固态摄像元件和摄像装置的制作方法

本公开涉及固态摄像元件和摄像装置。

背景技术：

1、近年来，已经提出了一种异步型固态摄像元件，在该异步型固态摄像元件中，针对每个像素设置有地址事件检测电路，该地址事件检测电路针对每个像素地址将该像素的光量超过阈值作为地址事件实时检测(例如，参照专利文献1)。

2、引用文献列表

3、专利文献

4、专利文献1：jp2016-533140a

技术实现思路

1、技术问题

2、然而，在上述现有技术中，难以减小这种异步型固态摄像元件中的像素面积。

3、因此，本公开提出了一种能够减小像素面积的固态摄像元件和摄像装置。

4、技术问题的解决方案

5、根据本公开，提供了一种固态摄像元件。该固态摄像元件包括光接收基板和电路基板。光接收基板包括多个设置有光电转换元件的光接收电路。电路基板与光接收基板接合，并且包括多个地址事件检测电路，该多个地址事件检测电路分别检测从多个光接收电路的光电转换元件输出的电压变化。电路基板包括第一元件区域和第二元件区域。在第一元件区域中，布置有由第一电压驱动的第一晶体管。在第二元件区域中，布置有由低于第一电压的第二电压驱动的第二晶体管。在彼此相邻的第一元件区域和第二元件区域之间布置有fti(全沟槽隔离)结构。

技术特征：

1.一种固态摄像元件，其包括：

2.根据权利要求1所述的固态摄像元件，其中，

3.根据权利要求2所述的固态摄像元件，其中，

4.根据权利要求1所述的固态摄像元件，其中，

5.根据权利要求4所述的固态摄像元件，其中，

6.根据权利要求1所述的固态摄像元件，其中，

7.根据权利要求1所述的固态摄像元件，其中，

8.根据权利要求1所述的固态摄像元件，其中，

9.一种摄像装置，其包括：

技术总结
根据本公开的固态摄像元件(200)设置有光接收基板(201)和电路基板(202)。光接收基板(201)包括多个具有光电转换元件的光接收电路(211)。电路基板(202)与光接收基板(201)接合，并且包括多个地址事件检测电路(231)，该多个地址事件检测电路(231)分别检测从多个光接收电路(211)的光电转换元件输出的电压变化。电路基板(202)具有第一元件区域(501)和第二元件区域(502)。在第一元件区域(501)中，布置有由第一电压(VDD1)驱动的第一晶体管(T1)。在第二元件区域(502)中，布置有由低于第一电压(VDD1)的第二电压(VDD2)驱动的第二晶体管(T2)。在彼此相邻的第一元件区域(501)和第二元件区域(502)之间布置有全沟槽隔离(FTI)结构(521)。

技术研发人员：三宅慎一,富田一行,丹羽笃亲
受保护的技术使用者：索尼半导体解决方案公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14