载物台及其制造方法与流程

本发明的一个实施方式涉及载物台及其制造方法，例如，涉及用于载置基板的载物台及其制造方法。

背景技术：

1、半导体器件几乎搭载于所有的电子设备，在电子设备的功能中起着重要的作用。半导体器件是利用硅等所具有的半导体特性的器件。半导体器件通过在基板上层叠半导体膜，绝缘膜以及导电膜并图案化这些膜来构成。这些膜利用蒸镀法(vacuum evaporation)、溅射法、化学气相沉积(cvd)法或基板的化学反应等进行层叠，并通过光刻工艺将这些膜图案化。光刻工艺包括：在这些用于图案化的膜上形成抗蚀剂(resist)；曝光抗蚀剂；通过显影形成抗蚀剂掩模；通过蚀刻部分去除这些膜；以及去除抗蚀剂掩模。

2、上述膜的特性在很大程度上受形成膜的条件或蚀刻膜的条件的影响。所述条件之一是对用于载置基板的载置台(以下称为载物台)施加的电压。近年来，随着半导体器件的小型化，所加工的孔的直径与所加工的膜的厚度之比变大，因此，例如，施加到蚀刻设备所含有的载物台的电压有增加的趋势。随着施加到载物台的电压的增加，需要提高载物台所含有的部件的耐电压。载物台所含有的部件例如为冷却板、静电卡盘等。在专利文献1及专利文献2中，公开了一种利用作为喷镀法之一的陶瓷喷镀来在表面形成绝缘膜，从而提高绝缘膜的耐电压的载物台。

3、(现有技术文献)

4、(专利文献)

5、专利文献1：日本专利第6027407号公报

6、专利文献2：日本实用新型第2600558号公报

技术实现思路

1、(发明所要解决的问题)

2、根据传统的喷镀法，在一个面上形成具有规定的膜厚的膜后，使喷镀机移动，在其他面上形成具有规定的膜厚的膜。在该喷镀法中，所喷镀的一个面与其他面的边界(以下，也存在被称为连接部、角部或隅部的情况)难以附着喷镀材料，特别是存在在隅部产生间隙或空隙的问题。如果在隅部产生间隙或空隙，则膜的耐电压(也称为击穿电压)降低。作为抑制隅部的间隙或空隙的产生的方法，存在对隅部直接喷镀的方法。例如，若使喷镀机在从一个面连续地向其他面移动的同时进行喷镀，则也可以对隅部进行喷镀，能够抑制隅部的间隙或空隙的产生。但是，这种方法存在着与一个面或其他面的膜厚相比，隅部的膜厚变大的问题。在隅部形成的膜的膜厚变大时，隅部的膜的粘附强度降低，因此导致载物台的可靠性降低。因此，在利用喷镀法来制造载物台时，希望不仅是形成于面的膜，在隅部形成的膜也被控制为具有规定的膜厚(即，使膜的膜厚均匀化)，以提高膜的粘附强度和耐电压。

3、本发明的一个实施方式鉴于上述问题，其目的之一在于提供一种包括提高了粘附强度及耐电压的绝缘膜，并且绝缘性能及可靠性优异的载物台。另外，本发明的一个实施方式的目的之一在于，提供一种制造形成提高了粘附强度及耐电压的绝缘膜，并且绝缘性能及可靠性优异的载物台的方法。

4、(解决问题所采用的措施)

5、本发明的一个实施方式所涉及的载物台包括：基材，其具有包括从上部面凹陷的第一面和从侧面凹陷的第二面的台阶；以及绝缘膜，其包括设置在第一面上的多个第一层和设置在第二面上的多个第二层，在台阶处，第一层的第一端部和第二层的第二端部交替层叠。

6、本发明的一个实施方式所涉及的载物台的制造方法至少进行两次以上的循环，所述循环包括：一边沿与基材的上部面大致平行的面移动喷镀机，一边在从上部面凹陷的第一面形成通过来自喷镀机的喷镀来形成的第一层的步骤；以及一边沿与基材的侧面大致平行的面移动喷镀机，一边在从侧面凹陷的第二面形成通过来自喷镀机的喷镀来形成的第二层的步骤，并在包括基材的第一面以及第二面的台阶形成由第一层的第一端部和第二层的第二端部交替层叠而成的绝缘膜。

