激光装置的制作方法

本公开涉及激光装置。

背景技术：

1、已知有一种激光装置，其具备：用于放大激光的激光介质、用于冷却激光介质的冷却器、和容纳激光介质和冷却器的真空容器的(例如，参照专利文献1)。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2010-34413号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在上述那样的激光装置中，例如，为了实现激光的高输出化，如何适当地冷却激光介质是重要的。但是，为了适当地冷却激光介质，需要冷却器和真空容器的大型化，其结果是，激光装置的装置尺寸有可能大型化。

3、本公开的目的在于，提供一种能够抑制装置尺寸的大型化并且适当地冷却激光介质的激光装置。

4、用于解决课题的方法

5、本公开的一个方面的激光装置具备：包括壁部的真空容器；配置在真空容器内的激光介质；配置在真空容器外的冷却器；和传热导体，其沿着规定的方向贯通壁部，并与激光介质和冷却器连接。

6、在本公开的一个方面的激光装置中，冷却器配置在真空容器外，该冷却器经由传热导体与配置在真空容器内的激光介质连接。由此，与激光介质和冷却器配置在真空容器内的结构相比，能够使真空容器小型化，能够高效且可靠地冷却激光介质。另外，在激光介质和冷却器配置在真空容器内的结构中，激光介质受到从冷却器发出的辐射热的影响，但在本公开的一个方面的激光装置中，能够避免这样的情况。如上所述，根据本公开的一个方面的激光装置，能够抑制装置尺寸的大型化并且适当地冷却激光介质。

7、也可以为，本公开的一个方面的激光装置还具备：配置在壁部与冷却器之间的筒体，壁部具有：将真空容器内的空间与筒体内的空间连通的开口，传热导体通过筒体和开口。由此，能够维持真空容器内的真空度，并且容易地实现传热导体贯通真空容器的壁部的结构。另外，配置有传热导体的筒体内的空间，也与真空容器内的空间同样地，成为真空度高的空间，因此，能够防止在传热导体的结露的产生。

8、也可以为，本公开的一个方面的激光装置还具备：支承真空容器和冷却器的支承部；和振动消除器，其配置在支承部与冷却器之间，并以消除上述方向上的振动的方式构成，传热导体以传热导体能够相对于壁部沿着上述方向移动的方式贯通壁部，支承部以冷却器能够相对于真空容器沿着上述方向移动的方式支承真空容器和冷却器。由此，作为冷却器，例如，在使用产生振动的机械式的冷却器的情况下，也能够抑制该冷却器的振动经由传热导体向激光介质传递。因此，能够抑制从激光介质出射的激光的特性变得不稳定。

9、在本公开的一个方面的激光装置中，也可以为，振动消除器是以能够沿着上述方向伸缩的方式构成的第1流体压力缸。由此，作为冷却器，例如，在使用产生振动的机械式的冷却器的情况下，也能够以简单的结构抑制该冷却器的振动经由传热导体向激光介质传递。

10、也可以为，本公开的一个方面的激光装置还具备：配置在壁部与冷却器之间的筒体，壁部具有：将真空容器内的空间与筒体内的空间连通的开口，传热导体通过筒体和开口，筒体包括：以能够沿着上述方向伸缩的方式构成的伸缩部。由此，能够维持真空容器内的真空度，并且容易地实现传热导体贯通真空容器的壁部的结构。另外，配置有传热导体的筒体内的空间，也与真空容器内的空间同样地，成为真空度高的空间，因此，能够防止在传热导体的结露的产生。而且，配置在真空容器的壁部与冷却器之间的筒体包括：以能够伸缩的方式构成的伸缩部。因此，作为冷却器，例如，在使用产生振动的机械式的冷却器的情况下，也能够抑制该冷却器的振动向真空容器传递。

11、在本公开的一个方面的激光装置中，也可以为，上述方向是铅垂方向，支承部包括：固定有真空容器的装置框架；和第2流体压力缸，其配置在装置框架与冷却器之间，并以能够沿着上述方向伸缩的方式构成。由此，通过由第2流体压力缸调整铅垂方向上的“包括激光介质、冷却器和传热导体的单元”的位置，能够防止因该单元的自重而引起在铅垂方向上激光介质的位置从激光的光路偏离。因此，能够抑制从激光介质出射的激光的特性变得不稳定。

12、也可以为，本公开的一个方面的激光装置还具备：激发光源，其出射入射于激光介质的端面的多个位置的激发光，多个位置沿着上述方向排列。由此，作为冷却器，例如，在使用产生振动的机械式的冷却器的情况下，被振动消除器抑制，并且从冷却器向激光介质传递的振动的方向与在激光介质的端面上多个位置排列的方向一致，因此，能够实现激光介质的激发分布的均匀化。

13、也可以为，本公开的一个方面的激光装置具备：各自是作为冷却器的一对冷却器；和各自是作为传热导体的一对传热导体，一对冷却器以在上述方向上夹持真空容器地相对的方式配置，一对传热导体以在上述方向上夹持激光介质地相对的方式配置。由此，能够均匀且可靠地冷却激光介质。

14、在本公开的一个方面的激光装置中，也可以为，上述方向是铅垂方向。由此，一对冷却器夹持真空容器地上下地排列，因此，能够抑制激光装置的设置面积的大面积化。

15、发明效果

16、根据本公开，能够提供一种能够抑制装置尺寸的大型化并且适当地冷却激光介质的激光装置。

1.一种激光装置，其中，具备：

2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

3.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

4.根据权利要求3所述的激光装置，其中，

5.根据权利要求3或4所述的激光装置，其中，

6.根据权利要求3～5中任一项所述的激光装置，其中

7.根据权利要求3～6中任一项所述的激光装置，其中，

8.根据权利要求1～7中任一项所述的激光装置，其中，

9.根据权利要求8所述的激光装置，其中，