一种具有散热结构的等离子体处理装置的制作方法

1.本实用新型涉及等离子处理装置的技术领域，特别是一种具有散热结构的等离子体处理装置。


背景技术：

2.等离子体处理装置中的真空泵工作时产生的热量易积存在安装腔室内，一般通过安装风机或水冷管进行散热，风机使用较简单，但提高了能耗，水冷管的安装也较简单，但需外来水源接入，使用不够方便，因此需另寻途径改进，中国专利授权公告号：cn211045374u，授权公告日：2020.07.17，授权专利名称：等离子体处理装置，可以起到对中的下部空气加热快，受热气体上升，对流筒底部外部空气涌入，加强对流效应，但是无法对等离子体处理装置内部的温度进行监控，只能一直进行抽内部空气进行散热的工作，导致电费消耗过多，因此需要设计一种具有散热结构的等离子体处理装置来解决上述问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于针对现有技术中存在的技术问题，提供一种具有散热结构的等离子体处理装置，具体技术方案如下：
4.本实用新型提供一种具有散热结构的等离子体处理装置，包括箱体、等离子设备主体和真空泵，所述箱体的下方设置有散热翅，所述箱体内腔设置有温度感应器，所述箱体的外部设置有控制面板，所述箱体外侧壁左右相对的设置有抽气装置，所述箱体的外部上方设置有喷淋装置，所述抽气装置和所述喷淋装置以及所述控制面板和所述温度感应器通过电性方式连接。
5.本实用新型的进一步改进在于：所述喷淋装置包括喷淋面板和与所述喷淋面板相连接的水管，所述水管上连接有水泵。
6.本实用新型的进一步改进在于：所述喷淋面板上等距离的设置有若干个喷淋头结构。
7.本实用新型的进一步改进在于：所述抽气装置上连接有抽气面板和抽气管，所述抽气管贯穿进入所述箱体内部，所述抽气管贯穿到内部的端头连接有所述抽气面板。
8.本实用新型的进一步改进在于：所述抽气面板上设置有一层过滤网层。
9.本实用新型的进一步改进在于：所述箱体下端四周均设置有支撑腿，所述支撑腿的下端面设置有耐磨垫层。
10.有益效果：
11.本实用新型可以启动所述抽气装置对内部进行抽气从而起到散热效果，在温度超过规定值的时候，将启动所述喷淋装置对所述箱体外部整体进行喷淋降温的工作，所述散热翅起到随时散热的效果，协助增加散热效果，这样的配合可以根据内部不同温度状况进行及时的散热，也可以节省能源的消耗，也可以节省电费的消耗，这样的设计具有实用性强和广阔的市场运用前景。
附图说明
12.图1为本实用新型的整体结构的示意图；
13.附图编号：1-箱体、2-等离子设备主体、3-真空泵、4-散热翅、5-温度感应器、6-控制面板、7-抽气装置、8-喷淋装置、9-喷淋面板、10-水管、11-水泵、12-喷淋头结构、13-抽气面板、14-抽气管、15-过滤网层、16-支撑腿、17-耐磨垫层。
具体实施方式
14.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
15.本实施例提供一种具有散热结构的等离子体处理装置，包括箱体1、等离子设备主体2和真空泵3，所述箱体1的下方设置有散热翅4，所述箱体1的内腔设置有温度感应器5，所述箱体1的外部设置有控制面板6，所述箱体1外侧壁左右相对的设置有抽气装置7，所述箱体1的外部上方设置有喷淋装置8，所述抽气装置7和所述喷淋装置8以及所述控制面板6和所述温度感应器5通过电性方式连接。
16.所述喷淋装置8包括喷淋面板9和与所述喷淋面板9相连接的水管10，所述水管10上连接有水泵11，所述喷淋面板9上等距离的设置有若干个喷淋头结构12，所述抽气装置7上连接有抽气面板13和抽气管14，所述抽气管14贯穿进入所述箱体1的内部，所述抽气管14贯穿到内部的端头连接有所述抽气面板13，所述抽气面板13上设置有一层过滤网层15，所述箱体1下端四周均设置有支撑腿16，所述支撑腿16的下端面设置有耐磨垫层17。
17.有益效果：
18.本实用新型在所述控制面板上设置温度监控范围，当所述温度感应器感应到温度超过第一段温度标准后，可以启动所述抽气装置对内部进行抽气从而起到散热效果，当所述温度感应器感应到温度超过第二段温度标准后，将启动所述喷淋装置对所述箱体外部整体进行喷淋降温的工作，所述散热翅起到随时散热的效果，协助增加散热效果，这样的配合可以根据内部不同温度状况进行及时的散热，也可以节省能源的消耗，也可以节省电费的消耗，这样的设计具有实用性强和广阔的市场运用前景。
19.以上仅为本实用新型的较佳实施例，但并不限制本实用新型的专利范围，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来而言，其依然可以对前述各具体实施方式所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等效替换。凡是利用本实用新型说明书及附图内容所做的等效结构，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理在本实用新型专利保护范围之内。


技术特征：
1.一种具有散热结构的等离子体处理装置，包括箱体、等离子设备主体和真空泵，其特征在于：所述箱体的下方设置有散热翅，所述箱体内腔设置有温度感应器，所述箱体的外部设置有控制面板，所述箱体外侧壁左右相对的设置有抽气装置，所述箱体的外部上方设置有喷淋装置，所述抽气装置和所述喷淋装置以及所述控制面板和所述温度感应器通过电性方式连接。2.根据权利要求1所述的一种具有散热结构的等离子体处理装置，其特征在于：所述喷淋装置包括喷淋面板和与所述喷淋面板相连接的水管，所述水管上连接有水泵。3.根据权利要求2所述的一种具有散热结构的等离子体处理装置，其特征在于：所述喷淋面板上等距离的设置有若干个喷淋头结构。4.根据权利要求1所述的一种具有散热结构的等离子体处理装置，其特征在于：所述抽气装置上连接有抽气面板和抽气管，所述抽气管贯穿进入所述箱体内部，所述抽气管贯穿到内部的端头连接有所述抽气面板。5.根据权利要求4所述的一种具有散热结构的等离子体处理装置，其特征在于：所述抽气面板上设置有一层过滤网层。6.根据权利要求1所述的一种具有散热结构的等离子体处理装置，其特征在于：所述箱体下端四周均设置有支撑腿，所述支撑腿的下端面设置有耐磨垫层。

技术总结
本实用新型涉及一种具有散热结构的等离子体处理装置，包括箱体、等离子设备主体和真空泵，所述箱体的下方设置有散热翅，设置的所述散热翅可以随时起到散热的效果，所述箱体内腔设置有温度感应器，所述箱体的外部设置有控制面板，所述箱体外侧壁左右相对的设置有抽气装置，所述箱体的外部上方设置有喷淋装置，所述抽气装置和所述喷淋装置以及所述控制面板和所述温度感应器通过电性方式连接。和所述温度感应器通过电性方式连接。和所述温度感应器通过电性方式连接。


技术研发人员：朱志山
受保护的技术使用者：苏州爱特维电子科技有限公司
技术研发日：2021.09.18
技术公布日：2022/4/1