅片表面的细微痕迹能够很好地被检测相机捕捉到，当有瑕疵的硅片经过固定组件下方时，检测相机捕捉到瑕疵情况并给出反馈，使得清洗机的输送部件做出反应直接将该瑕疵硅片剔除掉，以此提高硅片的成品合格率，同时提升检测的效率。同时提升检测的效率。同时提升检测的效率。


技术研发人员：王进 张进元 王永利 胡宏峰
受保护的技术使用者：上海珺竹精密机械有限公司
技术研发日：2021.09.22
技术公布日：2022/2/22