7、循环还可以包括一边沿与基材的下部面大致平行的面移动喷镀机，一边在下部面形成通过来自喷镀机的喷镀来形成的第三层的步骤。

8、还可以与所述循环彼此独立地，一边沿与基材的下部面大致平行的面移动喷镀机，一边在下部面形成通过来自喷镀机的喷镀来形成的第三层。

9、在循环中，可以多次进行形成第一层的步骤以及形成第二层的步骤中的至少一方。

10、在形成第一层的步骤以及形成第二层的步骤中的至少一方中，喷镀机可以仅沿单向移动而进行喷镀。

11、在形成第一层的步骤以及形成第二层的步骤中的至少一方中，喷镀机可以以之字形移动而进行喷镀。

12、第一面与第二面可以通过隅部连接，在隅部上可以形成由第一端部和第二端部交替层叠而成的绝缘膜。隅部的绝缘膜的膜厚可以为第一面上的绝缘膜的膜厚以及第二面上的绝缘膜的膜厚各自的1倍以上且2倍以下。

13、第一端部可以被设置为相对于第一面凸状地隆起，并且相对于第一面倾斜。第二端部可以被设置为相对于第二面凸状地隆起，并且相对于第二面倾斜。

14、与第一面及第二面垂直的面上的隅部的截面形状可以包括弯曲形状。

15、第一层以及第二层中的至少一方可以具有层叠结构。

16、基材可以包括供液体流动的流路。

17、可以在基材的上部面的绝缘膜之上包括静电卡盘。

18、(发明的效果)

19、本发明的一个实施方式所涉及的载物台包括提高了粘附强度和耐电压的绝缘膜，因此具有优异的绝缘性能和可靠性。

技术特征：

1.一种载物台，其中，包括：

2.根据权利要求1所述的载物台，其中，

3.根据权利要求2所述的载物台，其中，

4.根据权利要求2或权利要求3所述的载物台，其中，

5.根据权利要求2至权利要求4中任一项所述的载物台，其中，

6.根据权利要求2至权利要求5中任一项所述的载物台，其中，

7.根据权利要求1至权利要求6中任一项所述的载物台，其中，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的载物台，其中，

9.根据权利要求1至8中任一项所述的载物台，其中，

10.一种载物台的制造方法，其中，

11.根据权利要求10所述的载物台的制造方法，其中，

12.根据权利要求10所述的载物台的制造方法，其中，

13.根据权利要求10所述的载物台的制造方法，其中，

14.根据权利要求10至权利要求13中任一项所述的载物台的制造方法，其中，

15.根据权利要求10至权利要求13中任一项所述的载物台的制造方法，其中，

16.根据权利要求10至权利要求15中任一项所述的载物台的制造方法，其中，

17.根据权利要求16所述的载物台的制造方法，其中，

18.根据权利要求16或权利要求17所述的载物台的制造方法，其中，

19.根据权利要求16至权利要求18中任一项所述的载物台的制造方法，其中，

20.根据权利要求16至权利要求19中任一项所述的载物台的制造方法，其中，

21.根据权利要求10至20中任一项所述的载物台的制造方法，其中，

22.根据权利要求10至21中任一项所述的载物台的制造方法，其中，

技术总结
载物台包括：基材，其具有包括从上部面凹陷的第一面和从侧面凹陷的第二面的台阶；以及绝缘膜，其包括设置在第一面上的多个第一层和设置在第二面上的多个第二层，在台阶处，第一层的第一端部和第二层的第二端部交替层叠。第一面与第二面可以通过隅部连接，在隅部上可以交替层叠第一端部和第二端部。第一面和第二面可以通过隅部连接，在隅部上可以形成由第一端部和第二端部交替层叠而成的绝缘膜。

技术研发人员：横山响,木田直哉,二口谷淳,金田教良,曾根通介
受保护的技术使用者：日本发条株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12